特許ウォッチ

公開番号2024136321
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023047405
出願日2023-03-23
発明の名称シート剥離装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】剥離テープ及び保護シートの硬さや保護シートと被着体との間の接着力にかかわらず、保護テープを被着体から安定して剥離させるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置1は、被着体Wを保持してY軸方向に移動可能な剥離テーブル41と、剥離テープTを保護シートSに接着させる圧着ユニット50と、剥離テープT又は被着体Wから剥離された保護シートSを所定軌道に沿ってそれぞれ案内する剥離ローラ31、サポートプレート33と、を備え、サポートプレート33は、保護シートSが被着体Wから剥離される剥離位置において軌道を剥離ローラ31に向けて折り返し、保護シートSの剥離中に剥離位置における軌道のY軸方向に対する角度である剥離角度を略一定に保つ。
【選択図】図27
特許請求の範囲【請求項１】
被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な搬送テーブルと、
前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着ユニットと、
前記剥離テープ又は前記被着体から剥離された前記保護シートを所定軌道に沿ってそれぞれ案内する第１、第２のサポート部材と、
を備え、
前記第１のサポート部材は、前記保護シートが前記被着体から剥離される剥離位置において前記軌道を前記第２のサポート部材に向けて折り返し、前記保護シートの剥離中に前記剥離位置における前記軌道の前記移動方向に対する角度である剥離角度を略一定に保つことを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記第１のサポート部材は、前記保護シートの剥離前に、前記第２のサポート部材に対して相対的に移動して前記剥離位置における前記剥離角度を調整可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記第２のサポート部材は、前記第１のサポート部材に対して遠近移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記第１のサポート部材は、前記移動方向と垂直な幅方向において前記被着体より幅広に延伸され、前記剥離位置において前記剥離テープ又は前記保護シートを折り返すサポート部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記サポート部は、先端に上面側が漸次薄いテーパー状に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のシート剥離装置。
【請求項６】
前記第２のサポート部材は、
前記搬送テーブルの移動に同期して回転して前記剥離テープ又は前記保護シートを前記軌道に沿って送る剥離ローラと、
前記剥離ローラと協働して前記剥離テープ又は前記保護シートをクランプするニップローラと、
を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。
【０００３】
被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、被着体に貼付された保護シートの端部に剥離テープを接着し、被着体を剥離テープに対して相対的に移動させることにより、剥離テープに剥離力を作用させて保護シートを被着体から剥離させる装置が知られている。
【０００４】
例えば、特許文献１記載の装置では、接着テープＴを保持する剥がしヘッド４００をテーブル２０３の移動方向と反対側に移動させることにより、保護シートＦがウェハＷから剥離される。このとき、ウェハＷにかかるストレスを低減するために、剥がしヘッド４００が保護シートＦに可能な限り接近した状態で、剥がしヘッド４００が接着テープＴを引っ張るため、保護シートＦは約１８０度折り返されるようにしてウェハＷから剥離される。なお、符号は、特許文献１記載のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平１１－１６８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１記載の装置では、接着テープＴの硬さ、保護シートＦの硬さ及び保護シートＦとウェハＷとの間の接着力等のバラつきよって、保護シートＦがウェハＷから剥離するときの保護シートＦの折り返し具合が変化するため、保護シートＦをウェハＷから剥離させる剥離力が保護シートＦに安定して作用しない虞があった。
【０００７】
そこで、剥離テープ及び保護シートの硬さや保護シートと被着体との間の接着力にかかわらず、保護テープを被着体から安定して剥離させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な剥離テーブルと、前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着ユニットと、前記剥離テープ又は前記被着体から剥離された前記保護シートを所定軌道に沿ってそれぞれ案内する第１、第２のサポート部材と、を備え、前記第１のサポート部材は、前記保護シートが前記被着体から剥離される剥離位置において前記軌道を前記第２のサポート部材に向けて折り返し、前記保護シートの剥離中に前記剥離位置における前記軌道の前記移動方向に対する角度である剥離角度を略一定に保つ。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、第２のサポート部材が、保護シートの剥離中に剥離角度を略一定に保つことにより、保護シートを被着体から安定して剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す斜視図。
テープ供給ユニットを示す斜視図。
剥離アームユニットを示す斜視図。
テープ巻取ユニットを示す斜視図。
サポートプレートを示す平面図及び正面図。
剥離テーブルユニットを示す斜視図。
圧着ユニットを示す斜視図。
圧着ユニットの要部を下方から視た斜視図。
保護シートを剥離する手順を示すフローチャート。
（ａ）テープ供給ユニット及び剥離アームの初期位置を示す縦断面正面図、（ｂ）剥離アームをＹ軸の正方向に移動させた後に昇降機構を除くテープ供給ユニットを降下させた状態を示す縦断面正面図。
剥離テープの先端が一対のクランプ部の間に位置するように、剥離アームを移動させた状態を示す縦断面正面図及び要部拡大縦断面斜視図。
剥離テープの先端が一対のクランプ部に把持された状態を示す要部拡大縦断面斜視図。
剥離テープサポート部材による剥離テープのクランプを解除した状態を示す縦断面斜視図。
剥離アームが剥離テープを引き出した状態を示す縦断面正面図及び要部拡大縦断面斜視図。
スタンプヘッドを初期高さ位置まで降下させた状態を示す縦断面正面図及び要部拡大縦断面正面図。
スタンプヘッドを剥離テープ近傍まで降下させた状態を示す縦断面正面図。
スタンプヘッドが剥離テープを保護シートに圧着させている状態を示す縦断面斜視図。
スタンプヘッドを上昇させた状態を示す縦断面正面図及び要部拡大縦断面斜視図。
剥離テープが押さえフレーム及びステージにクランプされている状態を示す縦断面斜視図。
カッターが剥離テープを切断した状態を示す縦断面斜視図。
押さえフレームによる剥離テープのクランプを解除した状態を示す縦断面斜視図。
テープ供給ユニットを上昇させた状態を示す縦断面斜視図。
剥離アーム及び剥離テーブルを剥離開始位置に移動させた状態を示す縦断面斜視図。
剥離アームを上昇させて、剥離テープの上端を持ち上げた状態を示す縦断面斜視図。
剥離テープが、剥離テープ及びニップローラにクランプされている状態を示す縦断面斜視図。
サポートプレートを剥離テープに当たるまで移動させた状態を示す縦断面斜視図。
剥離ローラ、ニップローラ及びサポートプレートの位置関係によって剥離テープの剥離角度が、鋭角、直角又は鈍角に調整された状態を示す正面図。
剥離アームを移動させて、保護シートが被着体から剥がされている様子を示す縦断面斜視図。
保護シートが被着体から剥がされた様子を示す縦断面斜視図。
サポートプレートを用いずに、保護シートを剥離している様子を示す模式図。
サポートプレートを用いて、保護シートを剥離している様子を示す模式図。
剥離アームが保護シートを廃棄ボックスに投下する際の、廃棄ボックスに対する剥離アームの位置関係を示す縦断面斜視図。
ニップローラ、サポートプレート及び剥離アームを待機位置まで後退させた状態を示す縦断面正面図及び要部拡大縦断面斜視図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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