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公開番号2025010588
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-22
出願番号2024184028,2021568279
出願日2024-10-18,2020-04-24
発明の名称画像を用いて材料を露光するためのシステムおよび方法
出願人ヴィジテックアーエス
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250115BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】画像を用いて材料を露光するためのシステムおよび方法の提供。
【解決手段】画像を用いて材料を露光するためのシステムであって、該システムは、露光テーブル(12)と、該露光テーブル(12)の上方に配置された電子光プロジェクタ(13)とを備え、該電子光プロジェクタ(13)は、該露光テーブル(12)に配置された材料に向かって画像を投影するように適合され、該電子光プロジェクタおよび該露光テーブルは、互いに対して移動させられるように構成され、該電子光プロジェクタ(13)は、プロジェクタ制御ユニットに接続されており、該プロジェクタ制御ユニットは、画像データによって表現された一連の露光されるべき画像を提供することと、該露光されるべき画像のエッジ区域上に静止画像パターンを重ね合わせ、一連の組み合わされた画像をもたらすこととを行うように構成されている、システム。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
画像を用いて材料を露光するためのシステムであって、該システムは、露光テーブル（１２）と、該露光テーブル（１２）の上方に配置された電子光プロジェクタ（１３）とを備え、該電子光プロジェクタ（１３）は、該露光テーブル（１２）に配置された材料に向かって画像を投影するように適合され、該電子光プロジェクタおよび該露光テーブルは、露光中、互いに対して移動させられるように構成され、該電子光プロジェクタ（１３）は、プロジェクタ制御ユニットに接続されており、該プロジェクタ制御ユニットは、
画像データによって表現された一連の露光されるべき画像を提供することと、
該露光されるべき画像のエッジ区域上に静止画像パターンを重ね合わせ、画像データによって表現された一連の組み合わされた画像をもたらすことであって、該静止画像パターンの幅は、該露光されるべき画像より細い、ことと
を行うように構成され、該電子光プロジェクタ（１３）は、該組み合わされた画像を該材料上に順次露光するように構成されている、システム。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記露光されるべき画像は、静止画像パターン（７１）を伴うＣＡＤ（コンピュータ支援設計）画像データ（７２）の形式におけるものであり、該静止画像パターン（７１）は、該露光されるべき画像の各側でＣＡＤファイルによって与えられた該露光されるべき画像の前記エッジ区域上に重ね合わせられている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記材料（１１）は、感光または光重合性材料である、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記電子光プロジェクタ（１３）は、モーターコントローラに接続されており、該モーターコントローラは、該プロジェクタが画像シーケンス内の次の画像を設定することを可能にするために、前記露光テーブルに対する該電子光プロジェクタの移動を制御するための同期信号（１５）を該電子光プロジェクタに提供する、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記重ね合わせられるパターンは、前記画像データが順次提示されている間、固定されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記露光されるべき画像のうちの１つの画像の１つのエッジ区域上の前記重ね合わせられるパターンは、該露光されるべき画像のうちの該１つの画像に隣接した露光されるべき別の画像の他のエッジ区域に対して補完的である、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記プロジェクタ制御ユニットは、前記露光されるべき画像上への前記静止画像パターンの重ね合わせを制御するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記重ね合わせられるパターンは、全投影画像幅と、１投影画像ピクセルとの間の幅を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記重ね合わせられるパターンは、１つの投影される画像における行の数に対応する長さを有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記重ね合わせられるパターンは、のこぎり歯の形状をしている、請求項１に記載のシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、３Ｄオブジェクトを構築するための層ごとの材料の固化のために、または一層のみが重合もしくは露光される２Ｄ直接描画リソグラフィのために光重合性材料（および他の材料）を露光するためのデバイスを用いるとき、隣接した露光ストライプにおける望ましくない不連続な影響を排除するためのプロセスに関連する。典型的な使用は、ＰＣＢ、タッチパネル、太陽電池、ケミカルミーリングおよびその他の製造に関連するリソグラフィのために用いられる２Ｄ直接リソグラフィ機械における使用の他、３Ｄプリンタ、ラピッドプロトタイピング機械、ラピッドマニュファクチャリング機械およびこれらに類似の層ごとの構築プロセス設備における使用であろう。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
（背景）
２つの隣接した露光ストライプが近くに置かれると、重合された材料は、露光ストライプの位置付け、および各ストライプの出力に左右される。露光ストライプの位置付けが互いに対してｘおよびｙ方向にうまく（すなわち画像ピクセルと同じグリッド上に）整列させられており、露光ストライプの出力が同一である場合、結果は、最適であるだろう。そして、隣接した露光ストライプは、互いの近くに（「背中合わせに」）置かれるか、または画像ピクセルグリッドに一致する重複域を伴って置かれることができる。重複域が適用される場合、重複域内の画像データは、過度な露光を避けるために画像データセットのうちの１つに対して除去されなければならない。
【０００３】
しかしながら、画像ストライプ長さに直交した、画像についての出力分布があるばらつきを有する場合、または各露光ストライプに関する画像位置付けがピクセルグリッド上にない場合、重合された材料は、不連続な領域または露光されていない領域などの望ましくない特性を有するだろう。
【０００４】
第ＷＯ２０１６／１２４６３４号（特許文献１）は、３Ｄオブジェクトを構築するための層ごとの材料の固化のために光重合性材料を露光する方法を記載している。露光されるべき画像を少なくとも１ピクセルの内部距離を伴う多数の部分画像に分割し、光プロジェクタを用いて部分画像を光重合性材料上に順次露光することによって、露光は、実施される。
【０００５】
第ＥＰ３０４０７７８号（特許文献２）は、画像領域上の均一な輝度を光プロジェクタから提供する方法を記載している。この書類は、隣接した露光ストライプのエッジ部分における露光結果に対する影響を低減させることについての問題を解決せず、露光結果に対する影響は、画像部分の差、および／または２つの隣接した露光ストライプに対する輝度均一性の差によって引き起こされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０１６／１２４６３４号
欧州特許第３０４０７７８号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（発明の概要）
本発明の目的は、３Ｄオブジェクトを構築するために感光または光重合性材料を層ごとに露光するためのシステムおよび方法、または２Ｄ直接描画リソグラフィのためのシステムおよび方法を提供することであり、本発明のシステムおよび方法は、上に記載の従来技術の望ましくない影響を低減させ、または排除する。
【０００８】
従って、本発明の目的は、画像部分の差、および／または２つの隣接した露光ストライプに対する輝度均一性の差によって引き起こされる隣接した露光ストライプのエッジ部分における露光結果に対する影響を低減させることが可能なシステムおよび方法を提供することである。
【０００９】
本発明のシステムおよび方法は、露光された画像における輝度均一性に関する要件を緩和し、機械内の画像位置を制御する機構に関する許容誤差も緩和するだろう。輝度一様性および画像位置付け機構の両方が高価な機械部品を必要とするので、このようなパラメータの許容誤差が緩和されると、費用対効果の高い機械を提供することは、より容易である。
【００１０】
本発明の目的は、特許請求の範囲の特徴を用いて達成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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