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公開番号2024118728
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-02
出願番号2023025168
出願日2023-02-21
発明の名称シート剥離装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240826BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着するシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置1は、被着体Wに貼付された保護シートSに剥離テープTを介して剥離力を付与して、保護シートSを剥離するシート剥離装置1であって、剥離テープTを保護シートSに熱圧着させるスタンプヘッド46と、スタンプヘッド46を被着体Wに向けて押し出すエアシリンダ41と、エアシリンダ41を昇降させるヒートスタンプ送り機構47と、エアシリンダ41にエアを供給するとともに、エアの設定圧を制御してエアシリンダ41がスタンプヘッド46を押し出す出力を調整可能な電空レギュレータ44と、を備え、エアシリンダ41は、被着体Wに作用する押圧力が、エアシリンダ41の出力を超えたときに、スタンプヘッド46を上方に退避させる。
【選択図】図7

特許請求の範囲【請求項１】
被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記剥離テープを前記保護シートに熱圧着させるスタンプヘッドと、
前記スタンプヘッドを前記被着体に向けて押し出すエアシリンダと、
前記エアシリンダを昇降させる昇降機構と、
前記エアシリンダにエアを供給するとともに、前記エアの圧力である設定圧を制御して前記エアシリンダが前記スタンプヘッドを押し出す出力を調整可能なレギュレータと、
を備え、
前記エアシリンダは、前記被着体に作用する押圧力が前記出力を超えたときに、前記スタンプヘッドを上方に退避させることを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記レギュレータは、前記昇降機構が前記エアシリンダを降下させているときに前記設定圧を切替可能な電空レギュレータであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記電空レギュレータは、前記スタンプヘッドが前記剥離テープに接触する際には、前記剥離テープに作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を制御し、前記剥離テープが前記保護シートに圧着される際には、前記被着体に作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を制御することを特徴とする請求項２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記レギュレータは、前記昇降機構が前記エアシリンダを降下させているときに前記設定圧を略一定に制御する精密レギュレータであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記精密レギュレータは、前記剥離テープが前記保護シートに圧着される際に前記被着体に作用する押圧力の上限に対応する前記出力が得られるように前記設定圧を固定して制御することを特徴とする請求項４に記載のシート剥離装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。
【０００３】
被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、特許文献１には、ヒーター上下シリンダ５０９を駆動して、ヒーター工具５０５がウェハＷに貼付された保護シートＦの端部に接着テープＴを熱圧着する装置が開示されている。なお、符号は、特許文献１記載のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－１６８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の装置では、接着テープＴを保護シートＦに熱圧着する際に、ヒーター上下シリンダ５０９がヒーター工具５０５をウェハＷに向けて所定量だけ押し込むため、ウェハＷ、保護シートＦ及び接着テープＴの厚みにばらつきがあったりウェハＷを保持するテーブル２０３の表面高さにバラつき等があると、ウェハＷに対するヒーター工具５０５の押し込み具合が安定せず、ウェハＷに過剰な押圧力が作用してウェハＷが破損したり、ウェハＷに十分な押圧力が作用せず保護シートＦへの接着テープＴの圧着が不十分になる虞があった。
【０００６】
そこで、被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記剥離テープを前記保護シートに熱圧着させるスタンプヘッドと、前記スタンプヘッドを前記被着体に向けて押し出すエアシリンダと、前記エアシリンダを昇降させる昇降機構と、前記エアシリンダにエアを供給するとともに、前記エアの圧力である設定圧を制御して前記エアシリンダが前記スタンプヘッドを押し出す出力を調整可能なレギュレータと、を備え、前記エアシリンダは、前記被着体に作用する押圧力が前記出力を超えたときに、前記スタンプヘッドを上方に退避させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、被着体にダメージを与えることなく且つ剥離テープを保護シートに安定して圧着することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す斜視図。
シート剥離装置を示す側面図。
貼付手段を示す斜視図。
貼付手段の要部を下方から視た斜視図。
ヒートスタンプを示す斜視図。
保護シートを剥離する手順を示す模式図。
剥離テープを保護シートに圧着させる際のエアシリンダの動作を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
（【００１１】以降は省略されています）

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