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公開番号2024176360
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023094842
出願日2023-06-08
発明の名称キャパシタおよびキャパシタの製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類H01G 4/33 20060101AFI20241212BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】キャパシタの発生容量を増大することが可能なキャパシタおよびキャパシタの製造方法を提供する。
【解決手段】キャパシタ1は、第1主面3および第2主面4を有する基材2と、断面視において第1主面3から第2主面4に向かって幅が小さくなるテーパ形状の側壁17を有し、第1貫通穴10に埋め込まれた第1埋め込み電極12と、断面視において第2主面4から第1主面3に向かって幅が小さくなるテーパ形状の側壁27を有し、第2貫通穴20に埋め込まれた第2埋め込み電極22と、第1主面3を被覆し、第1埋め込み電極12に電気的に接続された第1外部電極35と、第2主面4を被覆し、第2埋め込み電極22に電気的に接続された第2外部電極38とを含む。第1側壁12および第2側壁22が、基材2の一部を、第1方向Xに挟んで対向している。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面およびその反対側の第２主面を有する基材と、
前記基材を厚さ方向に貫通する第１貫通穴と、
前記第１貫通穴に対し間隔を空けて形成された第２貫通穴であって、前記基材を厚さ方向に貫通する第２貫通穴と、
断面視において前記第１主面から前記第２主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第１側壁を有し、前記第１貫通穴に埋め込まれた第１埋め込み電極と、
断面視において前記第２主面から前記第１主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第２側壁を有し、前記第２貫通穴に埋め込まれた第２埋め込み電極と、
前記第１主面および前記第２主面の一方を被覆し、前記第１埋め込み電極に電気的に接続された第１外部電極と、
前記第１主面および前記第２主面の他方を被覆し、前記第２埋め込み電極に電気的に接続された第２外部電極とを含み、
前記第１側壁および前記第２側壁が、前記基材の一部を挟んで対向している、キャパシタ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
互いに対向する前記第１側壁および前記第２側壁が平行である、請求項１に記載のキャパシタ。
【請求項３】
前記第１埋め込み電極の前記第１主面側の第１端部における幅が、前記第１側壁および前記第２側壁の間隔よりも大きい、請求項２に記載のキャパシタ。
【請求項４】
前記第１外部電極が前記第１主面を被覆し、
前記第２外部電極が前記第２主面を被覆している、請求項１または２に記載のキャパシタ。
【請求項５】
前記第１主面上に形成され、前記第１埋め込み電極に接続された第１表面電極と、
前記第２主面上に形成され、前記第２埋め込み電極に接続された第２表面電極とをさらに含み、
前記第１埋め込み電極が、前記第１表面電極を介して前記第１外部電極に電気的に接続され、
前記第２埋め込み電極が、前記第２表面電極を介して前記第２外部電極に電気的に接続されている、請求項４に記載のキャパシタ。
【請求項６】
前記第１主面に対する前記第１側壁および前記第２側壁の傾斜角度が、６５°以上８５°以下である、請求項１または２に記載のキャパシタ。
【請求項７】
前記第１埋め込み電極および前記第２埋め込み電極が、第１方向に交互に並んでいる、請求項１～３のいずれか一項に記載のキャパシタ。
【請求項８】
前記第１埋め込み電極および前記第２埋め込み電極が、平面視で前記第１方向に交差する第２方向に沿うストライプ状に形成されている、請求項７に記載のキャパシタ。
【請求項９】
前記第１側壁が、第１方向に沿う断面視において前記第１主面から前記第２主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状であり、
前記第２側壁が、前記第１方向に沿う断面視において前記第２主面から前記第１主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状であり、
前記第１埋め込み電極が、前記第１方向に交差する第２方向に沿う断面視において前記第１主面から前記第２主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第３側壁をさらに有し、
前記第２埋め込み電極が、前記第２方向に沿う断面視において前記第２主面から前記第１主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第４側壁をさらに有し、
前記第３側壁および前記第４側壁が、前記基材の一部を挟んで対向している、請求項１～３のいずれか一項に記載のキャパシタ。
【請求項１０】
