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公開番号2025077390
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-19
出願番号2023189550
出願日2023-11-06
発明の名称ディスペンサ
出願人ハンファ精密機械株式会社
代理人弁理士法人英和特許事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20250512BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整を正確に行うことができると共に、その際にアクチュエータにせん断応力や曲げ応力が作用しにくく、更にアクチュエータの高速駆動に対する変位拡大機構の応答性を向上させることのできるディスペンサを提供する。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル32と、ノズル32に液体材料を供給する供給流路33と、先端部が供給流路33内を上下方向に往復動作するタペット34と、タペット34に変位を与える変位拡大機構14と、変位拡大機構14に変位を与えるアクチュエータ15と、アクチュエータ15の高さ位置を調整する高さ調整機構16とを備えるディスペンサにおいて、高さ調整機構16はディスペンサ本体1のメインフレーム11に取り付けられた差動ねじ機構よりなり、当該差動ねじ機構において鉛直方向にスライドするスライド部材の下面と、アクチュエータ15の上端部の上面とが接合されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液体材料を吐出するノズルと、前記ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が前記供給流路内を上下方向に往復動作するタペットと、前記タペットに変位を与える変位拡大機構と、前記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、前記アクチュエータの鉛直方向の高さ位置を調整する高さ調整機構とを備えるディスペンサであって、
前記アクチュエータは、ピエゾ素子を積層したピエゾスタックを含み、
前記高さ調整機構は、ディスペンサ本体のフレームに取り付けられた差動ねじ機構よりなり、当該差動ねじ機構において鉛直方向にスライドするスライド部材の下面と、前記アクチュエータの上端部の上面とが接合されている、ディスペンサ。
続きを表示（約 170 文字）【請求項２】
前記アクチュエータは、前記ピエゾスタックに予圧を付加する予圧部材を更に含む、請求項１に記載のディスペンサ。
【請求項３】
前記スライド部材の下面が凹球面又は凸球面を含み、前記アクチュエータの上端部の上面が前記凹球面又は凸球面と面合する凸球面又は凹球面を含む、請求項１又は２に記載のディスペンサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体材料を吐出するディスペンサに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
水、油、レジンなどの液体材料を吐出するディスペンサは、半導体工程や医療分野などの様々な分野に使われている。特に半導体工程においては、アンダーフィル工程にディスペンサが多く使われており、半導体素子のパッケージの内部をレジンで充填する用途にもディスペンサが多く使われている。ＬＥＤ素子の製造工程においては、蛍光物質とレジンとが混合された蛍光液をＬＥＤチップに塗布する工程にディスペンサが使われている。
【０００３】
このように液体材料を吐出するディスペンサとしては、タペットの往復動作によってノズルから液体材料を吐出する形式のものが知られており、特許文献１では、液体材料を吐出するノズルと、ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が供給流路内を上下方向に往復動作するタペット（プランジャ）と、タペット（プランジャ）に変位を与える変位拡大機構と、変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータとを備えるディスペンサ（液体塗布装置）が開示されている。特許文献１には、アクチュエータにピエゾ素子（圧電素子）を用いることも開示されている。
また特許文献２にも、アクチュエータにピエゾ素子（ピエゾスタック）を用いることが開示されている。特許文献２には、ねじ込み動作によってピエゾ素子（ピエゾスタック）の鉛直方向の高さ位置を調整することも開示されている。
【０００４】
ここで、ディスペンサによる液体材料の吐出動作を正確に制御するには、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置を正確に調整することが必要である。この点、従来技術では上述の通り、ねじ込み動作によってアクチュエータの鉛直方向の高さ位置を調整するのが一般的であるが、単純なねじ込み動作によってはアクチュエータの鉛直方向の高さ位置を正確に調整することは困難である。
また、アクチュエータに一般的に用いられているピエゾ素子には、特に、せん断応力、曲げ応力や引張応力に弱いという短所がある。そのため、ピエゾ素子を含むアクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整をねじ込み動作によって行う場合、ピエゾ素子にねじ込み動作に伴うせん断応力や曲げ応力が作用し、アクチュエータとしての動作精度が低下したり、寿命が短くなったりするなどの問題が発生する。
更に、特許文献１及び特許文献２では、変位拡大機構を構成するレバー部材にアクチュエータの自重が全て加わる構造であるため、アクチュエータの高速駆動に対する変位拡大機構（レバー部材）の応答性が十分ではないという問題もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－３０８６５号公報
特表２０２０－５３４１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整を正確に行うことができると共に、その際にアクチュエータにせん断応力や曲げ応力が作用しにくく、更にアクチュエータの高速駆動に対する変位拡大機構の応答性を向上させることのできるディスペンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、次のディスペンサが提供される。
液体材料を吐出するノズルと、前記ノズルに液体材料を供給する供給流路と、先端部が前記供給流路内を上下方向に往復動作するタペットと、前記タペットに変位を与える変位拡大機構と、前記変位拡大機構に変位を与えるアクチュエータと、前記アクチュエータの鉛直方向の高さ位置を調整する高さ調整機構とを備えるディスペンサであって、
前記アクチュエータは、ピエゾ素子を積層したピエゾスタックを含み、
前記高さ調整機構は、ディスペンサ本体のフレームに取り付けられた差動ねじ機構よりなり、当該差動ねじ機構において鉛直方向にスライドするスライド部材の下面と、前記アクチュエータの上端部の上面とが接合されている、ディスペンサ。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置を調整する高さ調整機構として差動ねじ機構を採用し、かつ差動ねじ機構において鉛直方向にスライドするスライド部材の下面とアクチュエータの上端部の上面とを接合したことから、アクチュエータの鉛直方向の高さ位置の調整を正確に行うことができると共に、その際にアクチュエータにせん断応力や曲げ応力が作用しにくい。更に、本発明によれば、高さ調整機構である差動ねじ機構がディスペンサ本体のフレームに取り付けられており、しかもこの差動ねじ機構のスライド部材の下面とアクチュエータの上端部の上面とが接合されているから、高さ調整機構である差動ねじ機構によってアクチュエータが支持される。その結果、アクチュエータの自重が変位拡大機構に加わりにくくなり、アクチュエータの高速駆動に対する変位拡大機構の応答性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態であるディスペンサを一側面側から見た斜視図。
図１のディスペンサの縦断面図。
アクチュエータの要部の斜視図。
高さ調整機構を含む要部の拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に、本発明の一実施形態であるディスペンサを一側面側から見た斜視図で示している。また、図２には図１のディスペンサを縦断面図で示している。
本実施形態のディスペンサＸは、ディスペンサ本体１と、ディスペンサ本体１に着脱可能に装着されるノズルブロック３とを備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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