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公開番号2024129891
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039262
出願日2023-03-14
発明の名称三次元座標測定機
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01B 5/00 20060101AFI20240920BHJP(測定;試験)
要約【課題】定盤上の測定範囲を確保しつつ定盤の小型化を図ることができる三次元座標測定機を提供する。
【解決手段】定盤10は、定盤10には、右Yキャリッジ16の側の定盤10の下面10Bに定盤10の前後方向に延びた溝40により形成されるYガイド42が設けられ、右Yキャリッジ16は、定盤10の上面10Tに対向して配置される基部52と、定盤10の下面10B側からYガイド42を挟み込むように対向する一対の右側部54及び左側部56とを有する。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
上下面と側面を有し、測定対象物を載置する定盤と、
測定プローブを支持し、前記定盤を跨いで前記定盤の前後方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により前記定盤に支持されるＹキャリッジと、
前記二つの支柱部材は、前記Ｙキャリッジを前後方向に駆動する駆動機構をもつ第１支柱部材と、前記第１支柱部材に追従移動する第２支柱部材とを有し、
前記定盤には、前記第１支柱部材の側の前記定盤の下面に前記定盤の前後方向に延びたＹガイドが設けられ、
前記第１支柱部材は、前記定盤の上面に対向して配置される基部と、前記定盤の下面側から前記Ｙガイドを挟み込むように対向する一対の側部とを有する、
三次元座標測定機。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記Ｙガイドは、前記定盤の下面に垂直な右側面と左側面とを有し、
前記基部は、前記定盤の上面に第１エアパッドを介して摺動自在に配置され、
前記一対の側部は、前記Ｙガイドの前記右側面に第２エアパッドを介して摺動自在に配置される右側部と、前記Ｙガイドの前記左側面に第３エアパッドを介して摺動自在に配置される左側部とを有し、
前記第２支柱部材は、前記定盤の上面に第４エアパッドを介して摺動自在に配置される、
請求項１に記載の三次元座標測定機。
【請求項３】
前記Ｙガイドは、前記定盤の下面に前記定盤の前後方向に沿って形成された凹状の溝により形成される、
請求項１又は２に記載の三次元座標測定機。
【請求項４】
前記Ｙガイドは、前記定盤の下面に前記定盤の前後方向に沿って形成された凸状の突条部により形成される、
請求項１又は２に記載の三次元座標測定機。
【請求項５】
前記第１支柱部材は、前記第１支柱部材の右側方から前記第１支柱部材を見た場合、前記測定プローブを直視可能とする貫通孔を有する、
請求項１又は２に記載の三次元座標測定機。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元座標測定機に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に測定プローブを移動させて測定対象物の三次元形状を測定する三次元座標測定機に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示された三次元座標測定機は、測定対象物が載置される定盤を有し、定盤の上部には前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在のＹキャリッジが配置される。Ｙキャリッジは、定盤を正面側から見たときの定盤の右側及び左側の各々に上下方向（Ｚ軸方向）に沿って立設される２本の支柱部材（以下、右Ｙキャリッジ、左Ｙキャリッジとも言う。）と、右Ｙキャリッジと左Ｙキャリッジの各々の上端部に架け渡されて左右方向（Ｘ軸方向）に沿って延在する柱状のＸガイドと、を有している。
【０００３】
Ｘガイドには、Ｘ軸方向に移動自在のＸキャリッジが配置され、Ｘキャリッジには、Ｚ軸方向に移動自在のＺガイドが配置される。また、Ｚガイドの下端には測定対象物の位置を検知する測定プローブが取り付けられ、更に、測定プローブの先端には接触子を備えたスタイラスが取り付けられる。測定プローブは測定対象物に接触子が接触したときに電気信号を発生し、そのときのＸ位置、Ｙ位置、Ｚ位置をデータ処理装置が取り込むことにより測定対象物の三次元形状を測定する。
【０００４】
また、特許文献１の三次元座標測定機は、右Ｙキャリッジと左Ｙキャリッジの各々の下端部と定盤の上面との間に、Ｙキャリッジの重量を支えるためのエアパッドが配置されている。また、定盤は、右Ｙキャリッジの側で、定盤の上面に垂直な右側面と左側面とを有するＹガイドであって、Ｙ軸方向に延びるＹガイドを有している。
【０００５】
右Ｙキャリッジは、Ｙガイドを左右から挟み込む右側面支持部材と左側面支持部材とを有しており、右側面支持部とＹガイドの右側面（定盤の右側面）との間、及び左側面支持部とＹガイドの左側面との間には、Ｙキャリッジの横振れを抑制するためのエアパッドがそれぞれ配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１９－１０５６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、三次元座標測定機においては、三次元座標測定機のコンパクト化が望まれている。三次元座標測定機をコンパクト化するための１つ案として、定盤を小型化することが考えられる。しかしながら、この場合、測定対象物を測定するために必要とされる定盤上の測定範囲が小さくなるため、三次元座標測定機において測定可能な測定対象物の大きさが制限されてしまうデメリットがある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、定盤上の測定範囲を確保しつつ定盤の小型化を図ることができる三次元座標測定機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の三次元座標測定機は、本発明の目的を達成するために、上下面と側面を有し、測定対象物を載置する定盤と、測定プローブを支持し、定盤を跨いで定盤の前後方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、二つの支柱部材は、Ｙキャリッジを前後方向に駆動する駆動機構をもつ第１支柱部材と、第１支柱部材に追従移動する第２支柱部材とを有し、定盤には、第１支柱部材の側の定盤の下面に定盤の前後方向に延びたＹガイドが設けられ、第１支柱部材は、定盤の上面に対向して配置される基部と、定盤の下面側からＹガイドを挟み込むように対向する一対の側部とを有する。
【００１０】
本発明の一形態は、Ｙガイドは、定盤の下面に垂直な右側面と左側面とを有し、基部は、定盤の上面に第１エアパッドを介して摺動自在に配置され、一対の側部は、Ｙガイドの右側面に第２エアパッドを介して摺動自在に配置される右側部と、Ｙガイドの左側面に第３エアパッドを介して摺動自在に配置される左側部とを有し、第２支柱部材は、定盤の上面に第４エアパッドを介して摺動自在に配置されることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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