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公開番号2025013060
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023116350
出願日2023-07-14
発明の名称動吸振器、システム、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250117BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】制振性能の低下を抑制する動吸振器を提供する。
【解決手段】対象物の振動を低減させる動吸振器であって、質量体と、前記対象物と前記質量体の間に配置された弾性部材と、を有し、前記質量体は、前記弾性部材に固定された容器と、複数の孔を有し、前記容器の内部に配置された多孔質体と、前記多孔質体に供給された液体と、を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対象物の振動を低減させる動吸振器であって、
質量体と、
前記対象物と前記質量体の間に配置された弾性部材と、を有し
前記質量体は、
前記弾性部材に固定された容器と、
複数の孔を有し、前記容器の内部に配置された多孔質体と、
前記多孔質体に供給された液体と、を有する、
ことを特徴とする動吸振器。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記質量体は、前記多孔質体を前記容器の内部に固定する固定部を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の動吸振器。
【請求項３】
前記容器は開口が形成され、
前記質量体は前記開口に取り付けられた蓋を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の動吸振器。
【請求項４】
前記開口は前記多孔質体より大きい、
ことを特徴とする請求項３に記載の動吸振器。
【請求項５】
前記蓋は前記容器の内部を封止するためのリング部材を有する、
ことを特徴とする請求項３に記載の動吸振器。
【請求項６】
前記容器の内部の側面に第１ネジ部が設けられ、
前記蓋には前記第１ネジ部に係合する第２ネジ部が設けられる、
ことを特徴とする請求項３に記載の動吸振器。
【請求項７】
前記多孔質体は、粒子を焼き固めた焼結体である、
ことを特徴とする請求項１に記載の動吸振器。
【請求項８】
前記多孔質体は、ステンレス、又はセラミックスの粒子を焼き固めた焼結体である、
ことを特徴とする請求項１に記載の動吸振器。
【請求項９】
対象物の振動を低減させるシステムであって、
前記対象物に配置された、請求項１に記載の動吸振器と、
前記動吸振器に液体を供給する供給装置と、を有し、
前記供給装置は、
前記液体を貯蔵するタンクと、
前記タンクに貯蔵された前記液体を前記動吸振器に供給する供給部と、
前記動吸振器が配置された前記対象物の振動に関するデータと前記対象物の振動数と前記液体の供給量の関係とに基づき、前記対象物の振動を低減するために必要な前記液体を前記動吸振器に供給するように、前記供給部を制御する制御部と、を有する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項１０】
前記対象物の振動に関するデータを計測する計測部を有する、
ことを特徴とする請求項９に記載のシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、動吸振器、システム、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の高集積化および微細化により、基板上に形成されるパターンの線幅は非常に短いものとなってきている。これに伴って、基板上にパターンを形成するリソグラフィ工程では更なる微細化が要求されている。
【０００３】
露光装置等のリソグラフィ装置では、基板上の予め定められた領域（パターン領域）にパターンを形成する。このため、パターンの微細化の要求を満たすためには、基板の位置を精度良く位置合わせすることが重要である。
【０００４】
リソグラフィ装置では、基板の位置合わせ精度の低下を抑制するために、基板を保持して移動する基板ステージなど振動を発生するユニットに振動を吸収するための動吸振器が配置されることがある。
【０００５】
特許文献１では、被制振構造物に重錘がばね要素で連結され、重錘に配設された液体タンクに液体が封入される動吸振器を開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平９－７９３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示された動吸振器において、重錘が振動して液体タンクに封入された液体が波打つ（揺れ動く）ことにより、重錘にさらなる振動が励起され、被制振構造物の振動を吸収する制振性能が低下する可能性がある。
【０００８】
そこで、本発明は、制振性能の低下を抑制する動吸振器、システム、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る動吸振器は、対象物の振動を低減させる動吸振器であって、質量体と、前記対象物と前記質量体の間に配置された弾性部材と、を有し、前記質量体は、前記弾性部材に固定された容器と、複数の孔を有し、前記容器の内部に配置された多孔質体と、前記多孔質体に供給された液体と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、制振性能の低下を抑制する動吸振器、システム、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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