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公開番号2024129890
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039261
出願日2023-03-14
発明の名称三次元座標測定機
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01B 5/00 20060101AFI20240920BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定プローブの移動ストローク長を確保しつつ三次元座標測定機の機高を低くすることができる三次元座標測定機を提供する。
【解決手段】定盤10と、Yキャリッジ14と、Xガイド20と、Xガイド20に沿ってX軸方向に移動自在なXキャリッジ24と、Xキャリッジ24に設けられたZキャリッジ26と、Zキャリッジ26に沿ってZ軸方向に移動自在であり、且つ、下端部に測定プローブ30を支持するZガイド28と、を備え、X軸方向から見た場合、Xガイド20は、Zガイド28に対して斜めに傾斜して構成される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象物を載置する定盤と、
前記定盤を跨いで前記定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により前記定盤に支持されるＹキャリッジと、
前記Ｙキャリッジに設けられ、前記二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に延在するＸガイドと、
前記Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、
前記Ｘキャリッジに設けられたＺガイドキャリッジと、
前記Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動自在であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、
を備え、
前記Ｘ軸方向から見た場合、前記Ｘガイドは、前記Ｚガイドに対して斜めに傾斜して構成される、
三次元座標測定機。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記Ｘキャリッジと前記Ｚガイドとの間には、前記Ｚ軸方向の上側に向かうにつれて徐々に拡大する空間部が画定される、
請求項１に記載の三次元座標測定機。
【請求項３】
一端側が前記Ｘキャリッジに連結され、他端側が前記Ｚガイドの上端部に連結され、前記Ｚガイドの移動に伴って湾曲する可撓性部材を備え、
前記Ｚガイドが前記Ｚ軸方向の最下端に移動した場合に、前記可撓性部材の少なくとも一部が前記空間部に配置される、
請求項２に記載の三次元座標測定機。
【請求項４】
前記Ｘガイドと前記Ｘキャリッジとの間に設けられ、前記Ｚキャリッジ側に配置された少なくとも１つのエアパッドを備え、
前記Ｙ軸方向から見た場合、前記エアパッドの少なくも一部が前記Ｚガイドと重なる位置に配置される、
請求項１から３のいずれか１項に記載の三次元座標測定機。
【請求項５】
前記Ｘガイドと前記Ｘキャリッジとの間に設けられ、前記Ｚキャリッジ側に配置された複数のエアパッドを備え、
前記Ｙ軸方向から見た場合、前記複数のエアパッドは、前記Ｘキャリッジの重心から等距離の位置に配置される、
請求項４に記載の三次元座標測定機。
【請求項６】
前記エアパッドは３つである、
請求項５に記載の三次元座標測定機。
【請求項７】
前記Ｚキャリッジの上端部における前記Ｚ軸方向の高さが、前記Ｘガイドの上端よりも低い位置に配置される、
請求項１から３のうちいずれか１項に記載の三次元座標測定機。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元座標測定機に係り、特にＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に測定プローブを移動させて測定対象物の三次元形状を測定する三次元座標測定機に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示された三次元座標測定機は、測定対象物が載置される定盤を有し、定盤の上部には前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在のＹキャリッジが配置される。Ｙキャリッジは、定盤を正面側から見たときの定盤の右側及び左側の各々に上下方向（Ｚ軸方向）に沿って立設される２つの支柱部材（以下、右Ｙキャリッジ、左Ｙキャリッジとも言う。）と、右Ｙキャリッジと左Ｙキャリッジの各々の上端部に架け渡されて左右方向（Ｘ軸方向）に沿って延在する柱状のＸガイドと、を有している。
【０００３】
Ｘガイドには、Ｘ軸方向に移動自在のＸキャリッジが配置される。また、ＸキャリッジにはＺキャリッジが設けられ、Ｚキャリッジには、ＺガイドがＺ軸方向に移動自在に配置される。
【０００４】
Ｚガイドの下端には測定対象物の位置を検知する測定プローブが取り付けられ、更に、測定プローブの先端には接触子を備えたスタイラスが取り付けられる。測定プローブは測定対象物に接触子が接触したときに電気信号を発生し、そのときのＸ位置、Ｙ位置、Ｚ位置などをデータ処理装置が取り込むことにより測定対象物の三次元形状を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－１０５６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、三次元座標測定機においては、三次元座標測定機のコンパクト化が望まれている。三次元座標測定機をコンパクト化するための１つ案として、Ｚガイドを収容するＺコラムの高さを低くして三次元座標測定機の機高を低くすることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、この場合、Ｚ軸方向における測定プローブの移動ストローク長が短くなるため、三次元座標測定機において測定可能な測定対象物の大きさ（高さ）が制限されてしまうデメリットがある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、Ｚ軸方向における測定プローブの移動ストローク長を確保しつつ三次元座標測定機の機高を低くすることができる三次元座標測定機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の三次元座標測定機は、本発明の目的を達成するために、測定対象物を載置する定盤と、定盤を跨いで定盤のＹ軸方向に移動自在な門型のＹキャリッジであって、二つの支柱部材により定盤に支持されるＹキャリッジと、Ｙキャリッジに設けられ、二つの支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に延在するＸガイドと、Ｘガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリッジと、Ｘキャリッジに設けられたＺキャリッジと、Ｚキャリッジに沿ってＺ軸方向に移動自在であり、且つ、下端部に測定プローブを支持するＺガイドと、を備え、Ｘ軸方向から見た場合、Ｘガイドは、Ｚガイドに対して斜めに傾斜して構成される。
【００１０】
本発明の一形態によれば、ＸキャリッジとＺガイドとの間には、Ｚ軸方向の上側に向かうにつれて徐々に拡大する空間部が画定されることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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