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公開番号2024155328
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023069972
出願日2023-04-21
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】対象物に気体が勢いよく当たることを抑制できる保持装置を提供する。
【解決手段】ウェハWを保持する第1表面S1と、第1の方向において第1表面S1の反対側に位置する第2表面S2と、第1表面S1と第2表面S2とに通じ気体が流通する基板側ガス流路12と、を有するセラミック基板10と、基板側ガス流路12に配される多孔部70と、を備え、多孔部70は、疎領域71と、疎領域71よりも低い気孔率である密領域75と、を備え、密領域75は、第1の方向において、疎領域71と第1表面S1との間に配される表面部76と、第1の方向と直交する方向である第2の方向において、疎領域71とセラミック基板10との間に配される中間部77と、を備える、保持装置100。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する第１表面と、第１の方向において前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、前記第１表面と前記第２表面とに通じ気体が流通するガス流路と、を有する板状部材と、
前記ガス流路に配される多孔部と、を備え、
前記多孔部は、
疎領域と、
前記疎領域よりも低い気孔率である密領域と、を備え、
前記密領域は、
前記第１の方向において、前記疎領域と前記第１表面との間に配される表面部と、
前記第１の方向と直交する方向である第２の方向において、前記疎領域と前記板状部材との間に配される中間部と、を備える、保持装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記密領域は、前記板状部材に接触している、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記密領域と前記板状部材とを接着する接着部を備える、請求項１に記載の保持装置。
【請求項４】
前記第１の方向の断面視にて、前記密領域の前記表面部は、前記疎領域に対しアーチ状に接している、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項５】
前記表面部は、前記疎領域に接する面が平坦状をなしている、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項６】
前記多孔部において前記第１表面側に臨む面が、前記第１表面よりも前記第２表面側に位置している、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項７】
前記疎領域は、前記第１の方向において、前記中間部と前記第２表面との間に配され、前記ガス流路に接した片部を備える、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項８】
前記ガス流路は、
前記第１の方向に延び、前記多孔部が配された縦ガス流路と、
前記縦ガス流路と前記第２表面との間に配され、前記縦ガス流路に対し交差する形で接続した横ガス流路と、を備える、請求項１または請求項２に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、保持装置として、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１に記載の保持装置（静電チャック）は、裏面とチャック面とを有するチャック本体と、裏面とチャック面との間で伸びた複数の管路と、を備え、各管路が、その内部にチャック本体と一体化された多孔領域を備える。チャック面に保持されたウェハのプラズマ処理等を行う際には、チャック面の温度制御性を高めるため、熱伝導流体であるヘリウムガス等のガスが、管路を通じて、裏面から多孔領域を通ってチャック面に送られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４９５９９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示の構成では、管路を通った気体（ガス）が対象物（ウェハ）に対して勢いよく当たった場合、対象物が持ち上がってしまう可能性がある。一方、多孔部（多孔領域）について、チャック本体との接合強度の向上が望まれる。
【０００５】
本開示は上記のような事情に基づいて完成された技術であって、対象物に気体が勢いよく当たることを抑制できる保持装置を提供することを目的の一つとする。また、多孔部の接合強度を向上できる保持装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示は、対象物を保持する第１表面と、第１の方向において前記第１表面の反対側に位置する第２表面と、前記第１表面と前記第２表面とに通じ気体が流通するガス流路と、を有する板状部材と、前記ガス流路に配される多孔部と、を備え、前記多孔部は、疎領域と、前記疎領域よりも低い気孔率である密領域と、を備え、前記密領域は、前記第１の方向において、前記疎領域と前記第１表面との間に配される表面部と、前記第１の方向と直交する方向である第２の方向において、前記疎領域と前記板状部材との間に配される中間部と、を備える、保持装置である。
【０００７】
上記構成において、前記密領域は、前記板状部材に接触していてもよい。
【０００８】
上記構成において、保持装置は、前記密領域と前記板状部材とを接着する接着部を備えていてもよい。
【０００９】
上記構成において、前記第１の方向の断面視にて、前記密領域の前記表面部は、前記疎領域に対しアーチ状に接していてもよい。
【００１０】
上記構成において、前記表面部は、前記疎領域に接する面が平坦状をなしていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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