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公開番号2025013256
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2024110310
出願日2024-07-09
発明の名称含窒素芳香族環を有する含フッ素ポリマー、その製造方法及びその組成物
出願人ダイキン工業株式会社
代理人弁理士法人三枝国際特許事務所
主分類C08F 8/30 20060101AFI20250117BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】本開示は、含窒素芳香族環を有する含フッ素ポリマー、その製造方法、その組成物等を提供することを主な目的とする。
【解決手段】本開示は、溶媒に可溶な含フッ素ポリマーであって、前記含フッ素ポリマーを構成するモノマーの重合部位が炭素原子であり、その構造中に、含窒素芳香族環を有する、含フッ素ポリマー等に関する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
溶媒に可溶な含フッ素ポリマーであって、前記含フッ素ポリマーを構成するモノマーの重合部位が炭素原子であり、その構造中に、含窒素芳香族環を有する、含フッ素ポリマー。
続きを表示（約 3,500 文字）【請求項２】
前記含窒素芳香族環が、
下記式（１）：
TIFF
2025013256000060.tif
17
170
［Ａは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
１０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
１０
は、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｘ
１
～Ｘ
４
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＸは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（１）、
下記式（２）：
TIFF
2025013256000061.tif
22
170
［Ｙ
１
～Ｙ
６
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＹは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（２）、及び
下記式（３）：
TIFF
2025013256000062.tif
22
170
［Ｂは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
２０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
２０
は、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｚ
１
～Ｚ
８
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＺは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（３）からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項１に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項３】
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、トリアジン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾイソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾイソチアゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである請求項１に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項４】
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、イミダゾール、トリアゾール、トリアジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである請求項１に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項５】
前記含フッ素ポリマーが、含フッ素脂肪族環を有する単量体単位を主成分として含む含フッ素ポリマーであって、前記含フッ素ポリマーの含フッ素脂肪族環は、環構成原子として１、２、又は３個のエーテル性酸素原子を有し、当該含フッ素脂肪族環が当該エーテル性酸素原子を複数含むときは、当該エーテル性酸素原子は互いに隣り合わず、その構造中に、含窒素芳香族環を有する、請求項１に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項６】
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、
下記式（Ａ１）：
TIFF
2025013256000063.tif
31
170
［式中、Ｒ
１
はフッ素原子又はＣ１－Ｃ５のパーフルオロアルキル基を示す。］
で表される単量体単位（Ａ１）、
下記式（Ａ２）：
TIFF
2025013256000064.tif
31
170
［式中、Ｒ
２
～Ｒ
５
はそれぞれ独立して、フッ素原子、Ｃ１－Ｃ５のパーフルオロアルキル基、又はＣ１－Ｃ５のパーフルオロアルコキシ基を示す。］
で表される単量体単位（Ａ２）、又は
下記式（Ａ３）：
TIFF
2025013256000065.tif
33
170
［式中、Ｒ
６
～Ｒ
９
はそれぞれ独立して、フッ素原子、Ｃ１－Ｃ５のパーフルオロアルキル基、又はＣ１－Ｃ５のパーフルオロアルコキシ基を示す。］
で表される単量体単位（Ａ３）
である請求項５に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項７】
