特許ウォッチ

公開番号2024129693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-27
出願番号2023039049
出願日2023-03-13
発明の名称測定装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01B 5/00 20060101AFI20240919BHJP(測定;試験)
要約【課題】環境温度の変化に起因する校正器の熱膨張の影響を校正の結果に反映させることが可能な測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置(1)は、測定対象物の表面の測定を行うための触針が設けられており、測定対象物の表面の形状に応じて揺動中心の周りに揺動可能に取り付けられた触針部を含む検出器を備える測定装置であって、測定装置内の相対温度を測定する温度センサ(80、82)と、温度センサにより測定した相対温度と測定装置の環境温度との間の差分データを保持する差分データ保持部(108)と、温度センサにより測定した測定装置の校正時の相対温度と差分データとに基づいて、校正時の環境温度を演算し、環境温度に基づいて測定の結果を補正する温度補正部(102)とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象物の表面の測定を行うための触針が設けられており、前記測定対象物の表面の形状に応じて揺動中心の周りに揺動可能に取り付けられた触針部を含む検出器を備える測定装置であって、
前記測定装置内の相対温度を測定する温度センサと、
前記温度センサにより測定した相対温度と前記測定装置の環境温度との間の差分データを保持する差分データ保持部と、
前記温度センサにより測定した前記測定装置の校正時の相対温度と前記差分データとに基づいて、前記校正時の環境温度を演算し、前記環境温度に基づいて前記測定の結果を補正する温度補正部と、
を備える測定装置。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
前記温度センサは、前記触針部又は前記検出器の位置を測定するためのスケールの相対温度を検出する温度センサを含む、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記温度センサは、前記測定装置における熱の発生源又は吸収源の相対温度を検出する温度センサを含む、請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記温度センサは、前記測定装置における熱の発生源又は吸収源の相対温度を検出する温度センサと、前記測定装置における熱の発生源又は吸収源以外の相対温度を検出する温度センサとを含む、請求項１又は３に記載の測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は測定装置に係り、特に測定対象物の表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定するための測定装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
測定対象物の表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定するための測定装置が知られている。例えば、特許文献１には、測定アームの先端に突設されたスタイラスを測定対象物の測定対象面に当接させて走査し、スタイラスの微小上下動を検出することにより、測定対象物の測定対象面の表面性状を測定する表面性状測定装置が開示されている。特許文献１に記載の表面性状測定装置では、測定アームが回転軸を支点として上下方向に揺動（円弧運動）可能に支持されている。そして、測定アームが揺動する方向に沿うスケール目盛りを有するスケールを用いて、測定アームの揺動による回転角を検出するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－００３４３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような測定装置では、測定対象物の測定を行う際に、寸法が既知の校正器を用いて、測定装置の精度を確認するための校正が行われる。この校正の際に環境温度が変化すると、校正器の寸法が熱膨張により変化してしまう。
【０００５】
このような校正器の熱膨張を校正の結果に反映させるためには、校正時に校正器の温度を測定して、校正器の熱膨張の量を演算して校正の結果を補正することが考えられる。しかしながら、校正器は測定対象物の設置を妨げないよう、別体として付属されるユニットであるため、温度検出手段を接続することが難しい。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、環境温度の変化に起因する校正器の熱膨張の影響を校正の結果に反映させることが可能な測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係る測定装置は、測定対象物の表面の測定を行うための触針が設けられており、測定対象物の表面の形状に応じて揺動中心の周りに揺動可能に取り付けられた触針部を含む検出器を備える測定装置であって、測定装置内の相対温度を測定する温度センサと、温度センサにより測定した相対温度と測定装置の環境温度との間の差分データを保持する差分データ保持部と、温度センサにより測定した測定装置の校正時の相対温度と差分データとに基づいて、校正時の環境温度を演算し、環境温度に基づいて測定の結果を補正する温度補正部とを備える。
【０００８】
本発明の第２の態様に係る測定装置は、第１の態様において、温度センサは、触針部又は検出器の位置を測定するためのスケールの相対温度を検出する温度センサを含む。
【０００９】
本発明の第３の態様に係る測定装置は、第１又は第２の態様において、温度センサは、測定装置における熱の発生源又は吸収源の相対温度を検出する温度センサを含む。
【００１０】
本発明の第４の態様に係る測定装置は、第１から第３の態様のいずれかにおいて、温度センサは、測定装置における熱の発生源又は吸収源の相対温度を検出する温度センサと、測定装置における熱の発生源又は吸収源以外の相対温度を検出する温度センサとを含む。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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