前記第１埋め込み電極および前記第２埋め込み電極が、前記第１方向および前記第２方向に交互に並んでいる、請求項９に記載のキャパシタ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、キャパシタおよびキャパシタの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、複数の貫通孔を有する基板と、貫通孔に充填された貫通電極と、基板の第１主面上に形成された絶縁性カバー膜と、絶縁性カバー膜の上に形成されたキャパシタ構造と、キャパシタ構造を覆う保護絶縁膜と、キャパシタ構造と電気的に接続され、かつ対応する貫通電極と電気的に接続される複数の接続パッドとを備える、貫通電極付きキャパシタを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２００９／１１０２８８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示の一実施形態は、発生容量を増大することが可能な、キャパシタおよびキャパシタの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施形態は、第１主面およびその反対側の第２主面を有する基材と、前記基材を厚さ方向に貫通する第１貫通穴と、前記第１貫通穴に対し間隔を空けて形成された第２貫通穴であって、前記基材を厚さ方向に貫通する第２貫通穴と、断面視において前記第１主面から前記第２主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第１側壁を有し、前記第１貫通穴に埋め込まれた第１埋め込み電極と、断面視において前記第２主面から前記第１主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第２側壁を有し、前記第２貫通穴に埋め込まれた第２埋め込み電極と、前記第１主面および前記第２主面の一方を被覆し、前記第１埋め込み電極に電気的に接続された第１外部電極と、前記第１主面および前記第２主面の他方を被覆し、前記第２埋め込み電極に電気的に接続された第２外部電極とを含む、キャパシタを提供する。前記第１側壁および前記第２側壁が、前記基材の一部を挟んで対向している。
【０００６】
本開示の一実施形態は、一方側の第１主面および他方側の第２主面を有する基板に、断面視において前記第１主面から前記第２主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第１内面を有し、前記基板を厚さ方向に貫通する第１貫通穴、および断面視において前記第２主面から前記第１主面に向かって幅が小さくなるテーパ形状の第２内面を有し、前記基板を厚さ方向に貫通する第２貫通穴の一方を形成する第１工程と、前記第１工程の後、前記第１貫通穴および前記第２貫通穴の他方を前記基板に形成する第２工程と、前記第１貫通穴の内部をベース導電膜で埋めて第１埋め込み電極を形成し、かつ前記第２貫通穴の内部をベース導電膜で埋めて第２埋め込み電極を形成する第３工程と、前記第１埋め込み電極に電気的に接続された第１外部電極を、前記第１主面を被覆するように形成し、かつ前記第２埋め込み電極に電気的に接続された第２外部電極を、前記第２主面を被覆するように形成する第４工程とを含む、キャパシタの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の一実施形態によれば、キャパシタの発生容量を増大することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本開示の第１実施形態に係るキャパシタの模式的な平面図である。
図２は、本開示の第１実施形態に係るキャパシタの模式的な底面図である。
図３は、図１のIII-III線に沿う模式的な断面図である。
図４は、図３の一点鎖線IVで囲まれた部分の拡大図である。
図５は、図３の一点鎖線Vで囲まれた部分の拡大図である。
図６Ａは、本開示の第１実施形態に係るキャパシタの製造工程の一部を示す断面図であって、図３に対応する図である。
図６Ｂは、図６Ａの次の工程を示す断面図である。
図６Ｃは、図６Ｂの次の工程を示す断面図である。
図６Ｄは、図６Ｃの次の工程を示す断面図である。
図６Ｅは、図６Ｄの次の工程を示す断面図である。
図６Ｆは、図６Ｅの次の工程を示す断面図である。
図６Ｇは、図６Ｆの次の工程を示す断面図である。
図６Ｈは、図６Ｇの次の工程を示す断面図である。
図６Ｉは、図６Ｈの次の工程を示す断面図である。
図６Ｊは、図６Ｉの次の工程を示す断面図である。
図６Ｋは、図６Ｊの次の工程を示す断面図である。
図６Ｌは、図６Ｋの次の工程を示す断面図である。
図６Ｍは、図６Ｌの次の工程を示す断面図である。
図６Ｎは、図６Ｍの次の工程を示す断面図である。
図７は、参考形態に係るキャパシタの模式的な断面図であって、図３に対応する図である。
図８は、本開示の第２実施形態に係るキャパシタの模式的な平面図である。
図９は、本開示の第２実施形態に係るキャパシタの模式的な底面図である。
図１０は、図８のX-X線に沿う模式的な断面図である。
図１１は、図８のXI-XI線に沿う模式的な断面図である。
図１２は、図８のXII-XII線に沿う模式的な断面図である。
図１３は、図１０の一点鎖線XIIIで囲まれた部分の拡大図である。
図１４は、図１０の一点鎖線XIVで囲まれた部分の拡大図である。
図１５は、図１２の一点鎖線XVで囲まれた部分の拡大図である。
図１６は、図１２の一点鎖線XVIで囲まれた部分の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本開示の第１実施形態に係るキャパシタ１の模式的な平面図である。図２は、キャパシタ１の模式的な底面図である。
【００１０】
キャパシタ１は、直方体形状の基材２を含む。基材２は、一方側の第１主面３、他方側の第２主面４、ならびに第１主面３および第２主面４を接続する側面５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄを有している。キャパシタ１は、ディスクリートキャパシタとも称される。
（【００１１】以降は省略されています）

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