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公開番号2024165055
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023080882
出願日2023-05-16
発明の名称基板搬送ロボット、基板搬送システム、及び基板搬送方法
出願人株式会社安川電機
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送作業の安定化を図る。
【解決手段】本開示の一側面に係る基板搬送ロボットは、基板を支持するハンドと、ハンドを動作させるアームと、を備える。ハンドは、基板の裏面を吸着により保持し、上端の高さ位置が低くなるように伸縮可能な吸着部と、基板を支持した吸着部が収縮した状態で、裏面を摩擦により保持する摩擦保持部と、吸着部及び摩擦保持部が裏面を保持した状態で、裏面を非接触状態で保持する非接触保持部と、を有する。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
基板を支持するハンドと、
前記ハンドを動作させるアームと、を備え、
前記ハンドは、
前記基板の裏面を吸着により保持し、上端の高さ位置が低くなるように伸縮可能な吸着部と、
前記基板を支持した前記吸着部が収縮した状態で、前記裏面を摩擦により保持する摩擦保持部と、
前記吸着部及び前記摩擦保持部が前記裏面を保持した状態で、前記裏面を非接触状態で保持する非接触保持部と、を有する、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記ハンドが前記基板を支持していない状態において、前記吸着部の上端の高さ位置は、前記摩擦保持部の上端の高さ位置よりも高く、
前記吸着部が前記裏面を吸着しつつ収縮した状態において、前記摩擦保持部の上端に前記裏面が接触している、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記吸着部は、第１高さ位置から第２高さ位置まで収縮することが可能であり、
前記摩擦保持部の上端は、前記第１高さ位置と前記第２高さ位置との間に位置する、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記非接触保持部は、前記ハンドの所定位置に固定されており、
前記基板が前記ハンドに支持される際に前記裏面が前記非接触保持部に近づくように、前記吸着部が収縮し、
前記吸着部が収縮し、前記摩擦保持部の上端に前記裏面が接触した状態で、前記非接触保持部の上端と前記裏面との間には隙間が形成される、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記ハンドは、前記吸着部を含む１以上の吸着部と、前記摩擦保持部を含む１以上の摩擦保持部と、を有し、
前記１以上の吸着部のいずれか１つ、又は、前記１以上の摩擦保持部のいずれか１つが、前記裏面の第１領域を保持し、
前記１以上の吸着部のいずれか１つ、又は、前記１以上の摩擦保持部のいずれか１つが、前記裏面の前記第１領域と所定方向に沿って並ぶ第２領域を保持し、
前記非接触保持部は、前記所定方向において、前記第１領域と前記第２領域との間を保持する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記ハンドは、前記非接触保持部に対応する第２非接触保持部を更に有し、
前記第１領域は、前記裏面の前記所定方向における第１端部に位置し、
前記第２領域は、前記裏面の前記第１端部とは反対側の第２端部に位置し、
前記１以上の吸着部のいずれか１つ、又は、前記１以上の摩擦保持部のいずれか１つが、前記所定方向において前記第１領域と前記第２領域との間に位置する第３領域を保持し、
前記非接触保持部は、前記所定方向において、前記第１領域と前記第３領域との間を保持し、
前記第２非接触保持部は、前記所定方向において、前記第３領域と前記第２領域との間を保持する、請求項５に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記１以上の吸着部のうちの第１吸着部が、前記第１端部に位置する前記第１領域を吸着により保持し、
前記１以上の吸着部のうちの第２吸着部が、前記第２端部に位置する前記第２領域を吸着により保持する、請求項６に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記摩擦保持部は、前記吸着部が収縮した際に前記裏面に接触する平坦な保持面を含み、
前記摩擦保持部は、前記保持面が前記吸着部を囲むように設けられている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記ハンドは、フォーク部を有し、
前記フォーク部は、所定方向に延びるように形成されており、
前記所定方向に直交する幅方向において、前記フォーク部の幅は、前記基板の幅よりも小さく、
前記フォーク部は、前記吸着部、前記摩擦保持部、及び前記非接触保持部を含み、
前記幅方向において、前記摩擦保持部の最大幅が、前記フォーク部の本体部分の最大幅よりも大きい、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記ハンドは、前記幅方向において、前記フォーク部との間に間隔を空けて並ぶ第２フォーク部を更に有し、
前記摩擦保持部の一部が、前記フォーク部の前記本体部分と前記第２フォーク部との間のスペースにおいて、前記本体部分から突出している、請求項９に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板搬送ロボット、基板搬送システム、及び基板搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板の搬送時に、基板が矯正された状態でアーム上に載置されていることを検知することができる基板搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１３０８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、搬送作業の安定化に有用な基板搬送ロボット、基板搬送システム、及び基板搬送方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係る基板搬送ロボットは、基板を支持するハンドと、ハンドを動作させるアームと、を備える。ハンドは、基板の裏面を吸着により保持し、上端の高さ位置が低くなるように伸縮可能な吸着部と、基板を支持した吸着部が収縮した状態で、裏面を摩擦により保持する摩擦保持部と、吸着部及び摩擦保持部が裏面を保持した状態で、裏面を非接触状態で保持する非接触保持部と、を有する。
【０００６】
本開示の一側面に係る基板搬送システムは、ハンドを有し、ハンドにより基板を支持して搬送する基板搬送ロボットと、基板搬送ロボットによる搬送前又は搬送後の基板が配置されるカセットと、カセットと、カセットから離れた所定位置との間で、基板を搬送するように基板搬送ロボットを制御する搬送制御部と、を備える。ハンドは、基板の裏面を吸着により保持し、上端の高さ位置が低くなるように伸縮可能な吸着部と、基板を支持した吸着部が収縮した状態で、裏面を摩擦により保持する摩擦保持部と、吸着部及び摩擦保持部が裏面を保持した状態で、裏面を非接触状態で保持する非接触保持部と、を含む。
【０００７】
本開示の一側面に係る基板搬送方法は、基板を支持するハンドを有する基板搬送ロボットにより、基板を搬送する方法である。ハンドは、基板の裏面を吸着により保持し、上端の高さ位置が低くなるように伸縮可能な吸着部と、基板を支持した吸着部が収縮した状態で、裏面を摩擦により保持する摩擦保持部と、吸着部及び摩擦保持部が裏面を保持した状態で、裏面を非接触状態で保持する非接触保持部と、を含む。上記基板搬送方法は、吸着部、摩擦保持部、及び非接触保持部のそれぞれが裏面を保持した状態で基板を搬送するように、基板搬送ロボットを制御することを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、搬送作業の安定化に有用な基板搬送ロボット、基板搬送システム、及び基板搬送方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、基板搬送システムの一例を示す模式図である。
図２は、カセットに配置された基板の一例を示す模式図である。
図３は、ハンドの一例を示す上面図である。
図４（ａ）は、吸着部と摩擦保持部との関係を例示する模式図である。図４（ｂ）は、吸着部に接続された吸引路の一例を示す模式図である。
図５（ａ）は、ワークを支持していない状態の吸着部の一例を模式的に示す断面図である。図５（ｂ）は、ワークを支持した状態の吸着部の一例を模式的に示す断面図である。
図６（ａ）は、摩擦保持部と非接触保持部との関係を例示する模式図である。図６（ｂ）は、非接触保持部に接続された送気路の一例を示す模式図である。
図７は、ロボットコントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。
図８は、ロボットコントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
図９は、ロボットコントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図１０は、ロボットコントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、ハンドが配置された状態の一例を示す模式図である。
図１２は、ロボットコントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図１３は、ロボットコントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図１４は、スキャン動作時の様子を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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