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公開番号2024128020
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2024108639,2020103172
出願日2024-07-05,2020-06-15
発明の名称ブレード検出装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B24B 55/06 20060101AFI20240912BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ブレードの状態を正確に検出することができるブレード検出装置を提供する。
【解決手段】ブレード102の側面に対向する投光面36を有する投光部26と、ブレード102を挟んで投光面36に対向する受光面44を有する受光部28と、を有し、投光面36から受光面44に向けて光を投光する検出ユニット12と、切削水及び冷却水の少なくとも一方を洗浄液として投光面36及び受光面44に接触して投光面36及び受光面44を洗浄する洗浄部材70と、投光面36及び受光面44に接触する洗浄位置と洗浄位置から離間した退避位置との間で、検出ユニット12に対して洗浄部材70を相対的に移動させる移動手段(送り機構14)と、を備える
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを加工中のブレード及び前記ワークの少なくとも一方に対して切削水及び冷却水の少なくとも一方を噴射するノズルを備えるダイシング装置に適用されるブレード検出装置であって、
ブレードの側面に対向する投光面を有する投光部と、前記ブレードを挟んで前記投光面に対向する受光面を有する受光部と、を有し、前記投光面から前記受光面に向けて光を投光する検出ユニットと、
前記切削水及び前記冷却水の少なくとも一方を洗浄液として前記投光面及び前記受光面に接触して前記投光面及び前記受光面を洗浄する洗浄部材と、
前記投光面及び前記受光面に接触する洗浄位置と前記洗浄位置から離間した退避位置との間で、前記検出ユニットに対して前記洗浄部材を相対的に移動させる移動手段と、を備える、
ブレード検出装置。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
前記ブレードを収容可能な空間を有する移動ブロックを備え、
前記投光部及び前記受光部は、それぞれ、前記移動ブロックの開口側の２つの対向する先端部に配置されている、請求項１に記載のブレード検出装置。
【請求項３】
前記ブレードを収容可能な空間を有する移動ブロックを備え、
前記洗浄部材は、前記移動ブロックとの間に前記洗浄液を貯めることが可能なロール状に形成される、請求項１又は２に記載のブレード検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はブレード検出装置及びブレード検出装置の洗浄方法に係り、特にダイシング装置のブレードの摩耗又は破損等のブレードの状態を検出するブレード検出装置及びブレード検出装置の洗浄方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置又は電子部品が形成されたワークを個々のチップに分割するダイシング装置は、スピンドルによって高速回転されるブレードと、ワークを吸着保持するテーブルとを備えている。ダイシング装置は、テーブルに吸着保持されたワークに対し、高速回転するブレードによって溝入れ加工又は切断加工を行う。
【０００３】
上記のようなダイシング装置において、例えば、特許文献１に開示されたダイシング装置には、ブレードの摩耗又は破損等の状態を検出するブレード検出装置が搭載されている。
【０００４】
上記のブレード検出装置は、ブレードを覆うホイールカバーに取り付けられており、ブレードに向けて光を投光する投光部と、ブレードを挟んで投光部に対向して設けられ投光部からの光を受光する受光部と、を有する検出ユニットを備えている。また、上記のブレード検出装置は、検出ユニットをブレードの回転中心に向けて移動させる移動手段と、検出ユニットの受光部による受光量の変化に基づいてブレードの状態を検出するとともに、移動手段を制御して検出ユニットをブレードの回転中心に向けて移動させ、移動量を積算してブレードの磨耗量を演算する制御部と、を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－２３１７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のブレード検出装置は、ワークの加工時に発生する切削粉を含んだミスト状の環境下に設置されているため、以下の問題が発生する。
【０００７】
すなわち、上記の検出ユニットのうち、外部に露出されている投光面や受光面に上記の切削粉が付着すると、受光部で受光される受光量が減少する。この場合、ブレード検出装置は、実際の摩耗量よりも少ない摩耗量を検出してしまうので、ブレードの状態（摩耗又は破損）を正確に検出することができない場合がある。
【０００８】
本発明はこのような問題に鑑みて成されたものであり、ブレードの状態を正確に検出することができるブレード検出装置及びブレード検出装置の洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のブレード検出装置は、本発明の目的を達成するために、ブレードの側面に対し離間して配置された投光面を有する投光部と、ブレードを挟んで投光面に対向配置された受光面を有する受光部と、を有し、投光面から受光面に向けて光を投光する検出ユニットと、投光面と受光面とに接触して投光面と受光面とを洗浄する洗浄部材と、洗浄部材が投光面と受光面とから離間した退避位置と、洗浄部材が投光面と受光面とに接触する洗浄位置との間で、検出ユニットと洗浄部材とを相対的に移動させる移動手段と、を備える。
【００１０】
本発明のブレード検出装置の一形態は、弾性変形可能な弾性部材により形成されることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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