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公開番号2024172145
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023089683
出願日2023-05-31
発明の名称基板保持装置、および基板保持装置における摩耗検出方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板を把持して回転させるための接触把持部の摩耗を検出可能な基板保持装置、および基板保持装置における摩耗検出方法を提供する。
【解決手段】基板保持装置は、基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の位置を直接的または間接的に検出する第1センサと、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記移動回転部の位置である第1初期位置を記憶し、前記移動回転部の現在位置と前記第1初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、
前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、
前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の位置を直接的または間接的に検出する第１センサと、
前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記移動回転部の位置である第１初期位置を記憶し、前記移動回転部の現在位置と前記第１初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出部と、を備える、
基板保持装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、
前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、
前記基板の位置を検出する第２センサと、
前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記基板の位置である第２初期位置を記憶し、前記基板の現在位置と前記第２初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出部と、を備える、
基板保持装置。
【請求項３】
前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の位置を直接的または間接的に検出する第１センサをさらに備え、
前記検出部は、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記移動回転部の位置である第１初期位置を記憶し、
前記検出部は、前記基板の現在位置と前記第２初期位置との差と、前記移動回転部の現在位置と前記第１初期位置との差と、に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する、
請求項２に記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記接触把持部の摩耗量を検出する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記接触把持部の摩耗の発生が検出された場合に警報を発する警報部をさらに備える、
請求項１から３のいずれか一項に記載の基板保持装置。
【請求項６】
基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、を備える基板保持装置において、前記接触把持部の摩耗を検出する摩耗検出方法であって、
前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における位置である第１初期位置を取得する第１初期位置取得工程と、
前記第１初期位置取得工程よりも後において、前記移動回転部の現在位置を取得する現在位置取得工程と、
前記移動回転部の現在位置と前記第１初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出工程と、を有する、
基板保持装置における摩耗検出方法。
【請求項７】
基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、を備える基板保持装置において、前記接触把持部の摩耗を検出する摩耗検出方法であって、
前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記基板の位置である第２初期位置を取得する第２初期位置取得工程と、
前記第２初期位置取得工程よりも後において、前記基板の現在位置を取得する現在位置取得工程と、
前記基板の現在位置と前記第２初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出工程と、を有する、
基板保持装置における摩耗検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板保持装置、および基板保持装置における摩耗検出方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数のスピンドルを備えた基板保持装置が開示されている。各スピンドルは、回転可能な回転部を有する。回転部には、基板の周縁部に接触する接触把持部が設けられる。この基板保持装置においては、複数のスピンドルが有する複数の接触把持部によって基板を把持することで、基板が保持される。この状態でさらに各回転部が回転することで、基板も回転する。つまり、特許文献１の基板保持装置は、基板を回転させた状態で、基板を保持する。
【０００３】
このような基板保持装置は、例えば、基板を洗浄するための洗浄部材（スポンジ等）を有する、基板洗浄装置に組み込まれる。洗浄部材は、基板保持装置によって保持および回転させられた基板に摺接することで、基板を洗浄する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１９５６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基板保持装置の使用を続けていくと、上述したような把持接触部は次第に摩耗していく。従来は、このような把持接触部の摩耗を検出する手段がなかった。このため、把持接触部に摩耗が生じる期間を事前に予測し、予測された期間だけ基板保持装置を使用した際に回転部の交換を行うという運用が一般的であった。
【０００６】
しかしながら、このような運用によっては、回転部の交換を行うのが早すぎたり、遅すぎたりする可能性がある。例えば、基板保持装置の使用条件によって接触把持部の摩耗量はバラつく。このような摩耗量のバラつきは、回転部の交換時期の正確な予測を困難にする。もし把持接触部の摩耗を検出することができれば、適切なタイミングで回転部の交換を行うことができる。
【０００７】
本発明は、このような事情を考慮してなされ、基板を把持して回転させるための接触把持部の摩耗を検出可能な基板保持装置、および基板保持装置における摩耗検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の態様１に係る基板保持装置は、（基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の位置を直接的または間接的に検出する第１センサと、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記移動回転部の位置である第１初期位置を記憶し、前記移動回転部の現在位置と前記第１初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出部と、を備える。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の態様２に係る基板保持装置は、基板の周縁部に接触して前記基板を回転させる接触把持部を各々有する、少なくとも三つの回転部と、前記少なくとも三つの回転部のうち少なくとも一つの回転部を前記基板に向けて移動させることで、複数の前記接触把持部に前記基板を把持させる移動機構と、前記基板の位置を検出する第２センサと、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記基板の位置である第２初期位置を記憶し、前記基板の現在位置と前記第２初期位置との差に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する検出部と、を備える。
【００１０】
また、本発明の態様３は、態様２の基板保持装置において、前記移動機構によって移動させられる前記回転部である移動回転部の位置を直接的または間接的に検出する第１センサをさらに備え、前記検出部は、前記複数の接触把持部が摩耗していない状態で前記複数の接触把持部が前記基板を把持した場合における前記移動回転部の位置である第１初期位置を記憶し、前記検出部は、前記基板の現在位置と前記第２初期位置との差と、前記移動回転部の現在位置と前記第１初期位置との差と、に基づいて前記接触把持部の摩耗の発生を検出する。
（【００１１】以降は省略されています）

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