特許ウォッチ

公開番号2024130015
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039481
出願日2023-03-14
発明の名称ワーク加工装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240920BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】剛性の低いワークを安定且つ確実に保持して搬送可能な搬送装置を備えたワーク加工装置を提供する。
【解決手段】裏面にダイシングテープ204が貼り付けられてなるワーク200が格納される格納部12と、ワーク200が一旦載置される載置部14と、ワーク200を加工する加工部16と、ワーク200を洗浄する洗浄部18と、格納部12と載置部14と加工部16と洗浄部18との間のそれぞれの搬送経路に沿ってワーク200を搬送する搬送装置20と、を備え、搬送装置20は、ワーク200の表面に当接可能なパッド132と、パッド132の周囲を除くパッド132の中央部に固定されるパッド支持体134と、パッド132とワーク200との間に負圧を作用させる吸引ポンプ136と、を含む保持装置104、106、108を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
裏面にテープが貼り付けられてなるワークが格納される格納部と、
前記ワークが一旦載置される載置部と、
前記ワークを加工する加工部と、
前記ワークを洗浄する洗浄部と、
前記格納部と前記載置部と前記加工部と前記洗浄部との間のそれぞれの搬送経路に沿って前記ワークを搬送する搬送装置と、
を備え、
前記搬送装置は、前記ワークを保持し、前記ワークを前記載置部に載置し、収納可能な保持装置を少なくとも有し、
前記保持装置は、
前記ワークの表面に当接可能なパッドと、
前記パッドの周囲を除く前記パッドの中央部に固定され、前記パッドを支持するパッド支持体と、
前記パッドと前記ワークとの間に負圧を作用させる負圧発生部と、
を含む、
ワーク加工装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記搬送装置は、第１搬送装置と第２搬送装置とを有し、
前記保持装置は、第１保持装置と第２保持装置と第３保持装置とを有し、
前記第１保持装置は、前記第１搬送装置に搭載されて、前記格納部と前記載置部との間の搬送経路で前記ワークを保持し、
前記第２保持装置は、前記第１搬送装置に搭載されて、前記載置部と前記加工部との間の搬送経路、及び前記洗浄部と前記載置部との間の搬送経路で前記ワークを保持し、
前記第３保持装置は、前記第２搬送装置に搭載されて、前記加工部と前記洗浄部との間の搬送経路で前記ワークを保持する、
請求項１に記載のワーク加工装置。
【請求項３】
前記第１保持装置は、前記第１搬送装置にアーム部材を介して揺動自在に連結されて、倒伏位置と起立位置との間で姿勢が変更される、
請求項２に記載のワーク加工装置。
【請求項４】
前記載置部と前記第３保持装置とは、前記第２搬送装置において上部に前記載置部が配置され、下部に前記第３保持装置が配置される、
請求項２又は３に記載のワーク加工装置。
【請求項５】
前記加工部は、前記ワークをダイシング加工するダイシング手段を有する、
請求項１又は２に記載のワーク加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク加工装置に係り、特にワークをダイシング加工するダイシング装置等のワーク加工装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置においては、スピンドルによって高速に回転されるブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θ駆動部とを備えている。このダイシング装置では、各駆動部によりブレードとワークとを相対的に移動させながら、ブレードによってワークを切り込むことによりダイシング加工（切削加工）する。
【０００３】
ダイシング装置においては、ワークの搬送時にダイシングフレームを吸着保持して搬送することが一般的に行われている（例えば、特許文献１参照）。ダイシングフレームを吸着保持することで、加工後のワークを安定して搬送することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－８６５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ダイシングフレームを吸着保持してワークを搬送する方式の場合、ダイシング装置内の加工や搬送を行う空間はダイシングフレームのフレームサイズに合わせて設計する必要がある。そのため、装置内部の空間に対してフレームサイズよりも小さなワークしか加工することができず、装置面積に対する加工可能なワーク面積が小さく生産性が低くなる要因となる。一方、生産性を高めるためにはフレームサイズを大きくする必要があるが、そうすると、更なるコストアップや装置の大型化を招いてしまうことになる。
【０００６】
これに対して、ダイシングフレームを使用することなく、ワークを直接保持して搬送（ダイレクト搬送）することにより装置内の空間を最大限に活用可能にすることが考えられる。ダイレクト搬送では、ダイシングフレームを使用しないため、従来と同じ装置でフレームサイズまでワークサイズを拡張することが可能となり、より大きなワークの処理が可能となる。また、大きなワークではチップ取り数が増えるので、チップの低廉化につながるというメリットもある。
【０００７】
しかしながら、ダイシングフレームを使用しない場合、ワークの剛性が低くなることから、剛性の低いワークを保持して搬送することは難しいという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みて成されたものであり、剛性の低いワークを安定且つ確実に保持して搬送可能な搬送装置を備えたワーク加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のワーク加工装置は、本発明の目的を達成するために、裏面にテープが貼り付けられてなるワークが格納される格納部と、ワークが一旦載置される載置部と、ワークを加工する加工部と、ワークを洗浄する洗浄部と、格納部と載置部と加工部と洗浄部との間のそれぞれの搬送経路に沿ってワークを搬送する搬送装置と、を備え、搬送装置は、ワークを保持し、ワークを載置部に載置し、収納可能な保持装置を少なくとも有し、保持装置は、ワークの表面に当接可能なパッドと、パッドの周囲を除くパッドの中央部に固定され、パッドを支持するパッド支持体と、パッドとワークとの間に負圧を作用させる負圧発生部と、を含む。
【００１０】
本発明の一形態は、搬送装置は、第１搬送装置と第２搬送装置とを有し、保持装置は、第１保持装置と第２保持装置と第３保持装置とを有し、第１保持装置は、第１搬送装置に搭載されて、格納部と載置部との間の搬送経路でワークを保持し、第２保持装置は、第１搬送装置に搭載されて、載置部と加工部との間の搬送経路、及び洗浄部と載置部との間の搬送経路でワークを保持し、第３保持装置は、第２搬送装置に搭載されて、加工部と洗浄部との間の搬送経路でワークを保持することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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