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、前記単量体単位（Ａ３）である請求項６に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項８】
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、
下記式（Ａ１－１）：
TIFF
2025013256000066.tif
31
170
で表される単量体単位（Ａ１－１）、
下記式（Ａ２－１）：
TIFF
2025013256000067.tif
32
170
で表される単量体単位（Ａ２－１）、
下記式（Ａ２－２）：
TIFF
2025013256000068.tif
31
170
で表される単量体単位（Ａ２－２）、又は
下記式（Ａ３－１）：
TIFF
2025013256000069.tif
33
170
で表される単量体単位（Ａ３－１）
である請求項６に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項９】
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、前記単量体単位（Ａ３－１）である請求項８に記載の含フッ素ポリマー。
【請求項１０】
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、－（ＣＦ
２
ＣＦ
２
）－、－（ＣＨＦＣＦ
２
）－、－（ＣＨ
２
ＣＦ
２
）－、－（ＣＨ
２
ＣＨＦ）－、－（ＣＨＦＣＨＦ）－、又は－（ＣＦ
２
ＣＣｌＦ）－である、請求項１に記載の含フッ素ポリマー。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、含窒素芳香族環を有する含フッ素ポリマー、その製造方法及びその組成物に関する。
続きを表示（約 8,300 文字）【背景技術】
【０００２】
含フッ素ポリマーは、透明性、耐久性、耐薬品性、安定性等の特性を有するため様々な分野で採用されている。例えば、発光素子封止用樹脂、エレクトロウェッティング装置の絶縁膜、半導体装置や液晶表示板の製造工程においてフォトマスクやレチクルへの異物付着を防止するため用いられるペリクルを構成するペリクル膜や、ペリクルを構成するフレームとペリクル膜とを接着するための接着剤、としての利用が検討されている（特許文献１－８）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開2002-188047号公報
特開2004-085639号公報
特開2003-156835号公報
特開2004-039317号公報
特開2007-320072号公報
国際公開第2011/027782号公報
国際公開第2013/129501号公報
国際公開第2021/020565号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、含フッ素ポリマーは金属への密着性が低いため、その用途や、使用継続期間が限られることがあった。本開示は、含窒素芳香族環を有する含フッ素ポリマー、その製造方法、その組成物等を提供することを主な目的とする。
また、含フッ素ポリマー末端に官能基を導入する際に、従来は、末端部を－ＣＯＦへ変換後、ＣＯＦ体が加水分解処理されていたが、－ＣＯＦ変換時やその後の加水分解時にフッ化水素が副生し、このフッ化水素が加水分解に使用する水に溶け込むことでフッ酸水が副生していた。フッ化水素及びフッ酸水は、これらが反応中に生成することで、釜の腐食や金属のコンタミを発生させるほか、得られるフッ素ポリマーの取扱いが困難になるため、その副生は望ましくない。本開示は、フッ酸水の副生が抑制された、官能基末端を有する含フッ素ポリマーの製造方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示は、次の態様を包含する。
項１．
溶媒に可溶な含フッ素ポリマーであって、前記含フッ素ポリマーを構成するモノマーの重合部位が炭素原子であり、その構造中に、含窒素芳香族環を有する、含フッ素ポリマー。
項２．
前記含窒素芳香族環が、
下記式（１）：
TIFF
2025013256000001.tif
17
170
［Ａは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
１０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
１０
は、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｘ
１
～Ｘ
４
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＸは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（１）、
下記式（２）：
TIFF
2025013256000002.tif
22
170
［Ｙ
１
～Ｙ
６
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＹは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（２）、及び
下記式（３）：
TIFF
2025013256000003.tif
22
170
［Ｂは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
２０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
２０
は、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｚ
１
～Ｚ
８
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＺは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（３）からなる群から選択される少なくとも一つである、項１に記載の含フッ素ポリマー。
項３．
