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公開番号2024088924
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-03
出願番号2022203972
出願日2022-12-21
発明の名称感光性組成物、光学フィルタ、画像表示装置および固体撮像素子
出願人artience株式会社
代理人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20240626BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】本発明は、フォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅を有しながら、密着性、耐薬品性および断面形状が優れる被膜を形成できる感光性組成物の提供を目的とする。
【解決手段】色素(A)、重合性化合物(B)、チオール(C)、アルカリ可溶性樹脂(D)、および光重合開始剤(E)を含有する感光性組成物であって、重合性化合物(B)のカルボキシル基含有単官能重合性化合物、およびチオール(C)のカルボキシル基含有鎖状単官能チオール(C-1)からなる群より選択される1種以上を含む、感光性組成物。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
色素（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、チオール（Ｃ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｄ）、および光重合開始剤（Ｅ）を含有する感光性組成物であって、
重合性化合物（Ｂ）のカルボキシル基含有単官能重合性化合物（Ｂ－１）、およびチオール（Ｃ）のカルボキシル基含有鎖状単官能チオール（Ｃ－１）からなる群より選択される１種以上を含む、感光性組成物。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
チオール（Ｃ）が、カルボキシル基を有さないチオール（Ｃ－２）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
カルボキシル基含有鎖状単官能チオール（Ｃ－１）が、複数のカルボキシル基を有するチオールである、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項４】
カルボキシル基含有鎖状単官能チオール（Ｃ－１）およびカルボキシル基を有さないチオール（Ｃ－２）の質量比（（Ｃ－１）／（Ｃ－２））が５／９５～９５／５である、請求項２に記載の感光性組成物。
【請求項５】
重合性化合物（Ｂ）が、アミノ基含有重合性化合物（Ｂ－２）を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項６】
請求項１～５いずれか１項に記載の感光性組成物から形成されてなる硬化膜。
【請求項７】
基材、および請求項６に記載の硬化膜を備える、光学フィルタ。
【請求項８】
請求項７記載の光学フィルタを備える、液晶表示装置。
【請求項９】
請求項７記載の光学フィルタを備える、有機ＥＬ表示装置。
【請求項１０】
請求項７記載の光学フィルタを備える、固体撮像素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ等光学フィルタの形成に使用できる感光性組成物に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
画像表示装置や固体撮像素子等に使用するカラーフィルタ等の光学フィルタは、フォトリソグラフィー法で微細なパターンを形成する場合が多い。
光学フィルタは、画像表示装置や固体撮像素子の小型化や高画素化に伴い、１画素あたりの面積が小さくなる傾向にあり、感光性組成物中の色素の高濃度で対応している。同時にパターンの高精細化も必要になる。
しかし、顔料濃度を高めた着色樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により着色パターンを形成する場合、顔料が紫外線の透過を妨げる場合や、紫外線を吸収する場合があり露光の際に充分な被膜の深部硬化性が得にくい。そのため現像工程でアンダーカットが生じ易く、断面形状が逆テーパー状の画素パターンを形成するため、後工程でＩＴＯなどの導電性膜を形成する場合、断線やパターンと基材の密着性が不足する問題が生じる。また、深部硬化性の悪化により被膜の耐溶剤性が不足する問題があった。
【０００３】
さらに、カラーフィルタ生産における環境対応の要求が高まってきており、特に、低温で焼成工程が注目されている。従来の液晶表示素子に積層されるカラーフィルタの着色画素は２３０℃と非常に高温で焼成していたが、７０～１００℃程度での焼成が必要となる。しかし、カラーフィルタの焼成温度を下げると、硬化が不十分となり、次工程のカラーフィルタ形成時に、塗工した着色組成物に含まれる溶剤による着色画素の剥がれや表面荒れといった問題が発生してしまう。一方で、露光量を高めると、着色画素に含まれる架橋性分の反応が必要以上に進行し、現像性に影響するため、任意の画素サイズを得ることが非常に困難である他、生産時間が長くなり現実的ではない。
【０００４】
特許文献１および２には、単官能チオールを含む感光性組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００８－２２５１７０号公報
国際公開第２０２２／０７０９７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の感光性組成物は、形成するパターンの幅がフォトマスクの開口幅より増加する傾向にあり、断面形状と基材密着性と耐薬品性のすべてを満足できるレベルではなかった。
また、光重合開始剤を減量したところ、フォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅を形成できたが、深部硬化性が更に低下し、アンダーカットが生じることによる密着性や耐薬品性の低下といった問題があった。
【０００７】
本発明は、フォトマスクの開口幅と同等に近いパターンの線幅を有しながら、密着性、耐薬品性および断面形状が優れる被膜を形成できる感光性組成物の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、色素（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、チオール（Ｃ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｄ）、および光重合開始剤（Ｅ）を含有する感光性組成物であって、重合性化合物（Ｂ）のカルボキシル基含有単官能重合性化合物（Ｂ－１）、およびチオール（Ｃ）のカルボキシル基含有鎖状単官能チオール（Ｃ－１）からなる群より選択される１種以上を含む、感光性組成物に関する。
【０００９】
また、本発明は、チオール（Ｃ）が、カルボキシル基を有さないチオール（Ｃ－２）を含む、前記の感光性組成物に関する。
【００１０】
また、本発明は、カルボキシル基含有鎖状単官能チオール（Ｃ－１）が、複数のカルボキシル基を有するチオールである、前記の感光性組成物に関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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