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公開番号2024126091
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2023034251
出願日2023-03-07
発明の名称2流体ノズル
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B05B 7/04 20060101AFI20240912BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】洗浄水を噴射するノズルの洗浄能力を向上し、遠くまで洗浄水を到達させることができるノズルを安価に提供すると共に、高圧の洗浄水を生成する場合に比べ、CO₂の排出を低減できるノズルを提供する。
【解決手段】液体を導入する液体導入口51と、液体導入口51から導入された液体Lを噴射する液体噴射口52と、液体導入口51と液体噴射口52とを連通する連通路533と、を含む筒体53と、筒体53に形成され高圧エアーWを導入するエアー導入口54と、エアー導入口54から導入された高圧エアーWを液体噴射口52に向けて噴射するエアー噴出口55と、を含み構成され、液体導入口51には液体Lが供給される液体供給チューブ74の先端74aが着脱自在に連結され、エアー導入口54には、高圧エアーWが供給されるエアー供給チューブ112の先端112aが着脱自在に連結される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
２流体ノズルであって、
液体を導入する液体導入口と、該液体導入口から導入された液体を噴射する液体噴射口と、該液体導入口と該液体噴射口とを連通する連通路と、を含む筒体と、
該筒体に形成され高圧エアーを導入するエアー導入口と、該エアー導入口から導入された高圧エアーを該液体噴射口に向けて噴射するエアー噴出口と、を含み構成され、
該液体導入口には液体が供給される液体供給チューブの先端が着脱自在に連結され、該エアー導入口には、エアーが供給されるエアー供給チューブの先端が着脱自在に連結される２流体ノズル。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
該エアー噴出口は、該エアー導入口から該連通路内に垂下する垂下チューブと、該垂下チューブに形成され該液体噴射口に向けて開口する開口部と、から構成され、該垂下チューブの断面形状は、流線形に形成され、該連通路を流れる液体の抵抗が軽減される請求項１に記載の２流体ノズル。
【請求項３】
該エアー噴出口は、該筒体の内部に形成された環状室と、該環状室から該液体噴射口に向けて形成されると共に該液体噴射口の手前で開口する環状連通路と、から構成される請求項１に記載の２流体ノズル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体とエアーを噴射する２流体ノズルに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
上記した研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、研削されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、を含み構成されていて、ウエーハを所望の厚みに加工することができる（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
また、研削されたウエーハがチャックテーブルから洗浄手段まで搬送される前に、チャックテーブルに保持されたウエーハの上面から研削屑を除去したり、チャックテーブルの上面を洗浄したりするノズルが配設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６－２３７３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、該ノズルによる洗浄能力の向上、又は該ノズルから噴射する洗浄水を遠くまで飛ばしたい場合には、該ノズルに供給される洗浄水の圧力を高める必要があることから、洗浄水を十分に加圧する出力の高い圧縮モータの設置が必要となり、設備費が高額になると共に、該圧縮モータを作動する際のエネルギー消費が大きくなり、ＣＯ
２
の排出が増大して、環境破壊に結び付く、という問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、洗浄水を噴射するノズルの洗浄能力を向上し、又は遠くまで洗浄水を到達させることができるノズルを安価に提供すると共に、高圧の洗浄水を生成する場合に比べ、ＣＯ
２
の排出を低減できるノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、液体を導入する液体導入口と、該液体導入口から導入された液体を噴射する液体噴射口と、該液体導入口と該液体噴射口とを連通する連通路と、を含む筒体と、該筒体に形成され高圧エアーを導入するエアー導入口と、該エアー導入口から導入された高圧エアーを該液体噴射口に向けて噴射するエアー噴出口と、を含み構成され、該液体導入口には液体が供給される液体供給チューブの先端が着脱自在に連結され、該エアー導入口には、エアーが供給されるエアー供給チューブの先端が着脱自在に連結される２流体ノズルが提供される。
【０００９】
該エアー噴出口は、該エアー導入口から該連通路内に垂下する垂下チューブと、該垂下チューブに形成され該液体噴射口に向けて開口する開口部と、から構成され、該垂下チューブの断面形状は、流線形に形成され、該連通路を流れる液体の抵抗が軽減されるようにしてもよい。また、該エアー噴出口は、該筒体の内部に形成された環状室と、該環状室から該液体噴射口に向けて形成されると共に該液体噴射口の手前で開口する環状連通路と、から構成されてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の２流体ノズルは、液体を導入する液体導入口と、該液体導入口から導入された液体を噴射する液体噴射口と、該液体導入口と該液体噴射口とを連通する連通路と、を含む筒体と、該筒体に形成され高圧エアーを導入するエアー導入口と、該エアー導入口から導入された高圧エアーを該液体噴射口に向けて噴射するエアー噴出口と、を含み構成され、該液体導入口には液体が供給される液体供給チューブの先端が着脱自在に連結され、該エアー導入口には、エアーが供給されるエアー供給チューブの先端が着脱自在に連結されることから、洗浄水を噴射するノズルの洗浄能力を容易に向上し、又は遠くまで洗浄水を到達させることができるノズルを安価に提供すると共に、高圧の洗浄水を生成する場合に比べ、ＣＯ
２
の排出を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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