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、トリアジン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾイソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾイソチアゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである項１又は２に記載の含フッ素ポリマー。
項４．
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、イミダゾール、トリアゾール、トリアジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである項１又は２に記載の含フッ素ポリマー。
項５．
前記含フッ素ポリマーが、含フッ素脂肪族環を有する単量体単位を主成分として含む含フッ素ポリマーであって、前記含フッ素ポリマーの含フッ素脂肪族環は、環構成原子として１、２、又は３個のエーテル性酸素原子を有し、当該含フッ素脂肪族環が当該エーテル性酸素原子を複数含むときは、当該エーテル性酸素原子は互いに隣り合わず、その構造中に、含窒素芳香族環を有する、項１～４のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマー。
項６．
前記含フッ素ポリマーに主成分として含まれる単量体単位が、
下記式（Ａ１）：
TIFF
2025013256000004.tif
31
170
［式中、Ｒ
１
【０００６】
項１６．
含フッ素脂肪族環を有する単量体単位を主成分として含み、含窒素芳香族環を有する含フッ素ポリマーの製造方法であって、
含フッ素脂肪族環を有する単量体単位を主成分として含む含フッ素ポリマー（Ａ）と、含窒素芳香族環を有する反応性試薬（Ｂ）とを、溶媒（Ｃ）中で反応させる工程を有し、前記含フッ素脂肪族環は、環構成原子として１、２、又は３個のエーテル性酸素原子を有し、当該含フッ素脂肪族環が当該エーテル性酸素原子を複数含むときは当該エーテル性酸素原子は互いに隣り合わない、
含フッ素ポリマーの製造方法。
項１７．
前記含窒素芳香族環が、
下記式（１）：
TIFF
2025013256000014.tif
17
170
［Ａは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
１０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
１０
は、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｘ
１
～Ｘ
４
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＸは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（１）、
下記式（２）：
TIFF
2025013256000015.tif
22
170
［Ｙ
１
～Ｙ
５
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＹは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（２）、及び
下記式（３）：
TIFF
2025013256000016.tif
22
170
［Ｂは酸素原子、硫黄原子、又は置換基Ｒ
２０
で置換されてもよい窒素原子を示し、Ｒ
２０
はフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基を示し、
Ｚ
１
～Ｚ
８
のいずれか一つは炭素原子を示し、他のＺは、独立して、窒素原子又は炭素原子を示し、
含窒素芳香族環を構成する炭素原子の少なくとも一つは、複数あるときは独立して、リンカーを介して又は直接に、含フッ素ポリマーの主鎖と結合し、
含窒素芳香族環を構成する他の炭素原子は、複数あるときは独立して、置換基を有してよく、
当該置換基は、複数あるときは独立して、フッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、イソシアネート基、又はアルキル基であり、
前記アルキル基は、複数あるときは独立して、Ｃ１－Ｃ５のエーテル結合を含んでもよく、及び一つ以上のフッ素原子、水酸基、メルカプト基、アミノ基、シアノ基、又はイソシアネート基で置換されていてもよい。］
で表される含窒素芳香族環（３）からなる群から選択される少なくとも一つである項１６に記載の含フッ素ポリマーの製造方法。
項１８．
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、ピロール、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピラジン、トリアジン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾイソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾイソチアゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである項１６又は１７に記載の含フッ素ポリマーの製造方法。
項１９．
前記含窒素芳香族環の基本骨格が、イミダゾール、トリアゾール、トリアジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、及びプリンからなる群から選択される少なくとも一つである項１６又は１７に記載の含フッ素ポリマーの製造方法。
項２０．
