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公開番号2025056812
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-09
出願番号2022036382
出願日2022-03-09
発明の名称弾性波装置、分波器、通信装置および弾性波装置の製造方法
出願人京セラ株式会社
代理人
主分類H03H 9/25 20060101AFI20250402BHJP(基本電子回路)
要約【課題】優れた周波数特性を有する弾性波装置、当該弾性波装置を含む分波器、当該弾性波装置を含む通信装置および当該弾性波装置の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板と、支持基板と、圧電基板と支持基板の間に位置する音響多層膜と、を有し、音響多層膜は、複数の低音響インピーダンス層と、複数の高音響インピーダンス層が交互に積層されており、高音響インピーダンス層の音響インピーダンスは、低音響インピーダンス層の音響インピーダンスよりも高く、高音響インピーダンス層の、支持基板側の界面の算術平均粗さは、0nmを含まない所定の第1範囲内にある弾性波装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
圧電基板と、
支持基板と、
前記圧電基板と前記支持基板の間に位置する音響多層膜と、を有し、
前記音響多層膜は、複数の低音響インピーダンス層と、複数の高音響インピーダンス層が交互に積層されており、
前記高音響インピーダンス層の音響インピーダンスは、前記低音響インピーダンス層の音響インピーダンスよりも高く、
前記高音響インピーダンス層の、前記支持基板側の界面の算術平均粗さは、０ｎｍを含まない所定の第１範囲内にある、
弾性波装置。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記低音響インピーダンス層の、前記支持基板側の界面の算術平均粗さは、所定の第２範囲内にある、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１範囲の下限値は、前記第２範囲の上限値よりも大きい、
請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１範囲の範囲幅は、前記第２範囲の範囲幅よりも大きい、
請求項２または３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１範囲は、０．５ｎｍ～７０ｎｍである、
請求項１乃至４のいずれかに記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第２範囲は、０．０１ｎｍ～１．０ｎｍである、
請求項２乃至５のいずれかに記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記高音響インピーダンス層の、支持基板側の界面の算術平均粗さの平均を、平均第１数値とすると、
前記第１範囲は、０．７０×平均第１数値～１．３０×平均第１数値の範囲である、
請求項１乃至６のいずれかに記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記低音響インピーダンス層の、前記支持基板側の界面の算術平均粗さの平均を、平均第２数値とすると、
前記第２範囲は、０．７０×平均第２数値～１．３０×平均第２数値の範囲である、
請求項２乃至７のいずれかに記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記音響多層膜と前記支持基板との間に、前記低音響インピーダンス層と同じ材料を含む接合層を有する、
請求項１乃至８のいずれかに記載の弾性波装置。
【請求項１０】
アンテナ端子と、
前記アンテナ端子へ出力される信号をフィルタリングする送信フィルタと、
前記アンテナ端子から入力される信号をフィルタリングする受信フィルタと、を有し、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方が請求項１乃至９のいずれかに記載の弾性波装置を含む分波器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、弾性波を利用する弾性波装置、当該弾性波装置を含む分波器、当該弾性波装置を含む通信装置および当該弾性波装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器などに、弾性波装置が広く用いられている。特許文献１には、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層とを含む複数の音響インピーダンス層で構成された音響反射膜を備える弾性波装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示された弾性波装置は、音響反射膜が、複数の音響インピーダンス層のうちの１の音響インピーダンス層である第１の音響インピーダンス層と、複数の音響インピーダンス層のうちの１の音響インピーダンス層であって、かつ第１の音響インピーダンス層と算術平均粗さ（Ｒａ）が異なる第２の音響インピーダンス層を有し、不要波を効果的に抑制する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６８０９５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
周波数特性の優れた弾性波装置、分波器および通信装置の提供が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態に係る弾性波装置は、圧電基板と、支持基板と、圧電基板と支持基板の間に位置する音響多層膜と、を有し、音響多層膜は、複数の低音響インピーダンス層と、複数の高音響インピーダンス層が交互に積層されており、高音響インピーダンス層の音響インピーダンスは、低音響インピーダンス層の音響インピーダンスよりも高く、高音響インピーダンス層の、支持基板側の界面の算術平均粗さは、０ｎｍを含まない所定の第１範囲内にある。
【０００７】
本開示の一実施形態に係る分波器は、アンテナ端子と、アンテナ端子へ出力される信号をフィルタリングする送信フィルタと、アンテナ端子から入力される信号をフィルタリングする受信フィルタと、を有し、送信フィルタおよび受信フィルタの少なくとも一方が上記の弾性波装置を含む。
【０００８】
本開示の一実施形態に係る通信装置は、アンテナと、アンテナにアンテナ端子が接続されている上記の分波器と、送信フィルタおよび受信フィルタに接続されているＩＣと、を有する。
【０００９】
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の製造方法は、圧電基板の第１面側に音響多層膜を設ける第１工程と、音響多層膜の圧電基板とは反対側の面に、支持基板を設ける第２工程と、を有し、第１工程は、低音響インピーダンス層を設ける第３工程と、低音響インピーダンス層よりも、音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層を設ける第４工程と、低音響インピーダンス層の圧電基板と距離が遠い側の面又は、高音響インピーダンス層の圧電基板と距離が近い側の面に、平滑化処理を行う第５工程と、を有し、第３工程、
第４工程及び第５工程は、少なくとも２以上繰り返される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置と比較例の周波数特性を比較した図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置と比較例の周波数特性を比較した図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置と比較例の周波数特性を比較した図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置と比較例の周波数特性を比較した図である。
本開示の変形例に係る弾性波装置の模式的な断面図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の利用例としての分波器を模式的に示す図である。
図１０の分波器の利用例としての通信装置の要部構成を示すブロック図である。
本開示の一実施形態に係る弾性波装置の一製造方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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