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公開番号2025034010
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023140123
出願日2023-08-30
発明の名称弾性波装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人大阪フロント特許事務所
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250306BHJP(基本電子回路)
要約【課題】生産性を低くせずして、横モードをより確実に抑制する弾性波装置10を提供する。
【解決手段】弾性波装置10は、圧電性基板2上に、第1、第2のIDT電極3A、3Bを有する第1、第2の弾性波共振子1A、1Bを備える。第1、第2のIDT電極において、隣り合う電極指同士が重なり合っている領域が、第1、第2の交叉領域A1、A2である。第1の交叉領域A1は、中央領域C1を挟んでいるエッジ領域E1及びエッジ領域E2を有し、第2の交叉領域A2は、中央領域C2を挟んでいるエッジ領域E3及びエッジ領域E4を有する。弾性波装置10は、第1、第2の質量付加膜4A、4Bをさらに備える。第2のIDT電極における複数の電極指の厚みは、第1のIDT電極よりも薄い。第1の質量付加膜の厚みは、第2の質量付加膜と同じである。第2のIDT電極の電極指における第2の質量付加膜の幅が、中央領域C2における幅よりも狭い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられている複数の電極指を含む第１のＩＤＴ電極と、を有する第１の弾性波共振子と、
前記圧電性基板を前記第１の弾性波共振子と共有しており、前記圧電性基板上に設けられている複数の電極指を含む第２のＩＤＴ電極を有する第２の弾性波共振子と、
を備え、
前記第１のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が第１の交叉領域であり、前記第１の交叉領域が、第１の中央領域と、前記複数の電極指が延びる方向において前記第１の中央領域を挟んでいる第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域と、を有し、
前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が第２の交叉領域であり、前記第２の交叉領域が、第２の中央領域と、前記複数の電極指が延びる方向において前記第２の中央領域を挟んでいる第３のエッジ領域及び第４のエッジ領域と、を有し、
前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、前記第１のＩＤＴ電極の前記複数の電極指と平面視において重なっている、第１の質量付加膜と、
前記第３のエッジ領域及び前記第４のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指と平面視において重なっている、第２の質量付加膜と、
をさらに備え、
前記第２のＩＤＴ電極における前記複数の電極指の厚みが、前記第１のＩＤＴ電極における前記複数の電極指の厚みよりも薄く、
前記第１の質量付加膜の厚みと、前記第２の質量付加膜の厚みとが同じであり、
前記第２のＩＤＴ電極の前記電極指における、前記第２の質量付加膜と平面視において重なっている部分の幅が、該電極指の前記第２の中央領域における幅よりも狭い、弾性波装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１のＩＤＴ電極の前記電極指の、前記第１の質量付加膜と平面視において重なっている部分における幅が、該電極指の前記第１の中央領域における幅よりも広い、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１の質量付加膜の、前記第１のＩＤＴ電極における前記複数の電極指が延びる方向に沿う寸法を、前記第１の質量付加膜の幅とし、前記第２の質量付加膜の、前記第２のＩＤＴ電極における前記複数の電極指が延びる方向に沿う寸法を、前記第２の質量付加膜の幅としたときに、前記第１の質量付加膜の幅が、前記第２の質量付加膜の幅よりも広い、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１の質量付加膜が、前記第１のＩＤＴ電極の前記複数の電極指及び前記電極指間の領域と平面視において重なるように、連続的に設けられており、
前記第２の質量付加膜が、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指及び前記電極指間の領域と平面視において重なるように、連続的に設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項５】
複数の前記第１の質量付加膜が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、１個の前記第１の質量付加膜が、前記第１のＩＤＴ電極の１本の前記電極指と平面視において重なるように設けられており、
複数の前記第２の質量付加膜が、前記第３のエッジ領域及び前記第４のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、１個の前記第２の質量付加膜が、前記第２のＩＤＴ電極の１本の前記電極指と平面視において重なるように設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１の質量付加膜及び前記第２の質量付加膜の材料として、金属が用いられている、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１の質量付加膜が前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域の双方に設けられており、前記第２の質量付加膜が前記第３のエッジ領域及び前記第４のエッジ領域の双方に設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第２の弾性波共振子の共振周波数が、前記第１の弾性波共振子の共振周波数よりも高い、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１の弾性波共振子を含む第１のフィルタ装置と、
前記第２の弾性波共振子を含む第２のフィルタ装置と、
を備え、
前記第１のフィルタ装置及び前記第２のフィルタ装置が互いに異なる信号電位に接続される、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記第１の弾性波共振子を含む第１のフィルタ装置と、
