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公開番号2025011760
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114065
出願日2023-07-11
発明の名称液体吐出ヘッドの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250117BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出ヘッドに用いられるドライフィルムの厚みを精度よく均一にする。
【解決手段】本開示に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、第1のレジストを前記基板に転写させるべく、前記第1のレジストに対して、前記基板と対向する側とは反対側から転写部材を押し当てた状態で第1の方向に相対移動させることで、前記第1のレジストを前記基板に転写する第1ステップと、第2のレジストを前記基板に転写された前記第1のレジスト上に転写させるべく、前記第2のレジストに対して、前記第1のレジストと対向する側とは反対側から前記転写部材を押し当てた状態で前記第1の方向とは異なる第2の方向に相対移動させることで、前記第2のレジストを前記第1のレジスト上に転写する第2ステップとを有する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
液体吐出ヘッドの液体供給口を有する基板に、レジストを転写して液体吐出ヘッドを製造する液体吐出ヘッドの製造方法において、
第１のレジストを前記基板に転写させるべく、前記第１のレジストに対して、前記基板と対向する側とは反対側から転写部材を押し当てた状態で第１の方向に相対移動させることで、前記第１のレジストを前記基板に転写する第１ステップと、
第２のレジストを前記基板に転写された前記第１のレジスト上に転写させるべく、前記第２のレジストに対して、前記第１のレジストと対向する側とは反対側から前記転写部材を押し当てた状態で前記第１の方向とは異なる第２の方向に相対移動させることで、前記第２のレジストを前記第１のレジスト上に転写する第２ステップと
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記基板は、前記レジストが転写される面において、前記基板から製造される複数のチップに対応した、複数の矩形からなる区画を有し、
前記第１の方向と前記第２の方向は、それぞれ、前記矩形の辺に沿った方向である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１の方向と前記第２の方向は、互いに対向する方向であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１の方向と前記第２の方向のなす角度が±５°の範囲であることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１の方向と前記第２の方向は、互いに直交する方向であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第１の方向と前記第２の方向のなす角度は、４５°以上３１５°以下であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１のレジストは、前記液体供給口のための流路を形成するレジストであり、
前記第２のレジストは、前記液体供給口のための液体吐出口を形成するレジストであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第２のレジストにおいて、前記液体吐出口は、少なくとも１つの列を形成するように複数形成され、
前記第１の方向と前記第２の方向が、前記少なくとも１つの列に平行となる方向であることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第１ステップおよび前記第２ステップにおいて前記転写部材を加熱することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第１ステップにおいて、前記転写部材を前記第１の方向に移動させた後に、前記転写部材を前記第１の方向とは異なる第３の方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の技術は、液体を吐出することで記録動作を行う液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、液体を供給するための液体供給口と液体を吐出するためのエネルギー発生素子を有する基板上に液体を吐出する吐出口と吐出口部へ液体を供給するための流路を備えるノズルが形成された、液体吐出ヘッドが知られている。一般的に、高品位な印字を実現するためには、液体吐出ヘッドのノズルの厚みと吐出口の開口寸法を精度よく形成することが求められる。特許文献１には、液体供給口を備えた基板にドライフィルムレジストにて液体を吐出するノズルを形成する液体吐出ヘッドの製造方法が開示されている。この方法では、液体供給口を有する基板上に、基板の下地段差を被覆するように第１のドライフィルムをラミネートして流路形成部材を形成した後、第２のドライフィルムをラミネートして吐出口形成部材を形成する。そして、フォトリソグラフィ技術により、液体を吐出するための吐出口や流路を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－４９７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、流路形成部材や吐出口形成部材となるドライフィルムをラミネートする際に、装置固有の圧力分布や温度分布による厚みのばらつきが少なからず発生する。特に、同一装置を複数回使用する場合、同様の厚みのばらつきが重なる結果、積層したドライフィルムの厚みが基板面内で均一になりにくい。基板面内には液体吐出ヘッドに搭載されるチップが複数形成されるが、印刷性能の向上のために１チップが長尺化すると、チップ内に配置されるノズルの厚みが均一になりにくくなり、フォトリソグラフィ技術により形成する吐出口の開口寸法も均一になりにくい。したがって、高品位な液体吐出ヘッドを製造することが困難となる懸念がある。
【０００５】
本開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであり、液体吐出ヘッドに用いられるドライフィルムの厚みを精度よく均一にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本開示に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液体吐出ヘッドの液体供給口を有する基板に、レジストを転写して液体吐出ヘッドを製造する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１のレジストを前記基板に転写させるべく、前記第１のレジストに対して、前記基板と対向する側とは反対側から転写部材を押し当てた状態で第１の方向に相対移動させることで、前記第１のレジストを前記基板に転写する第１ステップと、第２のレジストを前記基板に転写された前記第１のレジスト上に転写させるべく、前記第２のレジストに対して、前記第１のレジストと対向する側とは反対側から前記転写部材を押し当てた状態で前記第１の方向とは異なる第２の方向に相対移動させることで、前記第２のレジストを前記第１のレジスト上に転写する第２ステップとを有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の技術によれば、液体吐出ヘッドに用いられるドライフィルムの厚みのばらつきを抑え、より高品位な液体吐出ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例を示す斜視模式図である。
図１のＡ－Ａ’線による液体吐出ヘッドの断面模式図である。
一実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の工程例を示す模式図である。
一実施形態に係る転写装置の一部構成を示すブロック図である。
一実施形態に係る転写装置のローラーユニットを示す模式図である。
一実施形態に係るローラーユニットによる転写の一例を示す模式図である。
一実施形態に係るレジストの転写の一例を示す上面模式図である。
一実施形態に係るレジストの転写の別の一例を示す上面模式図である。
従来技術に係るレジストの転写の一例を示す上面模式図である。
従来技術における転写の例におけるレジストを示す断面模式図である。
一実施形態における転写の例におけるレジストを示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本開示の技術の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。以下、各実施形態についてより詳細に説明をする。また、以下の各実施例に示す数値は一例であり、本開示の技術はこれらに限定されるものではない。また、本開示の技術は各実施例に限ったものではなく、これらをさらに組み合わせるもの、他の技術分野に応用したものも含む。
【００１０】
（第１実施形態）
以下に、本開示の技術の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。以下に説明するようにドライフィルムを用いて製造された液体吐出ヘッドは、例えばインクジェットプリンタ（不図示）に搭載される。インクジェットプリンタには様々な形態があるが、一般的にはプリンタには走査方向に移動可能なキャリッジ（不図示）が設けられており、キャリッジは、インクを印刷媒体上に吐出する液体吐出ヘッドを有する。インクは、インクタンクから液体流路を経由して液体吐出ヘッドに供給され、液体吐出ヘッドに設けられた吐出口から印刷媒体に吐出される。そして、キャリッジの走査と液体吐出ヘッドからのインクの吐出を繰り返すことで、印刷媒体に所望の印字パターンが印字される。
（【００１１】以降は省略されています）

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