特許ウォッチ

公開番号2024125398
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-18
出願番号2024106216,2023046979
出願日2024-07-01,2016-02-26
発明の名称搬送ユニット
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20240910BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】プローバの測定部に搬送物を搬送する搬送ユニットにおいて、スループットを向上させることができる搬送ユニットを提供する。
【解決手段】プローバ10において、測定部14に搬送物(プローブカードPC)を搬送する搬送ユニット16は、内部に搬送物を収納する筐体(カードカセット)16aと、筐体内の環境が測定部14の温度及び湿度に近づくように、筐体内の温度及び湿度を制御する環境制御手段16dと、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
プローバの測定部に搬送物を搬送する搬送ユニットであって、
内部に搬送物を収納する筐体と、
前記筐体内の環境が前記測定部の温度及び湿度に近づくように、前記筐体内の温度及び湿度を制御する環境制御手段と、
を備える搬送ユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体素子（チップ）の電気的特性の検査を行うプローバに関し、特に、搬送物収納部と複数の測定部との間で移動して搬送物を搬送物収納部又は各測定部に搬送する搬送ユニット及び搬送ユニットを備えたプローバに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数の搬送物を収納する搬送物収納部（複数のウエハを収納するカセットストック部）と、複数の測定部（ウエハ検査部）と、搬送物収納部と各測定部との間で移動して搬送物を搬送物収納部又は各測定部に搬送する搬送ユニット（自走車台）と、を備えたプローバ（ウエハ検査装置）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のプローバによれば、例えば、Ｎ個の測定部を用いる場合、１個の測定部を用いる場合と比べ、検査時間を１／Ｎに短縮できる。
【０００３】
また、従来、プローバにおいては、ウエハの高温時（又は低温時）における電気的特性の検査（高温検査又は低温検査）が実施されている。この検査は、通常、搬送アームによってカセットからウエハをウエハチャックに搬送し、ウエハチャック上でウエハを検査温度に加熱（又は冷却）して電気的特性の検査を実施し、検査終了後、ウエハチャック上でウエハを冷却（又は加熱）し、温度が常温になってから搬送アームによってウエハをカセットへ戻すという手順で実施される。
【０００４】
また従来、搬送物（プローブカード）を収納する筐体（カードカセット）であって、搬送物が出入りする開口が形成された筐体とこの開口を閉塞して筐体内を密閉又は略密閉空間とする開閉可能な物理的な扉とを備え、搬送物の受渡先（プローバ）まで移動して物理的な扉を開き、前記開口を介して搬送物の受渡先との間で搬送物を受け渡す搬送ユニット（カード搬送台車）を備えたプローバ（ウエハプロービングシステム）が提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載のウエハプロービングシステムにおいては、搬送ユニットを搬送物の受け渡し先まで移動させた後、筐体内に乾燥空気が供給され、その後、物理的な扉が開かれ、前記開口を介して搬送物が搬送物の受渡先に受け渡される。
【０００５】
また、従来、プローバにおいては、搬送物（ウエハ）が出入りする開口を閉塞する開閉可能な物理的な扉と、この扉に設けられ、この扉が開いたときに前記開口の下方を通過する搬送物に対して熱風を吹き付ける熱風吹き付け装置と、を備えたプローバが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平５－３４３４９７号公報
特開２００７－２９４６６５号公報
特開平１０－２８９９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のプローバにおいては、各測定部で高温検査又は低温検査を実施すると、搬送物収納部の環境（通常、常温環境）と各測定部の環境（高温環境又は低温環境）とが相違することに起因して次の課題を生ずる。
【０００８】
例えば、高温検査を実施する場合、検査開始前に、各測定部で常温状態のウエハやプローブカードを検査温度に近づけるための（プリヒートのための）待機時間が必要となり、各測定部でのスループット（単位時間あたりの処理能力）が低下するという問題がある。特に、ウエハやプローブカードの交換後再び高温検査を実施する場合、ウエハチャックが再び高温となるのに時間を要するため、次の高温検査を実施できるようになるまでさらに待機時間が長くなり、各測定部でのスループットが一層低下する。また、高温検査を実施する場合、検査終了後に、ウエハやプローブカードを交換する場合、各測定部で高温状態のウエハやプローブカードを常温に近づけるための待機時間が必要となり、これによっても各測定部でのスループットが低下するという問題がある。
【０００９】
同様に、低温検査を実施する場合、検査開始前に、各測定部で常温状態のウエハやプローブカードを検査温度に近づけるための待機時間が必要となり、各測定部でのスループットが低下するという問題がある。特に、ウエハやプローブカードの交換後再び低温検査を実施する場合、ウエハチャックが再び低温となるのに時間を要するため、次の低温検査を実施できるようになるまでさらに待機時間が長くなり、各測定部でのスループットが一層低下する。また、低温検査を実施する場合、検査終了後に、各測定部で低温状態のウエハやプローブカードを結露が発生しない温度（通常、常温）に近づけるための待機時間が必要となり、これによっても各測定部でのスループットが低下するという問題がある。
【００１０】
以上のように、特許文献１に記載のプローバにおいては、各測定部で高温検査又は低温検査を実施すると、搬送物収納部の環境（通常、常温環境）と各測定部の環境（高温環境又は低温環境）とが相違することに起因して各測定部内で搬送物を所定温度（例えば、検査温度又は常温）に近づけるための待機時間が長くなり、各測定部でのスループットが低下するという問題があり、これを改善して各測定部でのスループットを向上させることが求められている。
（【００１１】以降は省略されています）

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