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公開番号2024093999
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-09
出願番号2022210690
出願日2022-12-27
発明の名称加工装置及び登録方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240702BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】キーパターンを検出できずに一時停止する割合を低減する。
【解決手段】加工装置の制御ユニットは、被加工物の表面を撮像して特徴的な第一キーパターンを特定した第一キーパターンの画像を記憶し、第一キーパターンから分割予定ラインまでの距離を記憶することで第一の分割予定ライン検出条件が登録される第一登録部と、第一キーパターンとは異なる第二キーパターンを第一キーパターンの予備として特定した第二キーパターンの画像を記憶し、第二キーパターンから第一登録部で登録した分割予定ラインまでの距離を記憶することで第二の分割予定ライン検出条件が登録される第二登録部と、第一の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第一アライメント実行部と、第一アライメント実行部を作動させて第一キーパターンを特定できない際は、第二の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第二アライメント実行部と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一キーパターンとして特定して該第一キーパターンの画像を記憶し、該第一キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件が登録される第一登録部と、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、該第一キーパターンとは異なる第二キーパターンを該第一キーパターンの予備として特定して該第二キーパターンの画像を記憶し、該第二キーパターンから該第一登録部で登録した該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件が登録される第二登録部と、
該保持テーブルに保持された該被加工物の該分割予定ラインを検出するために、該第一登録部に登録される該第一の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第一アライメント実行部と、
該第一アライメント実行部を作動させて該第一キーパターンを特定できない際は、該第二登録部に登録される該第二の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第二アライメント実行部と、
を有することを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録する登録方法であって、
該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一キーパターンとして特定して該第一キーパターンの画像を記憶し、該第一キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件が登録される第一登録ステップと、
該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、該第一キーパターンとは異なる第二キーパターンを該第一キーパターンの予備として特定して該第二キーパターンの画像を記憶し、該第二キーパターンから該第一登録ステップで登録した該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件が登録される第二登録ステップと、
を備えることを特徴とする登録方法。
【請求項３】
該第一登録ステップおよび該第二登録ステップの後で、
該保持テーブルに保持された該被加工物の該分割予定ラインを検出するために、該第一登録ステップで登録された該第一の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第一アライメント実行ステップと、
該第一アライメント実行ステップを作動させて該第一キーパターンを特定できない際は、該第二登録ステップで登録された該第二の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第二アライメント実行ステップと、
をさらに備える請求項２に記載の登録方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び登録方法に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体被加工物等の被加工物をチップサイズに分割するために、被加工物の分割予定ラインに沿って加工を行う加工装置がある。例えば、特許文献１には、分割すべき被加工物の表面を撮像ユニットによって撮像し走査しながら記憶手段に登録されたストリート検出条件によりキーパターンと同一パターンを探し出し、探し出したキーパターンと同一のパターンに基づいて予め登録されたストリート検出条件のキーパターンとストリートとの位置関係によってストリート（分割予定ライン）を検出する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特公平３－２７０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加工装置は、分割予定ラインを検出する場合に、被加工物の表面の金属層や絶縁層の厚さのムラやうねり等によって、予め登録されたキーパターンを検出しづらくなることがある。この場合、従来の加工装置は、エラー警報を発報して稼働を一時停止する。その後、作業者が目視にてキーパターンを指定、または分割予定ラインを指定することで、従来の加工装置は、稼動を再開するが、作業者によって稼動が再開されるまでは一時停止し続けるため、生産性が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、キーパターンを検出できずに一時停止する割合を低減することができる加工装置及び登録方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一キーパターンとして特定して該第一キーパターンの画像を記憶し、該第一キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件が登録される第一登録部と、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、該第一キーパターンとは異なる第二キーパターンを該第一キーパターンの予備として特定して該第二キーパターンの画像を記憶し、該第二キーパターンから該第一登録部で登録した該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件が登録される第二登録部と、該保持テーブルに保持された該被加工物の該分割予定ラインを検出するために、該第一登録部に登録される該第一の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第一アライメント実行部と、該第一アライメント実行部を作動させて該第一キーパターンを特定できない際は、該第二登録部に登録される該第二の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第二アライメント実行部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の登録方法は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録する登録方法であって、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一キーパターンとして特定して該第一キーパターンの画像を記憶し、該第一キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件が登録される第一登録ステップと、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、該第一キーパターンとは異なる第二キーパターンを該第一キーパターンの予備として特定して該第二キーパターンの画像を記憶し、該第二キーパターンから該第一登録ステップで登録した該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件が登録される第二登録ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
上述した登録方法は、該第一登録ステップおよび該第二登録ステップの後で、該保持テーブルに保持された該被加工物の該分割予定ラインを検出するために、該第一登録ステップで登録された該第一の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第一アライメント実行ステップと、該第一アライメント実行ステップを作動させて該第一キーパターンを特定できない際は、該第二登録ステップで登録された該第二の分割予定ライン検出条件を用いてアライメントを行う第二アライメント実行ステップと、をさらに備えてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本願発明の加工装置及び登録方法は、キーパターンを検出できずに一時停止する割合を低減することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
図２は、図１に示す検出装置における被加工物の登録例を説明するための図である。
図３は、図１に示す加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。
図４は、第二キーパターンを説明するための図である。
図５は、登録データの一例を説明するための図である。
図６は、加工装置が実行するキーパターンの登録方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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