前記第２の弾性波共振子を含む第２のフィルタ装置と、
前記第１のフィルタ装置及び前記第２のフィルタ装置が共通接続されている共通接続端子と、
を備える、請求項１に記載の弾性波装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の弾性波共振子を有する弾性波装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどとして広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置では、圧電性基板上にＩＤＴ電極が設けられている。ＩＤＴ（ＩｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極は、中央領域と、１対の低音速領域とを有する。１対の低音速領域は、ＩＤＴ電極の電極指が延びる方向において、中央領域を挟んでいる。各低音速領域に質量付加膜がそれぞれ設けられている。上記構成により、横モードによるスプリアスの抑制が図られている。
【０００３】
下記の特許文献２に記載の弾性波装置においては、圧電体層上にＩＤＴ電極が設けられている。そして、ＩＤＴ電極は、中央領域と、１対のエッジ領域とを有する。１対のエッジ領域は、ＩＤＴ電極の電極指が延びる方向において、中央領域を挟んでいる。電極指のエッジ領域における幅が、該電極指の中央領域における幅よりも広い。上記構成により、横モードによるスプリアスの抑制が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－０９２０９５号公報
国際公開第２０２１／０６５６８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、弾性波装置が複数の弾性波共振子を有する場合には、これらの弾性波共振子において、共振周波数が互いに異なることが多い。この場合には、弾性波共振子毎に、横モードを抑制するための構成を調整することを要する。そのため、弾性波装置の生産性が低くなるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、生産性を低くせずして、横モードをより確実に抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る弾性波装置は、圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられている複数の電極指を含む第１のＩＤＴ電極とを有する第１の弾性波共振子と、前記圧電性基板を前記第１の弾性波共振子と共有しており、前記圧電性基板上に設けられている複数の電極指を含む第２のＩＤＴ電極を有する第２の弾性波共振子とを備え、前記第１のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が第１の交叉領域であり、前記第１の交叉領域が、第１の中央領域と、前記複数の電極指が延びる方向において前記第１の中央領域を挟んでいる第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域とを有し、前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が第２の交叉領域であり、前記第２の交叉領域が、第２の中央領域と、前記複数の電極指が延びる方向において前記第２の中央領域を挟んでいる第３のエッジ領域及び第４のエッジ領域とを有し、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、前記第１のＩＤＴ電極の前記複数の電極指と平面視において重なっている、第１の質量付加膜と、前記第３のエッジ領域及び前記第４のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指と平面視において重なっている、第２の質量付加膜とをさらに備え、前記第２のＩＤＴ電極における前記複数の電極指の厚みが、前記第１のＩＤＴ電極における前記複数の電極指の厚みよりも薄く、前記第１の質量付加膜の厚みと、前記第２の質量付加膜の厚みとが同じであり、前記第２のＩＤＴ電極の前記電極指における、前記第２の質量付加膜と平面視において重なっている部分の幅が、該電極指の前記第２の中央領域における幅よりも狭い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る弾性波装置によれば、生産性を低くせずして、横モードをより確実に抑制することができる、弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式図である。
本発明の第１の実施形態における第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の模式的平面図である。
本発明の第１の実施形態における第１の弾性波共振子の１対の電極指付近、及び第２の弾性波共振子の１対の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
本発明の第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
横モードに起因するリップルの大きさが１ｄＢまたは０．１ｄＢとなる、質量付加膜の波長比幅Ｗ及び厚み比率Ｔ
Ｒ
の関係を示す図である。
第１の参考例における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
第２の参考例における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
本発明の第１の実施形態の変形例における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
本発明の第２の実施形態における第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の模式的平面図である。
本発明の第２の実施形態における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
本発明の第２の実施形態の変形例における第１のＩＤＴ電極の１本の電極指付近、及び第２のＩＤＴ電極の１本の電極指付近を拡大して示す模式的平面図である。
本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
（【００１１】以降は省略されています）

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