特許ウォッチ

公開番号2024161194
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-15
出願番号2024151881,2023150705
出願日2024-09-04,2019-02-25
発明の名称ブラシ洗浄装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20241108BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄ブラシの外周面に洗浄液を効果的に噴射し、洗浄ブラシ表面に残留している異物を効率良く除去して、洗浄ブラシの交換周期を長くすることができるブラシ洗浄装置を提供する。
【解決手段】回転してウエハを洗浄する洗浄ブラシ15と、洗浄ブラシ15の外周に向けて、洗浄ミスト22を側面方向から見て直線状に噴霧するノズル21と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
回転して基板を洗浄する洗浄ブラシと、
前記洗浄ブラシの外周に向けて、洗浄ミストを側面方向から見て直線状に噴霧するノズルと、
を備えている、ことを特徴とするブラシ洗浄装置。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記ノズルは、平面視扇形に拡げた前記洗浄ミストを噴霧する、ことを特徴とする請求項１に記載のブラシ洗浄装置。
【請求項３】
前記ノズルは、前記洗浄ミストを側面方向から見て前記洗浄ブラシの外周と接する方向に向けて噴霧する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のブラシ洗浄装置。
【請求項４】
前記ノズルは、前記洗浄ミストを側面方向から見て前記洗浄ブラシの外周下部と接する方向に向けて噴霧する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のブラシ洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄ブラシの外周面に付着しているダストを剥ぎ落とすスクレーパを更に備えている、ことを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載のブラシ洗浄装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はブラシ洗浄装置に関するものであり、特に、化学機械的研磨（ＣＭＰ：ＣｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｌｉｓｈｉｎｇ）等により処理した後の半導体ウエハ等の基板を洗浄するブラシを洗浄するためのブラシ洗浄装置に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
化学機械的研磨（ＣＭＰ）等により処理されたウエハ表面には、使用した研磨剤等のパーティクルや、化学薬品に含まれる金属不純物、ウエハ上の金属配線に使用した金属のイオン及び微粒子等が大量に付着している。これらのパーティクル等は製品としての半導体装置等に悪影響を与えることから、研磨後のウエハ表面を洗浄ブラシと洗浄液を用いて洗浄することが行われている(例えば、特許文献１参照)。
【０００３】
特許文献１に記載の洗浄装置は、回転させたウエハの表面に洗浄液を吹き付けるとともに、回転するブラシでウエハ表面をこすり、ウエハ表面の異物や他工程で生じた突起物を除去する技術が開示されている。
【０００４】
回転するブラシでウエハ表面をこすり、異物や突起部を除去する技術では、除去された異物や突起物がブラシの中に残留し、その異物がウエハ表面に悪い影響(二次汚染)を与えることがある。
【０００５】
そこで、回転しているブラシの外周面に洗浄液を噴射し、ブラシ表面の異物を除去するブラシ洗浄装置が知られている(特許文献なし)。
【０００６】
図８及び図９は、従来から知られるブラシ洗浄装置の要部構成を示すものである。図８及び図９に示す従来のブラシ洗浄装置は、パイプ材１０１に線状に並べて設けられた複数の洗浄口１０２から、回転している洗浄ブラシ１０３の外周面に向けて、洗浄液１０４を直線状に噴射し、洗浄ブラシ１０３のブラシ表面に残留している異物を洗浄液１０４で除去するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開昭５９－１９３０２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図８及び図９に示す、パイプ材１０１に線状に並べて設けられた複数の洗浄口１０２から、洗浄液１０４を洗浄ブラシ１０３のブラシ表面に直線的に当てて異物を除去する従来のブラシ洗浄装置の構造では、使用時間に比例して洗浄ブラシ１０３の劣化と汚染が進み、洗浄効果が失われて汚染物質である異物の除去作業が十分にできないという問題点があった。
【０００９】
そこで、洗浄ブラシの外周面に洗浄液を効果的に噴射し、洗浄ブラシ表面に残留している異物を効率良く除去して、洗浄ブラシの交換周期を長くすることができる構造にするために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、回転して基板を洗浄する洗浄ブラシと、前記洗浄ブラシの外周に向けて、洗浄ミストを側面方向から見て直線状に噴霧するノズルと、を備えている、ブラシ洗浄装置を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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