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公開番号2024120493
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-05
出願番号2023027317
出願日2023-02-24
発明の名称構造体、X線発生装置および放熱部の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01J 35/10 20060101AFI20240829BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明の目的は、放熱性を向上させた構造体を提供することにある。
【解決手段】 700℃以上に加熱される構造体であって、前記構造体の熱を放熱する放熱部を有し、前記放熱部の表面に、複数の第1凸部および複数の第1凹部が交互に配置された第1凹凸構造を有し、前記放熱部から熱放射される電磁波のピーク波長は、3μm以下であり、前記複数の第1凸部のうち、互いに隣接する第1凸部間の距離、または前記複数の第1凹部のうち、互いに隣接する第1凹部間の距離は、前記ピーク波長の1/2未満であることを特徴とする構造体。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
７００℃以上に加熱される構造体であって、
前記構造体の熱を放熱する放熱部を有し、
前記放熱部の表面に、複数の第１凸部および複数の第１凹部が交互に配置された第１凹凸構造を有し、
前記放熱部から熱放射される電磁波のピーク波長は、３μｍ以下であり、
前記複数の第１凸部のうち、互いに隣接する第１凸部間の距離、または前記複数の第１凹部のうち、互いに隣接する第１凹部間の距離は、前記ピーク波長の１／２未満であることを特徴とする構造体。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記構造体は電子管用ターゲットを構成し、前記放熱部は、前記電子管用ターゲットの電子が照射される箇所を含み、前記電子管用ターゲットの表面の少なくとも一部に前記第１凹凸構造を有することを特徴とする請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
７００℃以上に加熱される構造体であって、
前記構造体の熱を放熱する放熱部を有し、
前記放熱部の表面に、複数の第１凸部および複数の第１凹部が交互に配置された第１凹凸構造を有し、
前記構造体は電子管用ターゲットを構成し、
前記放熱部は、前記電子管用ターゲットの電子が照射される箇所を含み、
前記電子管用ターゲットの表面の少なくとも一部に前記第１凹凸構造を有し、
前記複数の第１凸部のうち、互いに隣接する第１凸部間の距離、または前記複数の第１凹部のうち、互いに隣接する第１凹部間の距離は、前記放熱部から熱放射される電磁波のピーク波長の１／２未満であることを特徴とする構造体。
【請求項４】
前記放熱部および前記第１凹凸構造は、融点が１５００℃以上である金属からなることを特徴とする請求項１または３に記載の構造体。
【請求項５】
前記第１凹凸構造のうち、表面からの深さが１００ｎｍ以下の部分の窒素含有量が１ａｔ％以上、または酸素含有量が１０ａｔ％以下であることを特徴とする請求項１または３に記載の構造体。
【請求項６】
前記放熱部の表面に、複数の第２凸部および複数の第２凹部が交互に配置された第２凹凸構造を有し、
前記複数の第２凸部のうち、互いに隣接する第２凸部間の距離は、前記第１凸部間の距離より長い、もしくは、前記複数の第２凹部のうち、互いに隣接する第２凹部間の距離は、前記第１凹部間の距離より長く、
前記第２凹凸構造の表面に前記第１凹凸構造が設けられていることを特徴とする請求項１または３に記載の構造体。
【請求項７】
前記第２凹凸構造は、融点が１５００℃以上である金属からなることを特徴とする請求項６に記載の構造体。
【請求項８】
前記第２凸部間の距離または前記第２凹部間の距離は、１０μｍ以上であることを特徴とする請求項６に記載の構造体。
【請求項９】
前記第１凸部間の距離または前記第１凹部間の距離は、５０ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１または３に記載の構造体。
【請求項１０】
前記第１凹凸構造の深さは、５０ｎｍ以上１５００ｎｍ未満であることを特徴とする請求項１または３に記載の構造体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造体、Ｘ線発生装置および放熱部の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
使用時に高温となる部品は、蓄熱量を下げるために放熱性を高める技術が適用されていることがある。たとえば部品表面を黒色材で構成したり、黒色材を塗装・溶射したりすることで、光吸収率を高めて放熱性を向上させる技術等がある。
【０００３】
また、特許文献１には、Ｘ線管用ターゲットの表面にフィンを設けた形態が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開公報ＷＯ２０２０／０６７０７５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の形態では放熱性が十分でなく、部品表面における放熱性の向上には検討の余地があった。
【０００６】
そこで本発明の目的は、放熱性を向上させた構造体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための手段は、７００℃以上に加熱される構造体であって、前記構造体の熱を放熱する放熱部を有し、前記放熱部の表面に、複数の第１凸部および複数の第１凹部が交互に配置された第１凹凸構造を有し、前記放熱部から熱放射される電磁波のピーク波長は、３μｍ以下であり、前記複数の第１凸部のうち、互いに隣接する第１凸部間の距離、または前記複数の第１凹部のうち、互いに隣接する第１凹部間の距離は、前記ピーク波長の１／２未満であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の構造体によれば、放熱性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
Ｘ線発生装置（回転陽極Ｘ線管）の模式図である。
図２（ａ）は図１のＸ線発生装置における、電子管用ターゲット及び電子放出源を示す拡大図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の円Ｃに囲まれた部分の拡大図である。
放熱部を製造するためのレーザ加工機の概略図である。
放熱部をレーザ加工する際の工程を説明するフローチャートである。
本実施形態のＸ線発生装置を適用したＣＴ装置の模式図である。
第２実施形態に係るターゲットを説明する図である。
図７（ａ）は熱処理前の部材表面の拡大写真であり、図７（ｂ）は熱処理後の部材表面の拡大写真である。
図８（ａ）は図７（ａ）をさらに拡大したＳＥＭ写真（図面代用写真）であり、図８（ｂ）は図７（ｂ）をさらに拡大したＳＥＭ写真（図面代用写真）である。
ドライエッチングを用いて放熱部に第１凹凸構造を形成する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態を説明する。ただし、以下に説明する形態は、発明の１つの実施形態であって、これに限定されるものではない。そして、共通する構成を複数の図面を相互に参照して説明し、共通の符号を付した構成については適宜説明を省略する。同じ名称で別々の事項については、それぞれ、第一の事項、第二の事項というように、「第〇」を付けて区別することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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