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公開番号2025014777
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117599
出願日2023-07-19
発明の名称基板処理装置における流量調整方法および基板処理装置
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の液処理部の間での処理結果のばらつきを抑制すること。
【解決手段】流量調整方法は、硫酸と過酸化水素との混合液を基板に供給して液処理を行う複数の液処理部を備える基板処理装置における流量調整方法であり、吐出する工程と、測定する工程と、生成する工程と、調整する工程とを含む。吐出する工程は、第1液処理部および第2液処理部において複数の吐出条件で混合液を吐出する。測定する工程は、温度センサを用いて、処理条件ごとに混合液の温度を測定する。生成する工程は、混合液の温度に基づき、第1液処理部および第2液処理部の各々について混合液の温度と吐出条件に含まれる硫酸の流量との相関関数を求め、第1液処理部と第2液処理部との間で混合液の温度が同一となる場合の硫酸の流量の関係を示す関係式を生成する。調整する工程は、関係式を用いて、第2液処理部において混合液への混合前の硫酸の流量を調整する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
硫酸と過酸化水素との混合液を基板に供給して液処理を行う複数の液処理部を備える基板処理装置における流量調整方法であって、
前記複数の液処理部から選択される第１液処理部および第２液処理部において複数の吐出条件で前記混合液を吐出する工程と、
前記第１液処理部および前記第２液処理部の各々に設けられた温度センサを用いて、前記吐出条件ごとに前記混合液の温度を測定する工程と、
測定された前記混合液の温度に基づき、前記第１液処理部および前記第２液処理部の各々について前記混合液の温度と前記吐出条件に含まれる硫酸の流量との相関関数を求め、該相関関数から前記第１液処理部と前記第２液処理部との間で前記混合液の温度が同一となる場合の硫酸の流量の関係を示す関係式を生成する工程と、
前記関係式を用いて、前記第２液処理部において前記混合液への混合前の硫酸の流量を調整する工程と
を含む、流量調整方法。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記複数の液処理部の各々は、
硫酸を通流する第１経路と、
過酸化水素を通流する第２経路と、
前記第１経路からの硫酸と前記第２経路からの過酸化水素とを混合して混合液を生成する混合部と、
前記混合部により生成される混合液を基板に吐出する吐出部と、
前記第１経路に設けられ、前記第１経路を通流する硫酸の流量を計測する流量計と、
前記第１経路に設けられ、設定される設定流量に基づいて、前記流量計による計測値を前記設定流量に近づけるように前記第１経路を通流する硫酸の流量を調整する流量調整器と
を有し、
前記調整する工程は、
前記第１液処理部の前記流量調整器における前記設定流量に設定される規定値を前記関係式に適用して、前記第２液処理部の前記流量調整器における前記設定流量の調整値を算出し、
前記第２液処理部の前記流量調整器における前記設定流量を前記規定値から前記調整値に変更することにより、前記第２液処理部の前記第１経路を通流する硫酸の流量を調整する
請求項１に記載の流量調整方法。
【請求項３】
前記調整する工程は、
前記設定流量を変更した後に、前記第２液処理部の前記流量計による計測値を前記規定値に補正する
請求項２に記載の流量調整方法。
【請求項４】
前記測定する工程は、
前記吐出部に隣接して配置された前記温度センサを用いて、前記基板の表面上での前記混合液の温度を測定する
請求項２に記載の流量調整方法。
【請求項５】
前記測定する工程は、
前記混合部と前記吐出部とを接続する配管または前記吐出部に配置された前記温度センサを用いて、前記吐出部から吐出される前の前記混合液の温度を測定する
請求項２に記載の流量調整方法。
【請求項６】
硫酸と過酸化水素との混合液を基板に供給して液処理を行う複数の液処理部と、
前記複数の液処理部の各々に設けられ、前記混合液の温度を測定する温度センサと、
制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記複数の液処理部から選択される第１液処理部および第２液処理部において複数の吐出条件で前記混合液を吐出する工程と、
前記第１液処理部および前記第２液処理部の各々に設けられた温度センサを用いて、前記吐出条件ごとに前記混合液の温度を測定する工程と、
測定された前記混合液の温度に基づき、前記第１液処理部および前記第２液処理部の各々について前記混合液の温度と前記吐出条件に含まれる硫酸の流量との相関関数を求め、該相関関数から前記第１液処理部と前記第２液処理部との間で前記混合液の温度が同一となる場合の硫酸の流量の関係を示す関係式を生成する工程と、
前記関係式を用いて、前記第２液処理部において前記混合液への混合前の硫酸の流量を調整する工程と
を含む流量調整方法を各部に実行させる、基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板処理装置における流量調整方法および基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、硫酸と過酸化水素とを混合した混合液であるＳＰＭ（Sulfuric acid hydrogen Peroxide Mixture）液を半導体ウエハなどの基板に供給して液処理を行う基板処理装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－１６４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、複数の液処理部の間での処理結果のばらつきを抑制することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による流量調整方法は、硫酸と過酸化水素との混合液を基板に供給して液処理を行う複数の液処理部を備える基板処理装置における流量調整方法であり、吐出する工程と、測定する工程と、生成する工程と、調整する工程とを含む。吐出する工程は、複数の液処理部から選択される第１液処理部および第２液処理部において複数の吐出条件で混合液を吐出する。測定する工程は、第１液処理部および第２液処理部の各々に設けられた温度センサを用いて、吐出条件ごとに混合液の温度を測定する。生成する工程は、測定された混合液の温度に基づき、第１液処理部および第２液処理部の各々について混合液の温度と吐出条件に含まれる硫酸の流量との相関を示す相関関数を求め、該相関関数に基づき、第１液処理部と第２液処理部との間で混合液の温度が同一となる場合の硫酸の流量の関係を示す関係式を生成する。調整する工程は、関係式を用いて、第２液処理部において混合液への混合前の硫酸の流量を調整する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、複数の液処理部の間での処理結果のばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
図２は、実施形態に係る処理ユニットの構成を示す図である。
図３は、実施形態に係る基板処理システムにおける処理液供給系の具体的な構成例を示す図である。
図４は、実施形態に係る流量調整処理の手順を示すフローチャートである。
図５は、相関関数の導出の一例を説明するための図である。
図６は、関係式の生成の一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本開示による基板処理装置における流量調整方法および基板処理装置を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示が限定されるものではない。
【０００９】
従来、硫酸と過酸化水素とを混合した混合液であるＳＰＭ液を半導体ウエハなどの基板に供給して液処理を行う基板処理装置が知られている。また、基板処理装置としては、ＳＰＭ液を基板に供給して液処理を行う複数の液処理部を備えるものがある。
【００１０】
ところで、複数の液処理部を備える基板処理装置においては、複数の液処理部においてそれぞれ吐出されるＳＰＭ液の温度のばらつきに起因して複数の液処理部の間での処理結果のばらつきが発生する場合がある。複数の液処理部の間でのＳＰＭ液の温度は、各液処理部におけるＳＰＭ液への混合前の硫酸および過酸化水素の流量、特にＳＰＭ液への混合前の硫酸の流量に依存している。
（【００１１】以降は省略されています）

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