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公開番号2024135489
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023046198
出願日2023-03-23
発明の名称太陽電池
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類H01L 31/0224 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】半導体基板の内部応力を低減する太陽電池を提供する。
【解決手段】太陽電池1は、半導体基板11と、半導体基板11の主面に配置された導電型半導体層25,35と、導電型半導体層25,35に対応する金属電極層29,39とを備える太陽電池であって、金属電極層29,39は帯状の形状を有し、金属電極層29,39は、金属粒子が連なって堆積した層構造を有し、半導体基板11の主面側からみて、金属電極層29,39における金属粒子の大きさは0.9μm以上500μm以下である。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
半導体基板と、前記半導体基板の主面に配置された導電型半導体層と、前記導電型半導体層に対応する金属電極層とを備える太陽電池であって、
前記金属電極層は帯状の形状を有し、
前記金属電極層は、金属粒子が連なって堆積した層構造を有し、
前記半導体基板の主面側からみて、前記金属電極層における前記金属粒子の大きさは０．９μｍ以上５００μｍ以下である、
太陽電池。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
前記半導体基板の主面に沿う前記金属電極層の断面、および、前記半導体基板の主面に交差する前記金属電極層の断面において、前記金属粒子の粒界には隙間が存在する、請求項１に記載の太陽電池。
【請求項３】
前記半導体基板の主面に交差する断面において、前記金属電極層に隣接する層と前記金属電極層の前記金属粒子との境界には隙間が存在する、請求項１または２に記載の太陽電池。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体基板を用いた太陽電池として、受光面側および裏面側の両面に電極が形成された両面電極型の太陽電池と、裏面側のみに電極が形成された裏面電極型の太陽電池とがある。特許文献１には両面電極型の太陽電池が開示されており、特許文献２には裏面電極型の太陽電池が開示されている。特許文献１および２に開示されているように、両面電極型であっても裏面電極型であっても、太陽電池は、半導体基板と、半導体基板の主面に配置された導電型半導体層と、導電型半導体層に対応する金属電極層とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１５２６２０号公報
特開２０１９－１２１６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、太陽電池では、半導体基板に金属電極層が形成されているため、半導体基板に反りが生じ、半導体基板の内部に応力が生じる。このような傾向は、裏面電極型の太陽電池において顕著である。半導体基板の内部応力が大きくなると、太陽電池の信頼性が低下する。
【０００５】
本発明は、半導体基板の内部応力を低減（抑制、緩和）する太陽電池を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る太陽電池は、半導体基板と、前記半導体基板の主面に配置された導電型半導体層と、前記導電型半導体層に対応する金属電極層とを備える太陽電池であって、前記金属電極層は帯状の形状を有し、前記金属電極層は、金属粒子が連なって堆積した層構造を有し、前記半導体基板の主面側からみて、前記金属電極層における前記金属粒子の大きさは０．９μｍ以上５００μｍ以下である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、太陽電池において、半導体基板の内部応力を低減（抑制、緩和）することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態に係る太陽電池（裏面電極型）を裏面側からみた図である。
図１の太陽電池（裏面電極型）におけるII－II線断面図である。
本実施形態に係る太陽電池（裏面電極型）の製造方法における半導体層形成工程を示す図である。
本実施形態に係る太陽電池（裏面電極型）の製造方法における透明電極層形成工程を示す図である。
本実施形態に係る太陽電池（裏面電極型）の製造方法における金属電極層形成工程を示す図である。
本実施形態の変形例に係る太陽電池（両面電極型）の断面図である。
図２の太陽電池における金属電極層の表面を撮像したＳＥＭ画像の一例である。
図５ＡのＶＢ部分を拡大したＳＥＭ画像の一例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。また、便宜上、ハッチングや部材符号等を省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。
【００１０】
（太陽電池）
図１は、本実施形態に係る太陽電池を裏面側からみた図であり、図２は、図１の太陽電池におけるII－II線断面図である。図１および図２に示す太陽電池１は、裏面電極型（バックコンタクト型、裏面接合型ともいう。）であってヘテロ接合型の太陽電池である。
（【００１１】以降は省略されています）

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