特許ウォッチ

公開番号2024175683
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2024091394
出願日2024-06-05
発明の名称感放射線性組成物、硬化物及びその製造方法、表示装置並びに撮像装置
出願人JSR株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/027 20060101AFI20241211BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】パターニング特性が良好であり、しかも高屈折率な硬化物を得ることができる感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】(A)成分と(B)成分とを含有する感放射線性組成物。(A)成分:式(1)で表される化合物及び式(1)で表される化合物の2個以上が単結合又は連結基を介して結合してなる化合物よりなる群から選択される少なくとも1種、(B)成分:光重合開始剤。式(1)中、R¹は、硫黄原子、窒素原子及びリン原子よりなる群から選択される1種以上のヘテロ原子を有する基、芳香族炭化水素環を有する基又は脂肪族炭化水素環を有する基であって、アルカリ可溶性基を有しない1価の基を表す。R²は、アルカリ可溶性基を有する基を表す。R³は水素原子又は炭素数1～10のアルキル基を表す。
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>TIFF</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2024175683000015.tif</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">45</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">169</com:WidthMeasure> </com:Image>
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
下記の（Ａ）成分と（Ｂ）成分とを含有する、感放射線性組成物。
（Ａ）成分：下記式（１）で表される化合物及び下記式（１）で表される化合物の２個以上が単結合又は連結基を介して結合してなる化合物よりなる群から選択される少なくとも１種
（Ｂ）成分：光重合開始剤
TIFF
2024175683000014.tif
45
170
（式（１）中、Ｌ
１
は、３～１５価の有機基を表す。Ｒ
０１
、Ｒ
０２
及びＲ
０３
は、互いに独立して、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ
１
は、硫黄原子、窒素原子及びリン原子よりなる群から選択される１種以上のヘテロ原子を有する基、芳香族炭化水素環を有する基又は脂肪族炭化水素環を有する基であって、アルカリ可溶性基を有しない１価の基を表す。Ｒ
２
は、アルカリ可溶性基を有する基を表す。Ｒ
３
は、水素原子又は炭素数１～１０のアルキル基を表す。Ｘ
１
及びＸ
２
は、互いに独立して、硫黄原子又は－ＮＲ
４
－を表す。Ｒ
４
は、水素原子又は炭素数１～１０のアルキル基を表す。ａ、ｂ、ｃ及びｄは、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１モルとした場合における組成比を表し、ａは０．１０～０．８０を表し、ｂは０～０．４０を表し、ｃは０．０５～０．９０を表し、ｄは０～０．４０を表す。）
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記Ｒ
１
は、硫黄原子、窒素原子及びリン原子よりなる群から選択される１種以上のヘテロ原子を有する複素環基、芳香族炭化水素環基又は脂肪族炭化水素環基であって、アルカリ可溶性基を有しない１価の基を表す、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項３】
前記Ｒ
２
は、芳香族炭化水素環、脂肪族炭化水素環、鎖状炭化水素又は複素環に対し、カルボキシ基又はヒドロキシ基が結合した構造を有する、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項４】
下記の（Ｃ）成分を更に含有する、請求項１に記載の感放射線性組成物。
（Ｃ）成分：重合性炭素－炭素不飽和結合を有する化合物（ただし、前記（Ａ）成分を除く。）
【請求項５】
前記（Ｃ）成分の含有量が、前記（Ａ）成分の１００質量部に対して、１質量部以上５０質量部以下である、請求項４に記載の感放射線性組成物。
【請求項６】
前記Ｌ
１
は、脂肪族炭化水素基又は脂肪族炭化水素基の炭素-炭素結合間に－Ｏ－を含む基である、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項７】
（Ｅ）溶剤を更に含有する、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項８】
レンズ製造用である、請求項１～７のいずれか一項に記載の感放射線性組成物。
【請求項９】
請求項１～７のいずれか一項に記載の感放射線性組成物を用いて形成された硬化物。
【請求項１０】
光学部材用である、請求項９に記載の硬化物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感放射線性組成物、硬化物及びその製造方法、表示装置並びに撮像装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ－ＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌ－Ｏｘｉｄｅ－Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサといった各種イメージセンサは、カメラ等の撮像装置における固体撮像素子として用いられている。固体撮像素子には、受光素子（フォトダイオード）に光を集めてセンサ感度を向上させるために微小な集光レンズ（以下、「マイクロレンズ」ともいう）が規則的に並べて配置されている。
【０００３】
また、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子や液晶表示素子等の各種表示素子において、光取り出し効率の向上や視野角調整を目的に、各画素に対し光出射側にマイクロレンズを設けた構造も採用されている。有機ＥＬ表示装置等の自発光ディスプレイにおいて、高屈折材料によりマイクロレンズを形成することにより、輝度向上や視野角調整を図ることが試みられている。
【０００４】
マイクロレンズを形成する方法の１つとしては、サーマルフロー方式が知られている（例えば、特許文献１参照）。サーマルフロー方式は、感放射線性組成物を用いて、マイクロレンズの配置に対応するパターンを受光素子や発光素子の上部に形成した後、感放射線性組成物により形成されたパターンを加熱する処理を行うことによって半球状のマイクロレンズアレイを形成する方法である。
【０００５】
また従来、有機ＥＬ素子や液晶表示素子が有する硬化物の製造工程では、感放射線性組成物を基材上に塗布して塗膜を形成した後、所定の開口パターンを有するフォトマスクを介して塗膜を露光し、次いで現像液と接触させて未露光部を溶解除去することにより、パターン化された硬化物を形成する方法が一般に採用されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－１０１６５９号公報
特開２０１７－１０７０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
パターン化され、かつ高屈折率な硬化物を得る場合、当該硬化物を得るための感放射線性組成物は、得られる硬化物の高屈折率化を図りながら、現像液として用いられるアルカリ溶液に対する溶解性が十分に高く、これにより良好なパターニング特性を示すことが求められる。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、パターニング特性が良好であり、しかも高屈折率な硬化物を得ることができる感放射線性組成物を提供することを一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、以下の感放射線性組成物、硬化物及びその製造方法、表示装置並びに撮像装置が提供される。
【００１０】
［１］下記の（Ａ）成分と（Ｂ）成分とを含有する、感放射線性組成物。
（Ａ）成分：下記式（１）で表される化合物及び下記式（１）で表される化合物の２個以上が単結合又は連結基を介して結合してなる化合物よりなる群から選択される少なくとも１種
（Ｂ）成分：光重合開始剤
TIFF
2024175683000001.tif
45
169
（式（１）中、Ｌ
１
は、３～１５価の有機基を表す。Ｒ
０１
、Ｒ
０２
及びＲ
０３
は、互いに独立して、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ
１
は、硫黄原子、窒素原子及びリン原子よりなる群から選択される１種以上のヘテロ原子を有する基、芳香族炭化水素環を有する基又は脂肪族炭化水素環を有する基であって、アルカリ可溶性基を有しない１価の基を表す。Ｒ
２
は、アルカリ可溶性基を有する基を表す。Ｒ
３
は、水素原子又は炭素数１～１０のアルキル基を表す。Ｘ
１
及びＸ
２
は、互いに独立して、硫黄原子又は－ＮＲ
４
－を表す。Ｒ
４
は、水素原子又は炭素数１～１０のアルキル基を表す。ａ、ｂ、ｃ及びｄは、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１モルとした場合における組成比を表し、ａは０．１０～０．８０を表し、ｂは０～０．４０を表し、ｃは０．０５～０．９０を表し、ｄは０～０．４０を表す。）
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許