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公開番号2025014836
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117724
出願日2023-07-19
発明の名称放射線撮像パネル、放射線撮像装置および放射線撮像システム
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G01T 1/20 20060101AFI20250123BHJP(測定;試験)
要約【課題】MTFの向上とDQEを向上との両立に有利な技術を提供する。
【解決手段】第1主面および第2主面を有する基板と、前記第1主面に配された光電変換部と、前記光電変換部を覆うように配された第1シンチレータと、前記第2主面を覆うように配された第2シンチレータと、を含む放射線撮像パネルであって、前記基板の厚さが、50μm以下であり、前記第1シンチレータは、柱状結晶によって構成され、300μm以上かつ800μm以下の膜厚を有し、前記第2シンチレータは、粒状結晶によって構成され、前記第1シンチレータの膜厚の20%以上かつ70%以下の膜厚を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面および第２主面を有する基板と、前記第１主面に配された光電変換部と、前記光電変換部を覆うように配された第１シンチレータと、前記第２主面を覆うように配された第２シンチレータと、を含む放射線撮像パネルであって、
前記基板の厚さが、５０μｍ以下であり、
前記第１シンチレータは、柱状結晶によって構成され、３００μｍ以上かつ８００μｍ以下の膜厚を有し、
前記第２シンチレータは、粒状結晶によって構成され、前記第１シンチレータの膜厚の２０％以上かつ７０％以下の膜厚を有することを特徴とする放射線撮像パネル。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記第１シンチレータの膜厚と前記第２シンチレータの膜厚との合計が、１１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像パネル。
【請求項３】
前記第１シンチレータは、ハロゲン化アルカリ金属化合物を含み、
前記第２シンチレータは、金属酸硫化物を含むことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像パネル。
【請求項４】
前記第１シンチレータは、ヨウ化セシウムを含み、
前記第２シンチレータは、酸硫化ガドリニウムを含むことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像パネル。
【請求項５】
前記第１シンチレータを覆うように配された第１反射層をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像パネル。
【請求項６】
前記第１反射層は、樹脂に染料または金属酸化物の粒子が添加されていることを特徴とする請求項５に記載の放射線撮像パネル。
【請求項７】
前記第１反射層を覆うように配された保護層をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の放射線撮像パネル。
【請求項８】
前記保護層は、金属シートを含むことを特徴とする請求項７に記載の放射線撮像パネル。
【請求項９】
前記第２シンチレータを覆うように配された第２反射層をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像パネル。
【請求項１０】
前記第２反射層は、白色の樹脂を含むことを特徴とする請求項９に記載の放射線撮像パネル。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線撮像パネル、放射線撮像装置および放射線撮像システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
光電変換素子が配されたセンサパネル上に、放射線を光電変換素子が検知可能な光に変換するシンチレータを配した放射線撮像装置が知られている。放射線撮像装置の検出量子効率（ＤｅｔｅｃｔｉｖｅＱｕａｎｔｕｍＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙ：ＤＱＥ）を向上させるために、シンチレータを厚膜化し、シンチレータによって吸収され、光に変換される放射線量を増大させることが考えられる。一方で、シンチレータを厚膜化すると、シンチレータで変換された光がセンサパネルに到達するまでの光路長が長くなり、光学伝達係数（ＭｏｄｕｌａｔｉｏｎＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ：ＭＴＦ）が低下しうる。特許文献１には、センサパネルの両面にシンチレータを配し、放射線の入射側に配されたシンチレータで低エネルギの放射線を光に変換し、放射線の入射側とは反対側に配されたシンチレータで高エネルギの放射線を光に変換する光電検出構造が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許出願公開第２０１９／０３６１１３３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、２つのシンチレータの膜厚の合計を、単層のシンチレータを用いる場合のシンチレータの膜厚と一致させることが示されている。それぞれのシンチレータの膜厚が薄くなると、ＭＴＦは向上するが、ＤＱＥが低下してしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、ＭＴＦの向上とＤＱＥを向上との両立に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑みて、本発明の実施形態に係る放射線撮像パネルは、第１主面および第２主面を有する基板と、前記第１主面に配された光電変換部と、前記光電変換部を覆うように配された第１シンチレータと、前記第２主面を覆うように配された第２シンチレータと、を含む放射線撮像パネルであって、前記基板の厚さが、５０μｍ以下であり、前記第１シンチレータは、柱状結晶によって構成され、３００μｍ以上かつ８００μｍ以下の膜厚を有し、前記第２シンチレータは、粒状結晶によって構成され、前記第１シンチレータの膜厚の２０％以上かつ７０％以下の膜厚を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ＭＴＦの向上とＤＱＥを向上との両立に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態の放射線撮像パネルの構成例を示す平面図。
図１の放射線撮像パネルの構成例を示す断面図。
図１の放射線撮像パネルの構成例を示す断面図。
比較例の放射線撮像パネルの構成例を示す断面図。
図１の放射線撮像パネルの製造方法の例を示す図。
図１の放射線撮像パネルの製造方法の例を示す図。
図１の放射線撮像パネルを含む放射線撮像装置および放射線撮像システムの構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
また、本開示における放射線には、放射線崩壊によって放出される粒子（光子を含む）の作るビームであるα線、β線、γ線などの他に、同程度以上のエネルギを有するビーム、例えばＸ線や粒子線、宇宙線なども含みうる。
（【００１１】以降は省略されています）

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