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公開番号2024156370
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-06
出願番号2023070774
出願日2023-04-24
発明の名称塗布装置
出願人中外炉工業株式会社
代理人個人
主分類B05C 5/02 20060101AFI20241029BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】スリット状吐出口の上でシャッター部材を回転させて、スリット状吐出口の開閉を行うにあたり、シャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間から塗液がスリット状吐出口に漏れ出すのを防止する。
【解決手段】スリット状吐出口12の上でシャッター部材13を回転させて、スリット状吐出口の開閉を行うにあたり、シャッター部材と塗液収容部11との間に、スリット状吐出口に対応した塗液案内穴31を有する樹脂製シール部材30を設け、シャッター部材の外周面13aにより塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液Pをスリット状吐出口に導かないようにする一方、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部13bを塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を、塗液案内部と塗液案内穴を通してスリット状吐出口に導くようにした。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くことを特徴とする塗布装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿ったスリット状案内穴を設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材に、フッ素系樹脂を用いたことを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１～請求項４の何れか１項に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材に、前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、前記の挿入部をスリット状吐出口の先端部まで挿入させて、樹脂製シール部材における前記の塗液案内穴を、スリット状吐出口の先端部まで導いたことを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項３に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材に設けた前記の多数の整流案内穴と、整流部材に設けた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させたことを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
請求項３に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材に前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、樹脂製シール部材における前記の挿入部をスリット状吐出口の途中まで挿入させると共に、前記の樹脂製シール部材に設けられた前記の多数の整流案内穴と、整流部材に設けた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させたことを特徴とする塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置に関するものである。特に、前記のスリット状吐出口の上に回転するシャッター部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部からスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置において、塗液収容部内の塗液が、スリット状吐出口を閉塞させるシャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間からスリット状吐出口に漏れ出したり、シャッター部材を回転させてスリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするのを簡単に防止できるようにした点に特徴を有するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置としては、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布するするようにしたものが使用されている。
【０００３】
また、近年においては、塗布装置によって、ウエハー等の被塗布体の表面に塗液を所定の形状に塗布することが行われている。
【０００４】
そして、例えば、ウエハー等の円形状の被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布する塗布装置としては、特許文献１、２に示されるように、塗布用ノズルにおいて塗液を収容させた塗液収容部内において、所定のパターン形状になった塗液案内部が外周面に設けられた円柱状のシャッター部材を、塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の上で回転させ、シャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、シャッター部材の外周面に設けた前記の塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導き、塗液収容部内における塗液をシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を通してスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を所定のパターンになるようにして塗布させるものが示されている。
【０００５】
ここで、前記の特許文献１、２に示される塗布装置においては、前記のようにシャッター部材の外周面によりスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かないようにした場合においても、塗液収容部とシャッター部材の外周面とを密接させることは困難であり、液収容部とシャッター部材の外周面の間に僅かな隙間が生じ、塗液収容部内の塗液が、この隙間からスリット状吐出口に導かれて被塗布体の表面に付与され、塗液を塗布する塗布部以外に塗液が塗布されるという問題があった。
【０００６】
また、塗液収容部とシャッター部材の外周面との間に隙間が生じないようにするため、シャッター部材の外周面を塗液収容部に密接させると、シャッター部材や塗布用ノズルの塗液収容部は一般に金属材料で形成されているため、前記のようにシャッター部材をスリット状吐出口の上で回転させて、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部によって、スリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２１－９８１５４号公報
特許第６８４７５６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、スリット状吐出口の上に回転するシャッター部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部からスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。
【０００９】
すなわち、本発明においては、前記のような塗布装置において、塗液収容部内の塗液が、スリット状吐出口を閉塞させるシャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間からスリット状吐出口に漏れ出して、被塗布体の表面の不要な箇所に塗液が付与されたり、スリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするのを簡単に防止できるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を、前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くようにした。
（【００１１】以降は省略されています）

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