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公開番号2024087278
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-01
出願番号2022202019
出願日2022-12-19
発明の名称工具、及びガイドレールの取り付け方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B25B 1/10 20060101AFI20240624BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】被把持物を均等な力で把持できる工具を提供する。
【解決手段】C型クランプ(11)と、C型クランプの一方の端(15)に配置した荷重センサ(17)と、C型クランプ部の他方の端(16)に形成されるネジ穴(18)と、ネジ穴に螺入し該一方の端と該他方の端とを結ぶ軸(J)に回転して該軸方向に進退するシャフトネジ(19)と、を備え、ネジ穴に螺入したシャフトネジを回転させシャフトネジの先端(20)と荷重センサとの間で所定の力で被把持物をクランプする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
Ｃ型クランプで所定の力でクランプする工具であって、
Ｃ型クランプと、該Ｃ型クランプの一方の端に配置した荷重センサと、該Ｃ型クランプ部の他方の端に形成されるネジ穴と、該ネジ穴に螺入し該一方の端と該他方の端とを結ぶ軸に回転して該軸方向に進退するシャフトネジと、を備え、
該ネジ穴に螺入した該シャフトネジを回転させ該シャフトネジの先端と該荷重センサとの間で所定の力で被把持物をクランプする、工具。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
該荷重センサが検知したクランプ力を表示する表示部を備える、請求項１記載の工具。
【請求項３】
ガイドレールの側面を装置ベースに形成された基準面に均一な力で押し付けて、該ガイドレールを該装置ベースに取り付けるガイドレールの取り付け方法であって、
該基準面に該ガイドレールの側面を平行に該ガイドレールを配置するガイドレール配置工程と、
該ガイドレールに形成された貫通穴を貫通させ該装置ベースに形成されたネジ穴に取り付けボルトを螺入させる仮止め工程と、
該請求項１記載の工具を用いて、該基準面を有する基準部と該ガイドレールとを挟み、該基準面に該ガイドレールを所定の力で押し当てる押し当て工程と、
該工具によって所定の力で該基準面に該ガイドレールを押し当てた状態で該取り付けボルトを螺合させることによって該ガイドレールを該装置ベースに固定する固定工程と、
該ガイドレールの延在方向に順に、該押し当て工程と該固定工程とを繰り返す繰り返し工程と、からなる、ガイドレールの取り付け方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、工具、及びガイドレールの取り付け方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、ウェーハなどの被加工物を切削する切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルを切削ブレードの切削送り方向に往復移動させ、切削ブレードによってチャックテーブル上の被加工物を切削している。チャックテーブルを切削送り方向に移動させる移動機構は、切削送り方向に延在するガイドレールと、ガイドレールに平行に配置されるボールネジと、ボールネジを回転させるモータとを備えている。
【０００３】
このような移動機構は、切削装置以外の加工装置でも用いられる。例えば、被加工物に対してレーザー光を照射して加工を行うレーザー加工装置において、被加工物を保持するチャックテーブルを加工送り方向に移動させるための移動機構として、ガイドレールとボールネジとモータとを備えたものが知られている。
【０００４】
移動機構を構成するガイドレールを加工装置の装置ベースに対して取り付ける際には、特許文献２に開示のように、装置ベースに形成された溝状のガイドレール取付部の基準面にガイドレールの側面を押し付けた状態で、ガイドレールの上下面を貫通した貫通穴に取り付けネジを貫通させ、その取り付けネジを装置ベースのガイドレール取付部の底面に形成されたネジ穴に螺合させ、ガイドレールをネジ固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－２０３９４４号公報
特開２０２２－２３３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般的に、ガイドレールには延在方向（長手方向）に等間隔で複数の貫通穴を配置しており、装置ベースのガイドレール取付部には複数のネジ穴を配置している。そして、複数の貫通穴と複数のネジ穴に対応する複数の取り付けネジを用いて、装置ベースにガイドレールを固定している。そのため、ガイドレールを取り付ける際には、ガイドレール取付部の基準面にガイドレールの側面を押し付ける動作と、押し付けた状態で取り付けネジをネジ穴に螺合させてネジ固定する動作とを繰り返している。
【０００７】
このような手順によって装置ベースへのガイドレールの取り付けを行うと、ガイドレールの延在方向において、ガイドレール取付部の基準面に対するガイドレールの側面の押し付け力が大きい箇所と、押し付け力が小さい箇所とが生じることがある。つまり、ガイドレール取付部の基準面に対するガイドレールの押し付け力が部分的にばらつくことがある。そして、押し付け力に違いがある状態でガイドレールをネジ固定したことによって、ガイドレールが蛇行して装置ベースに取り付けられてしまうという問題がある。
【０００８】
このような問題を解決するために、ガイドレールなどの被把持物を複数の箇所で把持する際に、それぞれの箇所で均等に把持することが可能な工具が求められている。
【０００９】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、被把持物を均等な力で把持できる工具を提供することを目的とする。また、本発明は、蛇行を生じずにガイドレールを取り付け可能なガイドレールの取り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、Ｃ型クランプで所定の力でクランプする工具であって、Ｃ型クランプと、該Ｃ型クランプの一方の端に配置した荷重センサと、該Ｃ型クランプ部の他方の端に形成されるネジ穴と、該ネジ穴に螺入し該一方の端と該他方の端とを結ぶ軸に回転して該軸方向に進退するシャフトネジと、を備え、該ネジ穴に螺入した該シャフトネジを回転させ該シャフトネジの先端と該荷重センサとの間で所定の力で被把持物をクランプすることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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