前記反応性試薬（Ｂ）が、１－（３－アミノプロピル）イミダゾール、４－（１Ｈ－ベンズイミダゾール－２－イル）アニリン、２－アミノベンズイミダゾール、５－アミノベンズイミダゾール、５－アミノ－２－メルカプトベンズイミダゾール、３－アミノ－１Ｈ－１，２，４－トリアゾール、４－アミノ－１，２，４－トリアゾール、４－アミノ－４Ｈ－１，２，４－トリアゾール、３，５－ジアミノ－１，２，４－トリアゾール、１－アミノベンゾトリアゾール、２－アミノベンゾトリアゾール、１Ｈ－１，２，３－ベンゾトリアゾール－５－アミン、５－アミノベンゾトリアゾール、メラミンモノマー、２－メトキシ－４－メチル－６－（メチルアミノ）－１，３，５－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－ブチルアミノ－１，３，５－トリアジン、２－アミノ－４－メトキシ－６－メチル－１，３，５－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－メチル－１，３，５－トリアジン、アンメリド、アンメリン、２，４－ジアミノ－１，３，５－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－イソプロポキシ－１，３，５－トリアジン、２，４－ジアミノ－６－メトキシ－１，３，５－トリアジン、２－アミノプリン、８－アザアデニン、６－Ｏ－メチルグアニン、２，６－ジアミノプリン、Ｎ－メトキシ－７Ｈ－プリン－６－アミン、１Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３－チオール、４－メチル－４Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３－チオール、２－メルカプトベンズイミダゾール、２－メルカプト－１－メチルベンズイミダゾール、５－エトキシ－２－メルカプトベンズイミダゾール、２－メルカプト－５－メチルベンズイミダゾール、２－メルカプト－５－メトキシベンズイミダゾール、チオシアヌル酸、６－（ジブチルアミノ）－１，３，５－トリアジン－２，４－ジチオール、６－メルカプトプリン、２－ヒドロキシベンズイミダゾール、２－（ヒドロキシメチル）ベンズイミダゾール、２－（３－ヒドロキシプロピル）ベンズイミダゾール、１Ｈ－ベンゾトリアゾール－１－メタノール、２－アミノオキサゾール、５－アミノ－３－メチルイソオキサゾール、３－ヒドロキシ－５－メチルイソオキサゾール、ムッシモール、３－アミノ－５－ターシャリーブチルイソオキサゾール、２－アミノベンゾオキサゾール、及び２－メルカプトベンゾオキサゾールからなる群から選択される少なくとも１種である項１６～１９のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマーの製造方法。
項２１．
前記含フッ素ポリマー（Ａ）に主成分として含まれる単量体単位が、
下記式（Ａ１）：
TIFF
2025013256000017.tif
31
170
【０００７】
項３６．
項１～１５のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマーを含有する封止樹脂。
項３７．
項１～１５のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマーを含有するフッ素樹脂接着剤。
項３８．
ペリクル膜とフレームとの接着用である、項３７に記載のフッ素樹脂接着剤。
項３９．
項３６に記載の封止樹脂、項３７に記載のフッ素樹脂接着剤、及び項３８に記載のフッ素樹脂接着剤のいずれかを含む光学デバイス。
項４０．
ペリクル膜とフレームを含むペリクルであって、項１～１５のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマーを含むペリクル。
項４１．
ペリクル膜とフレームとが項３７に記載のフッ素樹脂接着剤で接着された、項４０に記載のペリクル。
項４２．
発信波長２００ｎｍ以下の光源が使用されるフォトリソグラフィにおける露光処理方法において、項４０に記載のペリクルが使用される露光処理方法。
項４３．
波長２００ｎｍ以下の光源が、フッ素ガスエキシマレーザー又はフッ素ガスエキシマレーザーである項４２に記載の露光処理方法。
項４４．
項１～１５のいずれか一項に記載の含フッ素ポリマー及びフッ化水素を含有する組成物であって、
前記フッ化水素の含有量が前記含フッ素ポリマーの含有量に対して０．００５ｐｐｍ～５０ｐｐｍである組成物。
項４５．
前記フッ化水素の含有量が前記含フッ素ポリマーの含有量に対して０．００５ｐｐｍ～１０ｐｐｍである項４４に記載の組成物。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、金属への密着性が向上した含フッ素ポリマーを提供できる。本開示によればフッ化水素の副生が抑制された含フッ素ポリマーの製造方法を提供できる。本開示によれば、フッ化水素含有量が少なく、含フッ素ポリマーの供給源として有用な含フッ素ポリマー含有組成物を提供できる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の前記概要は、本開示の各々の開示された実施形態または全ての実装を記述することを意図するものではない。
本開示の後記説明は、実例の実施形態をより具体的に例示する。
本開示のいくつかの箇所では、例示を通してガイダンスが提供され、及びこの例示は、様々な組み合わせにおいて使用できる。
それぞれの場合において、例示の群は、非排他的な、及び代表的な群として機能できる。
本明細書で引用した全ての刊行物、特許及び特許出願はそのまま引用により本明細書に組み入れられる。
【００１０】
用語
本明細書中の記号及び略号は、特に限定のない限り、本明細書の文脈に沿い、本開示が属する技術分野において通常用いられる意味に理解できる。
本明細書中、語句「含有する」は、語句「から本質的になる」、及び語句「からなる」を包含することを意図して用いられる。
本明細書中に記載されている工程、処理、又は操作は、特に断りのない限り、室温で実施され得る。本明細書中、室温は、１０～４０℃の範囲内の温度を意味することができる。
本明細書中、表記「Ｃｎ－Ｃｍ」（ここで、ｎ、及びｍは、それぞれ、数である。）は、当業者が通常理解する通り、炭素数がｎ以上、且つｍ以下であることを表す。
本明細書中、化合物の表記は、当業者が特に規定しない限りは全ての立体異性体（エナンチオマー、ジアステレオマー、幾何異性体等）を包含することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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