特許ウォッチ

公開番号2024129892
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039263
出願日2023-03-14
発明の名称三次元座標測定装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01B 5/00 20060101AFI20240920BHJP(測定;試験)
要約【課題】キャリッジカバーの内部の熱の影響を抑止し、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供する。
【解決手段】三次元座標測定装置は、定盤10と、定盤10を跨いで定盤のY軸方向に移動自在な門型のYキャリッジ14とを備え、Yキャリッジ14を構成する右Yキャリッジ16には、エアパッド群60とY駆動部80とを覆う右Yキャリッジカバー17が設けられる。第1Yキャリッジカバーは、Z軸方向の最も高い位置を画定し、右Yキャリッジカバー17の一部形状を構成するトラス形状17TRを有し、トラス形状17TRに近接した位置には排気口17Hが設けられる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象物を載置する定盤と、
前記定盤を跨いで前記定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により前記定盤に支持されるＹキャリッジと、
を備え、
前記二つの支柱部材のうち一方の第１支柱部材は、前記Ｙキャリッジの前記Ｙ軸方向への移動を可能にする第１エアパッドと第１駆動部とを有し、
前記第１支柱部材には、前記第１エアパッドと前記第１駆動部とを覆う第１Ｙキャリッジカバーが設けられ、
前記第１Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、前記第１Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第１トラス形状を有し、前記第１トラス形状に近接した位置には第１排気口が設けられる、三次元座標測定装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記Ｙキャリッジに設けられ、前記二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に沿って延在するＸガイドと、
前記Ｘガイドに沿って前記Ｘ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、
を備え、
前記Ｘキャリッジは、前記Ｘ軸方向への移動を可能にする第２エアパッドと第２駆動部とを有し、
前記二つの支柱部材の間には、前記第２エアパッドと前記第２駆動部と前記Ｘガイドとを覆うＸガイドカバーが設けられ、
前記Ｘガイドカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、前記Ｘガイドカバーの一部形状を構成する第２トラス形状を有し、前記第２トラス形状に近接した位置には第２排気口が設けられる、請求項１に記載の三次元座標測定装置。
【請求項３】
前記Ｘキャリッジに設けられたＺキャリッジと、
前記Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動可能であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、
を備え、
前記Ｚキャリッジは、前記Ｚガイドの前記Ｚ軸方向への移動を可能にする第３エアパッドと第３駆動部とを有し、
前記第３エアパッドと前記第３駆動部と覆うＺキャリッジカバーが設けられ、
前記Ｚキャリッジカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｚキャリッジカバーの一部形状を構成する第３トラス形状を有し、前記第３トラス形状に近接した位置に第３排気口が設けられる、請求項２に記載の三次元座標測定装置。
【請求項４】
前記第１トラス形状は、前記Ｙ軸方向から見た場合に前記定盤の中央側とは反対側に位置する、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。
【請求項５】
前記第１Ｙキャリッジカバーの上面部は蛇腹カバーにより構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。
【請求項６】
前記二つの支柱部材のうち他方の第２支柱部材は、第４エアパッドを有し、
前記第２支柱部材には、前記第４エアパッドを覆う第２Ｙキャリッジカバーが設けられ、
前記第２Ｙキャリッジカバーは、前記Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、第２Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第４トラス形状を有し、前記第４トラス形状に近接した位置に第４排気口が設けられる、請求項１から３のいずれか一項に記載の三次元座標測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は三次元座標測定装置に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に測定プローブを移動させて測定対象物の三次元形状を測定する三次元座標測定装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的な三次元座標測定装置では、測定対象物を載置する定盤の上部に前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在の門型のＹキャリッジが配置される。Ｙキャリッジは、左右方向（Ｘ軸方向）に沿って架け渡された柱状のＸガイドを有し、ＸガイドにはＸキャリッジがＸ軸方向に移動自在に支持される。Ｘキャリッジには、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った柱状のＺガイドがＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚガイドの下端には測定プローブが取り付けられる。
【０００３】
特許文献１に記載の三次元座標測定装置は、Ｙキャリッジを構成する１つの支柱部材を複数のエアパッド（エアベアリング）を介して定盤に支持し、モータとローラとを備える駆動部によりＹキャリッジをＹ軸方向に移動させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－１３４０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、エアパッドは数μｍという非常に小さな浮上量で浮上させて使用する。そのためわずかな埃やごみでも挟み込むと不具合に繋がってしまう。また、生産効率向上のため、精密測定機も環境の良い測定室から、ラインサイドでの測定を要求されるようになってきている。このような状況下、測定精度を維持するため、三次元座標測定装置では、エアパッド及び駆動部をカバーで覆っている。
【０００６】
しかしながら、カバーで覆うことで、カバーの内部に熱が滞留してしまい、三次元座標測定装置の測定精度が悪化する懸念があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、カバーの内部の熱の影響を抑止し、測定精度の向上を図ることができる三次元座標測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１態様に係る三次元座標測定装置は、測定対象物を載置する定盤と、定盤を跨いで定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、を備え、二つの支柱部材のうち一方の第１支柱部材は、ＹキャリッジのＹ軸方向への移動を可能にする第１エアパッドと第１駆動部とを有し、第１支柱部材には、第１エアパッドと第１駆動部とを覆う第１Ｙキャリッジカバーが設けられ、第１Ｙキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、第１Ｙキャリッジカバーの一部形状を構成する第１トラス形状を有し、第１トラス形状に近接した位置には第１排気口が設けられる。
【０００９】
第２態様に係る三次元座標測定装置において、Ｙキャリッジに設けられ、二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に沿って延在するＸガイドと、Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、を備え、Ｘキャリッジは、Ｘ軸方向への移動を可能にする第２エアパッドと第２駆動部とを有し、二つの支柱部材の間には、第２エアパッドと第２駆動部とＸガイドとを覆うＸガイドカバーが設けられ、Ｘガイドカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｘガイドカバーの一部形状を構成する第２トラス形状を有し、第２トラス形状に近接した位置には第２排気口が設けられる。
【００１０】
第３態様に係る三次元座標測定装置において、Ｘキャリッジに設けられたＺキャリッジと、Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動可能であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、を備え、Ｚキャリッジは、ＺガイドのＺ軸方向への移動を可能にする第３エアパッドと第３駆動部とを有し、第３エアパッドと第３駆動部と覆うＺキャリッジカバーが設けられ、Ｚキャリッジカバーは、Ｚ軸方向の最も高い位置を画定し、Ｚキャリッジカバーの一部形状を構成する第３トラス形状を有し、第３トラス形状に近接した位置に第３排気口が設けられる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許