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公開番号2024172152
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089693
出願日2023-05-31
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】幅寸法の拡大を招くことなく、ハンド保持部材のリーチ長を延長する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置A1において、支持ベース1と、支持ベース1上に設けられ、ガイドレール21および当該ガイドレール21に組み合わされたガイドブロック22からなるリニアガイド機構2と、駆動軸51を中心として回動駆動される駆動アーム31および当該駆動アーム31の先端に基端が連携された従動アーム33を含むリンクアーム機構3と、従動アーム33の先端が連結されるとともにリニアガイド機構2により直線移動可能に支持されたハンド保持部材4と、を備えており、ハンド保持部材4は、従動アーム33の先端が連結される第1部分41と、当該第1部分41よりもハンド保持部材4の移動方向前方に位置する第2部分42と、を有している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持ベースと、
上記支持ベース上に設けられ、ガイドレールおよび当該ガイドレールに組み合わされたガイドブロックからなるリニアガイド機構と、
駆動軸を中心として回動駆動される駆動アームおよび当該駆動アームの先端に基端が連携された従動アームを含むリンクアーム機構と、
上記従動アームの先端が連結されるとともに上記リニアガイド機構により直線移動可能に支持されたハンド保持部材と、を備えており、
上記ハンド保持部材は、上記従動アームの先端が連結される第１部分と、当該第１部分よりも当該ハンド保持部材の移動方向前方に位置する第２部分とを有していることを特徴とする、搬送装置。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
上記第１部分と上記第２部分との間には、曲げ応力および／またはねじり応力を吸収する応力吸収手段が設けられている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記第１部分と上記第２部分は、連結部材を介して連結されている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記応力吸収手段は、上記連結部材を弾性撓み変形が可能とすることにより形成されている、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
上記応力吸収手段は、上記連結部材と上記第１部分との間および／または上記連結部材と上記第２部分との間に、一方の軸線に対して他方の軸線が無方向に傾動可能な関節を設けることにより形成されている、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項６】
上記応力吸収手段は、上記連結部材の中間部に、一方の軸線に対して他方の軸線が無方向に傾動可能な関節を設けることにより形成されている、請求項３に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、ＦＰＤ(フラットパネルディスプレイ)用ガラス基板等の薄板状のワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置のうち、クリーン度の高い環境下で用いるものとして、例えば特許文献１に示されたものがある。この搬送装置は、支持ベースに設けたリニアガイド機構によりハンド保持部材を水平直線方向に移動可能に支持し、ハンド保持部材をリンクアーム機構により進退駆動するように構成されている。支持ベースは通常、昇降および旋回が可能となっている。
【０００３】
すなわち、図７に模式的に示すように、上記リンクアーム機構ａは、駆動軸ｂを中心に回動させられる駆動アームｃとこの駆動アームｃの先端に基端が連携される従動アームｄとを備え、従動アームｄの先端にはリニアガイド機構ｅに支持されたハンド保持部材ｆが連結されている。ハンド保持部材ｆは、従動アームｄに対して支点ｇ周りに相対回転可能である。リニアガイド機構ｅは、水平直線状に延びるガイドレールｈとこのガイドレールｈに沿って移動可能に組み合わされたガイドブロックｊとを備えてなり、ガイドブロックｊはハンド保持部材ｆに固定されている。ハンド保持部材ｆには、例えばフォーク状のハンド体ｋが保持されている。
【０００４】
駆動アームｃを回動駆動することにより、ハンド保持部材ｆは、図に実線で示す最後退位置と仮想線で示す最前進位置との間を直線的に移動させられる。
【０００５】
ところで、近年、板状ワークの大型化と、これに伴う処理チャンバの大型化に伴い、ハンド体ｋのリーチ長の長大化が求められてきている。そのための対策として、上記リンクアーム機構ａの大型化、すなわち、駆動アームｃと従動アームｄを長大化してハンド保持部材ｆの移動ストロークを延長することが考えられるが、そうすると、このリンクアーム機構ａの肘部分が左右に大きく出っ張るので、搬送装置を顧客現場まで輸送する際に使用する木枠梱包を大型化せざるをえない。しかし、道路交通法等の法律面の規制や船舶や飛行機に積載可能なコンテナの大きさの規制の問題があるのでかかる対策は採用しづらい。また、駆動アームｃと従動アームｄを長大化は、搬送装置が設置されるチャンバの大型化やチャンバの強度不足に繋がるので、好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００８－２６４９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、幅寸法の拡大を招くことなく、ハンド保持部材のリーチ長を延長することができる搬送装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００９】
すなわち、本発明によって提供される搬送装置は、支持ベースと、上記支持ベース上に設けられ、ガイドレールおよび当該ガイドレールに組み合わされたガイドブロックからなるリニアガイド機構と、駆動軸を中心として回動駆動される駆動アームおよび当該駆動アームの先端に基端が連携された従動アームを含むリンクアーム機構と、上記従動アームの先端が連結されるとともに上記リニアガイド機構により直線移動可能に支持されたハンド保持部材と、を備えており、上記ハンド保持部材は、上記従動アームの先端が連結される第１部分と、当該第１部分よりも当該ハンド保持部材の移動方向前方に位置する第２部分と、を有していることを特徴とする。
【００１０】
好ましい実施の形態では、上記第１部分と上記第２部分との間には、曲げ応力および／またはねじり応力を吸収する応力吸収手段が設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

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