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公開番号2024165012
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023080813
出願日2023-05-16
発明の名称X線管装置
出願人キヤノン電子管デバイス株式会社
代理人個人,個人
主分類H01J 35/12 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】製品寿命の長期化を図ることのできるX線管装置を提供する。
【解決手段】X線管装置1は、陰極15と、陽極ターゲット13と、陽極ブロック14と、保護膜25と、を備える。陰極15は、電子を放出する。陽極ターゲット13は、陰極15から放出された電子が衝突することでX線を発生する。陽極ブロック14は、外部に陽極ターゲット13が接合され、内部に冷却液が流通する流路23が形成される。保護膜25は、金と、タングステンと、コバルトまたはニッケルとを含む金三元合金によって形成され、陽極ブロック14の内面を被覆する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出された電子が衝突することでＸ線を発生する陽極ターゲットと、
外部に前記陽極ターゲットが接合され、内部に冷却液が流通する流路が形成された陽極ブロックと、
金と、タングステンと、コバルトまたはニッケルとを含む金三元合金によって形成され、前記陽極ブロックの内面を被覆する保護膜と、
を備えることを特徴とするＸ線管装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記保護膜は、コバルトまたはニッケルの含有量が３９～６０ｗｔ％である
ことを特徴とする請求項１に記載のＸ線管装置。
【請求項３】
前記保護膜は、コバルトまたはニッケルの含有量が４９～５０ｗｔ％である
ことを特徴とする請求項２に記載のＸ線管装置。
【請求項４】
前記保護膜は、タングステンの含有量が０．２～０．５ｗｔ％である
ことを特徴とする請求項３に記載のＸ線管装置。
【請求項５】
前記保護膜は、三元系のアモルファス構造を有している
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれか一に記載のＸ線管装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、Ｘ線管装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
蛍光Ｘ線分析などに使用されるＸ線管装置は、陰極から放出された電子を陽極ターゲットに衝突させることでＸ線を発生させている。電子の衝突によって熱が発生するため、陽極ターゲット、およびその陽極ターゲットを接合した陽極ブロックは、高温になる傾向がある。そのため、このようなＸ線管装置では、陽極ブロック内に形成された流路に冷却液を流通させることにより、陽極ターゲットおよび陽極ブロックを冷却する冷却機構を備えている。
【０００３】
一方、陽極ブロック内の流路では、冷却液の沸騰、あるいは冷却液回路内の圧力差に起因して、冷却液中に気泡が発生する場合がある。このような気泡は、消滅の際に衝撃波を生じさせるため、冷却液の流路を構成する陽極ブロックの内面が浸食される原因となり得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第７１８７４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、製品寿命の長期化を図ることのできるＸ線管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態のＸ線管装置は、陰極と、陽極ターゲットと、陽極ブロックと、保護膜と、を備える。陰極は、電子を放出する。陽極ターゲットは、陰極から放出された電子が衝突することでＸ線を発生する。陽極ブロックは、外部に陽極ターゲットが接合され、内部に冷却液が流通する流路が形成される。保護膜は、金と、タングステンと、コバルトまたはニッケルとを含む金三元合金によって形成され、陽極ブロックの内面を被覆する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
一実施形態を示すＸ線管装置の断面図である。
同上Ｘ線管装置のＸ線管の一部の拡大断面図である。
同上Ｘ線管装置の保護膜のコバルトまたはニッケルの含有量に対する硬度と熱伝導率の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、一実施形態を、図面を参照して説明する。
【０００９】
図１は、本実施形態に係るＸ線管装置１の一例を示す断面図である。Ｘ線管装置１は、Ｘ線管２と、このＸ線管２を含む管容器３と、を備える。さらに、Ｘ線管装置１は、高電圧レセプタクル４、冷却パイプ５、ジョイント６、導水パイプ７、導体スプリング８、絶縁筒体９、ベローズ１１などを備えている。以下では、Ｘ線管装置１の管軸ＴＡに平行な方向を軸方向と称する。軸方向において、Ｘ線管２側である一端側を下方向（下側）と称し、下方向に対して反対方向の他端側を上方向（上側）と称する。また、管軸ＴＡに対して垂直な方向を径方向と称する。
【００１０】
高電圧レセプタクル４は、高電圧ケーブルを接続するために、上端部が開口し、かつ下端部が閉塞した、有底の円筒形状に形成されている。高電圧レセプタクル４は、管軸ＴＡを中心軸として、管容器３内の上側に液密に設けられている。高電圧レセプタクル４は、底部を貫通する接続端子１２を備えている。接続端子１２は、高電圧レセプタクル４に挿入される外部電路のブッシングと、端子とを含む。接続端子１２の下端は、導体スプリング８を介してジョイント６に接続されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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