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公開番号2024123693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-12
出願番号2023031314
出願日2023-03-01
発明の名称露光装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240905BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】原版の変形を抑制して重ね合わせ精度の観点で有利な露光装置。
【解決手段】原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、前記原版を保持するステージと、前記ステージによって保持された前記原版の前記パターンが形成された第1面とは反対の側の第2面に沿って一方向に第1気体が流れるように、前記第1気体を前記原版の前記第2面の側の空間に送る送風機構と、前記一方向に交差する方向に沿って配列された複数の部材であって、それぞれが平面を含み、当該平面が前記ステージに保持された前記原版の前記第1面の少なくとも一部に対向するように設けられた複数の第1部材と、前記送風機構から前記空間に前記第1気体が送られている状態において前記原版に生じる温度むらが低減されるように、前記複数の第1部材のそれぞれの温度を個別に調整する温調機構と、を有する、ことを特徴とする露光装置を提供する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、
前記原版を保持するステージと、
前記ステージによって保持された前記原版の前記パターンが形成された第１面とは反対の側の第２面に沿って一方向に第１気体が流れるように、前記第１気体を前記原版の前記第２面の側の空間に送る送風機構と、
前記一方向に交差する方向に沿って配列された複数の部材であって、それぞれが平面を含み、当該平面が前記ステージに保持された前記原版の前記第１面の少なくとも一部に対向するように設けられた複数の第１部材と、
前記送風機構から前記空間に前記第１気体が送られている状態において前記原版に生じる温度むらが低減されるように、前記複数の第１部材のそれぞれの温度を個別に調整する温調機構と、
を有する、ことを特徴とする露光装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記温調機構は、前記複数の第１部材のそれぞれに対応して設けられ、前記平面に沿って前記一方向に交差する方向に第２気体が流れるように、前記第２気体を前記原版の前記第１面の側の空間に送る複数の第１送風部を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記温調機構は、前記複数の第１送風部のそれぞれについて、前記第２気体の流速、流量及び温度のうちの少なくとも１つを調整することにより、前記複数の第１部材のそれぞれの温度を個別に調整する、ことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記原版の前記第１面は、前記パターンを含むパターン領域と、前記パターン領域を囲む周辺領域と、を含み、
前記複数の第１部材は、前記周辺領域のうち、前記一方向に延在し、前記一方向に交差する方向に互いに離間した２つの領域のそれぞれに前記平面が対向するように設けられた第１周辺部材、及び、第２周辺部材を含み、
前記複数の第１送風部は、前記第１周辺部材の前記平面に沿って前記第２気体が流れる方向と、前記第２周辺部材の前記平面に沿って前記第２気体が流れる方向とが逆の方向となるように、前記第２気体を前記原版の前記第１面の側の空間に送る、
ことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項５】
前記一方向に沿って配列された複数の部材であって、それぞれが平面を含み、当該平面が前記ステージに保持された前記原版の前記第１面の少なくとも一部に対向するように設けられた複数の第２部材を更に有し、
前記温調機構は、
前記送風機構から前記空間に前記第１気体が送られている状態において前記原版に生じる温度むらが低減されるように、前記複数の第２部材のそれぞれの温度を個別に調整し、
前記複数の第２部材のそれぞれに対応して設けられ、前記平面に沿って前記一方向に沿った方向に前記第２気体が流れるように、前記第２気体を前記原版の前記第１面の側の空間に送る複数の第２送風部を含む、
ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記複数の第２部材は、前記周辺領域のうち、前記一方向に交差する方向に延在し、前記一方向に互いに離間した２つの領域のそれぞれに前記平面が対向するように設けられた第３周辺部材、及び、第４周辺部材を含み、
前記複数の第２送風部は、前記第３周辺部材の前記平面に沿って前記第２気体が流れる方向と、前記第４周辺部材の前記平面に沿って前記第２気体が流れる方向とが逆の方向となるように、前記第２気体を前記原版の前記第１面の側の空間に送る、
ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第１周辺部材、及び、前記第２周辺部材のそれぞれは、前記一方向に互いに離間するように分割された複数の分割部分を含み、
前記第３周辺部材、及び、前記第４周辺部材のそれぞれは、前記一方向に交差する方向に互いに離間するように分割された複数の分割部分を含み、
前記複数の第１送風部は、前記第１周辺部材の前記複数の分割部分のそれぞれ、及び、前記第２周辺部材の前記複数の分割部分のそれぞれに対応して設けられ、
前記複数の第２送風部は、前記第３周辺部材の前記複数の分割部分のそれぞれ、及び、前記第４周辺部材の前記複数の分割部分のそれぞれに対応して設けられている、
ことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記複数の第１部材は、前記パターン領域に前記平面が対向するように設けられた中央部材を含む、ことを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項９】
前記温調機構は、前記中央部材に設けられた配管と、前記配管に冷媒を供給する供給部と、を含むことを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記原版の変形量に関する情報を取得する取得部と、
前記取得部で取得された前記原版の変形量に関する情報に基づいて、前記温調機構による前記複数の第１部材のそれぞれの温度の個別の調整を制御する制御部と、
を更に有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体素子などの物品を製造する際に、原版（マスク又はレチクル）のパターンを、投影光学系を介して、感光剤（レジスト）が塗布された基板に投影して転写する露光装置が使用されている。露光装置の重要な性能の１つとして、基板に転写されるパターンの重ね合わせ精度がある。
【０００３】
露光装置に用いられる原版において、パターンを形成するクロム部分の面積が大きいと、露光熱（露光光のエネルギー）がパターン面に蓄積されて、原版の温度が上昇する。このような原版の温度の上昇に伴い、原版の変形（熱膨張）が発生することで、重ね合わせ精度が低下する。そこで、原版に気体（エア）を吹き付けることで原版の温度の上昇を抑制し、原版の変形を低減する技術が開示されている（特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－２４３６８４号公報
特開２０００－６８１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、露光装置においては、原版ステージの加速度を向上させるために、原版の周辺部に配置される原版保持部品や原版搬送部品などが増加する傾向にある。このような部品は、原版の温度の上昇を抑制するために原版に吹き付けられる気体の流路（送風路）を妨げる要因となる。従って、従来技術では、原版に対して気体を均一に吹き付けることができずに、原版の変形（熱変形）を低減する効果を十分に得られない可能性がある。
【０００６】
また、露光装置の生産性を向上させるためには、露光光の照度を増大させ、且つ、露光間隔を短くする必要がある。これにより、原版に蓄積される熱量が増加し、原版の変形も大きくなるため、従来技術においては、原版の変形を十分に低減させられるように、原版の温度を調整する温調性能の向上が求められている。
【０００７】
また、露光装置では、プロセスに応じて、露光装置内で保管されている原版ではなく、露光装置外から搬入された原版を用いる場合がある。このような場合、露光装置内外で温度差があると、露光装置外から搬入された原版に変形が発生し、重ね合わせ精度を低下させる要因となる。なお、露光装置外から搬入された原版の温度を露光装置内で安定化させる（露光装置内の管理温度になじませる）ことも考えられるが、待機時間が必要となるため、露光装置の生産性の低下につながる。
【０００８】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、原版の変形を抑制して重ね合わせ精度の観点で有利な露光装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、前記原版を保持するステージと、前記ステージによって保持された前記原版の前記パターンが形成された第１面とは反対の側の第２面に沿って一方向に第１気体が流れるように、前記第１気体を前記原版の前記第２面の側の空間に送る送風機構と、前記一方向に交差する方向に沿って配列された複数の部材であって、それぞれが平面を含み、当該平面が前記ステージに保持された前記原版の前記第１面の少なくとも一部に対向するように設けられた複数の第１部材と、前記送風機構から前記空間に前記第１気体が送られている状態において前記原版に生じる温度むらが低減されるように、前記複数の第１部材のそれぞれの温度を個別に調整する温調機構と、を有する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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