特許ウォッチ

公開番号2024155419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023070116
出願日2023-04-21
発明の名称チャックテーブル機構
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ロータリースケールとスケールヘッドとが配設された位置へのアクセスが容易であり、両者の位置調整、清掃、新品との交換等のメンテナンス性に優れたチャックテーブル機構を提供する。
【解決手段】ウエーハWを保持するチャックテーブル機構3であって、ウエーハWを吸引保持するチャックテーブル35と、チャックテーブル35に連結され垂下する筒体32と、筒体32に挿入される支柱39と、支柱39が固定されるベース31と、チャックテーブル35を回転する回転駆動手段とを含み、筒体32の自由端部32aには、ロータリースケール37が配設され、ロータリースケール37を読み取るスケールヘッド40がベース31を介して固定される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハを保持するチャックテーブル機構であって、
ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに連結され垂下する筒体と、該筒体に挿入される支柱と、該支柱が固定されるベースと、該チャックテーブルを回転する回転駆動手段とを含み、
該筒体の自由端部には、ロータリースケールが配設され、該ロータリースケールを読み取るスケールヘッドが該ベースを介して固定されるチャックテーブル機構。
続きを表示（約 100 文字）【請求項２】
該回転駆動手段は、該筒体の内側に配設された永久磁石と、該支柱において該永久磁石に対応する位置に配設されたステータと、により構成される請求項１に記載のチャックテーブル機構。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハを保持するチャックテーブル機構に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送りする送り手段と、ウエーハに形成された分割予定ラインを検出する撮像手段と、該チャックテーブルを回転する回転駆動手段を備えて分割予定ラインに切削ブレードを位置付けるチャックテーブル機構と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－２７９５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の切削装置に配設されたチャックテーブル機構は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに連結され垂下する筒体と、該筒体に挿入される支柱と、該支柱が固定されるベースと、該チャックテーブルの裏面に配設されたロータリースケールと、該支柱の上端部に配設され該ロータリースケールを読み取るスケールヘッドと、を含み構成されていることから、ロータリースケールとスケールヘッドとが配設された位置へのアクセスが容易ではなく、ロータリースケールとスケールヘッドとの位置調整や、ロータリースケール又はスケールヘッドの清掃、新品との交換等のメンテナンスが困難であるという問題がある。
【０００６】
また、切削装置に限らず、チャックテーブルの回転位置を検出する機能を有するレーザー加工装置、研削装置等の加工装置においても、同様の問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、ロータリースケールとスケールヘッドとが配設された位置へのアクセスが容易であり、両者の位置調整、清掃、新品との交換等のメンテナンス性に優れたチャックテーブル機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを保持するチャックテーブル機構であって、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに連結され垂下する筒体と、該筒体に挿入される支柱と、該支柱が固定されるベースと、該チャックテーブルを回転する回転駆動手段とを含み、該筒体の自由端部には、ロータリースケールが配設され、該ロータリースケールを読み取るスケールヘッドが該ベースを介して固定されるチャックテーブル機構が提供される。
【０００９】
該回転駆動手段は、該筒体の内側に配設された永久磁石と、該支柱において該永久磁石に対応する位置に配設されたステータと、により構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のチャックテーブル機構は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに連結され垂下する筒体と、該筒体に挿入される支柱と、該支柱が固定されるベースと、該チャックテーブルを回転する回転駆動手段とを含み、該筒体の自由端部には、ロータリースケールが配設され、該ロータリースケールを読み取るスケールヘッドが該ベースを介して固定されることから、ロータリースケールとスケールヘッドとの位置調整や、ロータリースケール又はスケールヘッドの清掃、交換等のメンテナンスを容易に実行することができ、従来の構成においてメンテナンスが困難であるという問題が解消される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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