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公開番号2025023086
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2024207304,2021201834
出願日2024-11-28,2021-12-13
発明の名称ウエハ載置台
出願人日本碍子株式会社
代理人弁理士法人アイテック国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250206BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異なる高さの第1導電層及び第2導電層が導通部を介して導通されたウエハ載置台において、ウエハの均熱性を良好にする。
【解決手段】ウエハ載置台10は、ウエハ載置面12aを有するセラミック基体12の内部に、副RF電極21(第1導電層)とジャンパ層22(第2導電層)とが異なる高さに埋設され、副RF電極21とジャンパ層22とを電気的に導通する導通部30を備える。導通部30は、横置きにしたコイル又は穴あき筒状体である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハ載置面を有するセラミック基体の内部に、第１導電層と第２導電層とが異なる高さに埋設され、前記第１導電層と前記第２導電層とを電気的に導通する導通部を備えたウエハ載置台であって、
前記導通部は、横置きにしたコイル又は穴あき筒状体である、
ウエハ載置台。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記導通部の内部空間には、前記セラミック基体の材料が入り込んでいる、
請求項１に記載のウエハ載置台。
【請求項３】
前記導通部の断面形状は、円形又は楕円形である、
請求項１又は２に記載のウエハ載置台。
【請求項４】
前記導通部はコイルであり、
前記第１導電層及び前記第２導電層の少なくとも一方は、厚さ方向に貫通する穴を有し、前記穴が前記コイルが入り込むことにより前記穴の内面と前記コイルの側面とが接触している、
請求項１～３のいずれか１項に記載のウエハ載置台。
【請求項５】
前記第２導電層は、平面視で前記第１導電層と交差する線状又は長方形状の導電層であり、
前記導通部の軸線は、前記第２導電層が延びる方向に沿った直線状である、
請求項１～４のいずれか１項に記載のウエハ載置台。
【請求項６】
前記第２導電層は、平面視で前記第１導電層と重複する環状又は扇状の導電層であり、
前記導通部の軸線は、前記第２導電層と同心円をなす円弧状である、
請求項１～４のいずれか１項に記載のウエハ載置台。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ載置台に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハを処理するのに用いられるウエハ載置台が知られている。ウエハ載置台としては、セラミックヒータや静電チャック、サセプタ（プラズマ発生用の電極を内蔵したもの）などがある。例えば、特許文献１には、こうしたウエハ載置台として、ウエハ載置面を有するセラミック基体の内部に、ウエハ載置面に近い方から、円板状の第１電極と第１電極よりも外径の大きなリング状の第２電極とがウエハ載置面に平行になるように埋設されたものが開示されている。第１電極と第２電極とは、導通部を介して電気的に導通されている。特許文献１には、導通部として、ジグザグに屈曲させた金属メッシュを用いた例やコイルを縦置きにした例などが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１６３２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、導通部としてジグザグに屈曲させた金属メッシュや縦置きにしたコイルを採用した場合、導通部の導通経路が第１電極と第２電極との間の距離よりもかなり長くなる。そうすると、導通部で発熱しやすくなり、ウエハの均熱性に悪影響を与えることがあった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、異なる高さの第１導電層及び第２導電層が導通部を介して導通されたウエハ載置台において、ウエハの均熱性を良好にすることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のウエハ載置台は、
ウエハ載置面を有するセラミック基体の内部に、第１導電層と第２導電層とが異なる高さに埋設され、前記第１導電層と前記第２導電層とを電気的に導通する導通部を備えたウエハ載置台であって、
前記導通部は、横置きにしたコイル又は穴あき筒状体である、
ものである。
【０００７】
このウエハ載置台では、導通部は横置きにしたコイル又は穴あき筒状体である。そのため、導通部としてジグザグに屈曲させた金属メッシュや縦置きにしたコイルを採用した場合に比べて、導通部の導通経路が第１導電層と第２導電層との間の距離に近くなる。そのため、導通部での発熱を抑えることができ、ひいてはウエハの均熱性を良好にすることができる。なお、穴あき筒状体としては、例えばパンチングメタルの筒状体や金属メッシュの筒状体などが挙げられる。
【０００８】
本発明のウエハ載置台において、前記導通部の内部空間には、前記セラミック基体の材料が入り込んでいてもよい。こうすれば、セラミック基体の密度バラツキが小さくなるし、強度が高くなる。
【０００９】
本発明のウエハ載置台において、前記導通部の断面形状は、円形又は楕円形であってもよい。こうすれば、製造工程において導通部の上下から圧縮方向の力が加わったとしても、導通部がその力を吸収することができる。
【００１０】
本発明のウエハ載置台において、前記導通部はコイルであってもよく、前記第１導電層及び前記第２導電層の少なくとも一方は、厚さ方向に貫通する穴を有していてもよく、前記穴が前記コイルが入り込むことにより前記穴の内面と前記コイルの側面とが接触していてもよい。こうすれば、コイルが各導電層と点接触する場合に比べて、接触面積が増加するため、導通を確保し易くなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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