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公開番号2024167358
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-03
出願番号2024150522,2020062406
出願日2024-09-02,2020-03-31
発明の名称搬送装置、搬送方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステム、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241126BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持部周辺のパーティクルを低減させることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置10は、対象物と接触する保持部で対象物を保持して搬送する保持部材と、保持部の周辺に配置された少なくとも一つの吸引口と、吸引口を搬送装置の外部に連通する流路と、を備える。保持部材18は、基板搬送領域220において基板1を搬送するために基板1を保持する。基板1は保持部13に対して真空吸着或いは電圧を印加したクーロン力固定等の手段で保持されている。排気流路15は、保持部13周辺の雰囲気を吸引するための流路であり、保持部13に連通する真空流路14とは独立している。排気流路15と真空流路14とを独立させることにより、故障のリスクを低減させることが可能となる。吸引口12は、保持部材18に堆積するパーティクルを吸引し、基板搬送装置10の外部に排出する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状の対象物を搬送する搬送装置であって、
前記対象物と接触する保持部で前記対象物を保持して搬送する保持部材と、
前記保持部の周辺に配置された少なくとも一つの吸引口と、
前記吸引口を前記搬送装置の外部に連通する流路と、を備えることを特徴とする搬送装置。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記保持部は、前記対象物を真空吸着して保持することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記流路は雰囲気を吸引するための流路であって、前記対象物を真空吸着するための流路とは独立していることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記流路は雰囲気を吸引するための流路であって、前記対象物を真空吸着するための流路と連通した流路を含むことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記吸引口は、前記保持部の外周に沿う溝形状であること特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記吸引口は、前記保持部材に堆積するパーティクルを吸引することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
少なくとも前記保持部と前記対象物とが接触または離間する際に、前記吸引口により吸引を開始させる制御部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記対象物と前記保持部とが接触または離間する際に、前記吸引口により断続的に雰囲気を吸引させることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記対象物と前記保持部とが接触または離間する際に、連続的に雰囲気を吸引することを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記保持部材は、複数の装置間において前記対象物を搬送することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置、搬送方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステム、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示デバイス等の製造に用いられる、露光装置等のリソグラフィ装置は、基板を搬送する基板搬送装置を含みうる。基板搬送装置は、基板の受け渡しを行う保持部材を備える。保持部材は一般に、真空吸着によって基板を保持する機能を有する。
【０００３】
保持部材上には基板の受け渡しを繰り返すことによって、パーティクルが堆積し、これが舞い上がることにより、基板に付着しうる。特許文献１には、保持部材の余剰部分を減らすことにより堆積する面積を減らすことで、基板へのパーティクル付着を低減する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－１９４６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の基板搬送装置には、基板と保持部の接触で生じるパーティクルが保持部材の保持部周辺に堆積し、浮遊することで基板に付着するという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、保持部周辺のパーティクルを低減させることが可能な搬送装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の１つの側面としての搬送装置は、板状の対象物を搬送する搬送装置であって、前記対象物と接触する保持部で前記対象物を保持して搬送する保持部材と、前記保持部の周辺に配置された少なくとも一つの吸引口と、前記吸引口を前記搬送装置の外部に連通する流路と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、保持部周辺のパーティクルを低減させることが可能な搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態に係るクラスタ型処理装置の概略平面図である。
第１実施形態に係る基板搬送装置の模式図である。
第１実施形態に係る保持部およびその周辺の構成を示す模式図である。
保持部の他の構成例の模式図である。
保持部のさらに他の構成例の模式図である。
基板の受け取りまたは受け渡しのシーケンスを説明する図である。
第１実施形態に係る基板の受け取りまたは受け渡し時における吸引のシーケンスを説明する図である。
第２実施形態に係る原版搬送装置の模式図である。
型の受け取りまたは受け渡しのシーケンスを説明する図である。
第２実施形態に係る原版の受け取りまたは受け渡し時における吸引のシーケンスを説明する図である。
第３実施形態に係る基板搬送装置の模式図である。
基板搬送装置を適用したインプリント装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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