特許ウォッチ

公開番号2024109379
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-14
出願番号2023014136
出願日2023-02-01
発明の名称磁気ディスク用基板
出願人古河電気工業株式会社,株式会社UACJ
代理人個人,個人
主分類G11B 5/73 20060101AFI20240806BHJP(情報記憶)
要約【課題】特に薄肉でありながら、ディスクの表面の外周側領域に存在するうねりを有効に抑制することによって、ヘッドクラッシュの発生を有効に抑制した磁気ディスク用基板を提供する。
【解決手段】少なくとも片面の外周側領域に位置する複数の視野領域にて、ISO25178に規定される算術平均高さSaを、走査型光干渉法を用い、カットオフ波長を1.0mmとするガウシアンフィルタを介して中波長側領域でそれぞれ測定したときの最大値が
、0.50nm以下である、磁気ディスク用基板。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも片面の外周側領域に位置する複数の視野領域にて、ＩＳＯ２５１７８に規定される算術平均高さＳａを、走査型光干渉法を用い、カットオフ波長を１．０ｍｍとするガウシアンフィルタを介して中波長側領域でそれぞれ測定したときの最大値が、０．５０ｎｍ以下である、磁気ディスク用基板。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記算術平均高さＳａの平均値が０．４０ｎｍ以下である、請求項１に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項３】
前記算術平均高さＳａの標準偏差が０．１０ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項４】
厚さ寸法が０．５０ｍｍ未満である、請求項１又は２に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項５】
外径寸法が９５ｍｍ以上である、請求項１又は２に記載の磁気ディスク用基板。
【請求項６】
少なくとも片面の外周側領域に位置する複数の視野領域にて、ＩＳＯ２５１７８に規定される算術平均高さＳａを、走査型光干渉法を用い、カットオフ波長を１．０ｍｍとするガウシアンフィルタを介して中波長側領域でそれぞれ測定したときの最大値が、０．５０ｎｍ以下である、磁気ディスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク用基板に関する。より詳しくは薄肉でありながら、ディスクの表面の外周側領域に存在するうねりを有効に抑制することによって、ヘッドクラッシュの発生を有効に抑制した磁気ディスク用基板に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、クラウドコンピューティングの急速な普及のため、データセンターで用いられるハードディスクに対し、高容量化が求められている。それに応じて、磁気ディスク用基板の大径化や、薄肉化による基板配設枚数の増加などの対策が行われているが、ハードディスク用筐体のサイズは規格化されているため、これ以上の大径化は難しい状態である。そのため、磁気ディスク用基板のさらなる薄肉化が強く要望されている。しかし、薄肉化した基板は、剛性が不足して変形が生じやすくなる傾向があることから、高速回転時にディスクにうねりが生じやすいことが知られている。うねりは、磁気ディスクと磁気ヘッドの衝突の大きな要因であるため、抑制することが好ましい。
【０００３】
これまでにも、ハードディスクにおけるヘッドクラッシュなどの物理的エラー低減のための検討が、いくつかなされている。例えば特許文献１には、酸処理により容易に、表面の高清浄度及び高平滑性（具体的には、表面における平均面粗さ（Ｒａ）が０．３ｎｍ未満と平滑であることを意味する。）が得られるガラス基板が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第３９５９５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のガラス基板は、ライン計測による２次元的な表面性状である平均面粗さ（Ｒａ）を小さくするように調整して表面を平滑にしたものである。上記したように薄肉化した基板だと、剛性が不足して変形が生じやすいため、２次元的な表面性状を調整しただけでは、ヘッドクラッシュを抑制できない場合があった。
【０００６】
本発明は、薄肉でありながら、ディスクの表面の外周側領域に存在するうねりを有効に抑制することによって、ヘッドクラッシュの発生を有効に抑制した磁気ディスク用基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは鋭意検討の結果、少なくとも片面の外周側領域における算術平均高さＳａが小さい磁気ディスク用基板であれば、外周側領域のうねりが抑制され、結果としてヘッドクラッシュを発生し難いことを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は、以下のとおりである。
（１）少なくとも片面の外周側領域に位置する複数の視野領域にて、ＩＳＯ２５１７８に規定される算術平均高さＳａを、走査型光干渉法を用い、カットオフ波長を１．０ｍｍとするガウシアンフィルタを介して中波長側領域でそれぞれ測定したときの最大値が、０．５０ｎｍ以下である、磁気ディスク用基板。
（２）前記算術平均高さＳａの平均値が０．４０ｎｍ以下である、上記（１）の磁気ディスク用基板。
（３）前記算術平均高さＳａの標準偏差が０．１０ｎｍ以下である、上記（１）又は（２）の磁気ディスク用基板。
（４）厚さ寸法が０．５０ｍｍ未満である、上記（１）～（３）のいずれかの磁気ディスク用基板。
（５）外径寸法が９５ｍｍ以上である、上記（１）～（４）のいずれかの磁気ディスク用基板。
（６）少なくとも片面の外周側領域に位置する複数の視野領域にて、ＩＳＯ２５１７８に規定される算術平均高さＳａを、走査型光干渉法を用い、カットオフ波長を１．０ｍｍとするガウシアンフィルタを介して中波長側領域でそれぞれ測定したときの最大値が、０．５０ｎｍ以下である、磁気ディスク。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、特に薄肉でありながら、ディスクの表面の外周側領域に存在するうねりを有効に抑制することによって、ヘッドクラッシュの発生を有効に抑制した磁気ディスク用基板が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に従う磁気ディスク用基板の上面図であって、上面の外周側領域、及び算術平均高さＳａを測定する複数の視野領域の一例を示す。
本発明に従う磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造工程の一例を示すフロー図である。
本発明に従う磁気ディスク用ガラス基板の製造工程の一例を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許