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公開番号2024125652
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-19
出願番号2023033612
出願日2023-03-06
発明の名称磁気検出装置
出願人ローム株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 33/07 20060101AFI20240911BHJP(測定;試験)
要約【課題】磁気検出素子に対する磁界の影響を低減すること。
【解決手段】磁気検出装置は、基板表面を有する基板20と、基板表面に設けられた磁気検出素子30と、基板表面上において磁気検出素子30から離隔した位置に配置された第1端子81および第2端子82と、基板表面上に形成されており、第1端子81と第2端子82とを電気的に接続する表面配線70と、を備える。表面配線70は、第1端子81から第2端子82に電流が流れることによって磁気検出素子30に対してZ方向に沿う第1方向成分を含む磁界を付与する第1配線部71と、第1端子81から第2端子82に電流が流れることによって磁気検出素子30に対して第1方向成分とは反対方向である第2方向成分を含む磁界を付与する第2配線部72と、を含む。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板表面を有する基板と、
前記基板表面に設けられた磁気検出素子と、
前記基板表面上において前記磁気検出素子から離隔した位置に配置された第１端子および第２端子と、
前記基板表面上に形成されており、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する表面配線と、
を備え、
前記表面配線は、
前記第１端子から前記第２端子に電流が流れることによって前記磁気検出素子に対して前記基板の厚さ方向に沿う第１方向成分を含む磁界を付与する第１配線部と、
前記第１端子から前記第２端子に電流が流れることによって前記磁気検出素子に対して前記第１方向成分とは反対方向である第２方向成分を含む磁界を付与する第２配線部と、
を含む、磁気検出装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第１配線部および前記第２配線部は、前記磁気検出素子の両側に対向配置されている
請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記第１端子および前記第２端子は、前記磁気検出素子に対して第３方向の両側に分散して配置されており、
前記第１配線部および前記第２配線部は、前記基板の厚さ方向から視て、前記磁気検出素子に対して前記第３方向と直交する第４方向の両側に対向配置されている
請求項２に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
前記基板の厚さ方向から視て、前記第１配線部と前記磁気検出素子との前記第４方向の間の距離は、前記第２配線部と前記磁気検出素子との前記第４方向の間の距離と等しい
請求項３に記載の磁気検出装置。
【請求項５】
前記第１配線部の幅寸法と前記第２配線部の幅寸法とは互いに等しい
請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項６】
前記表面配線は、
前記第１端子に電気的に接続された第１接続配線部と、
前記第２端子に電気的に接続された第２接続配線部と、
前記第１接続配線部から分岐して前記第１配線部に接続された第１分岐配線部と、
前記第１接続配線部から分岐して前記第２配線部に接続された第２分岐配線部と、
前記第２接続配線部から分岐して前記第１配線部に接続された第３分岐配線部と、
前記第２接続配線部から分岐して前記第２配線部に接続された第４分岐配線部と、
を含む
請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項７】
前記第１端子から前記表面配線に供給される電流を制御するトランジスタを備え、
前記第１端子と前記第１接続配線部とは、前記トランジスタを介して電気的に接続されている
請求項６に記載の磁気検出装置。
【請求項８】
前記基板の厚さ方向から視て、前記第１配線部、前記第２配線部、前記第１分岐配線部、前記第２分岐配線部、前記第３分岐配線部、および前記第４分岐配線部は、前記磁気検出素子の全周を囲むように形成されている
請求項６に記載の磁気検出装置。
【請求項９】
前記第１分岐配線部の幅寸法と前記第４分岐配線部の幅寸法とは互いに等しい
請求項６に記載の磁気検出装置。
【請求項１０】
前記第２分岐配線部の幅寸法と前記第３分岐配線部の幅寸法とは互いに等しい
請求項６に記載の磁気検出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、磁気検出装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
磁気検出装置の一例として、基板と、基板に設けられた磁気検出素子とを備えた構成が知られている（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１４４０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、磁気検出装置に設けられた配線に電流が流れることに起因して磁界が発生する。この磁界の磁気検出素子に対する影響を低減することが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決する磁気検出装置は、基板表面を有する基板と、前記基板表面に設けられた磁気検出素子と、前記基板表面上において前記磁気検出素子から離隔した位置に配置された第１端子および第２端子と、前記基板表面上に形成されており、前記第１端子と前記第２端子とを電気的に接続する表面配線と、を備え、前記表面配線は、前記第１端子から前記第２端子に電流が流れることによって前記磁気検出素子に対して前記基板の厚さ方向に沿う第１方向成分を含む磁界を付与する第１配線部と、前記第１端子から前記第２端子に電流が流れることによって前記磁気検出素子に対して前記第１方向成分とは反対方向である第２方向成分を含む磁界を付与する第２配線部と、を含む。
【発明の効果】
【０００６】
上記磁気検出装置によれば、磁気検出素子に対する磁界の影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１実施形態の磁気検出装置の概略平面図である。
図２は、図１の磁気検出装置の概略回路図である。
図３は、図１のＦ３－Ｆ３線で磁気検出装置を切断した概略断面図である。
図４は、図１の磁気検出素子、表面配線、第１端子、および第２端子を拡大した平面図である。
図５は、図４のＦ５－Ｆ５線で磁気検出装置を切断した概略断面構造であって、第１配線部および第２配線部の磁界と磁気検出素子との関係を示す断面図である。
図６は、比較例の磁気検出装置の概略平面図である。
図７は、第２実施形態の磁気検出装置の概略平面図である。
図８は、図７の磁気検出素子、表面配線、第１端子、および第２端子を拡大した平面図である。
図９は、図８のＦ９－Ｆ９線で磁気検出装置を切断した概略断面図である。
図１０は、第３実施形態の磁気検出装置の概略平面図である。
図１１は、第４実施形態の磁気検出装置の概略平面図である。
図１２は、図１１のＦ１２－Ｆ１２線で磁気検出装置を切断した概略断面図である。
図１３は、変更例の磁気検出装置について、磁気検出素子、表面配線、第１端子、および第２端子を拡大した平面図である。
図１４は、変更例の磁気検出装置について、磁気検出素子、表面配線、第１端子、および第２端子を拡大した平面図である。
図１５は、変更例の磁気検出装置について、磁気検出素子、表面配線、第１端子、および第２端子を拡大した平面図である。
図１６は、変更例の磁気検出装置の概略平面図である。
図１７は、変更例の磁気検出装置の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本開示における磁気検出装置のいくつかの実施形態について説明する。なお、説明を簡単かつ明確にするため、図面に示される構成要素は、必ずしも一定の縮尺で描かれていない。また、理解を容易にするため、断面図ではハッチング線が省略されている場合がある。添付図面は、本開示の実施形態を例示するに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。
【０００９】
以下の詳細な説明は、本開示の例示的な実施形態を具体化する装置、システム、および方法を含む。この詳細な記載は本来説明のためのものに過ぎず、本開示の実施形態またはこのような実施形態の適用および使用を限定することを意図しない。
【００１０】
以下の説明において、「Ａ部品の幅寸法はＢ部品の幅寸法と等しい」、または「Ａ部品の幅寸法とＢ部品の幅寸法とは互いに等しい」との記載は、Ａ部品の幅寸法とＢ部品の幅寸法との差の絶対値が例えばＡ部品の幅寸法の１０％以内であることを意味する。また、「Ａ部品の長さ寸法はＢ部品の長さ寸法と等しい」、または「Ａ部品の長さ寸法とＢ部品の長さ寸法とは互いに等しい」との記載は、Ａ部品の長さ寸法とＢ部品の長さ寸法との差の絶対値が例えばＡ部品の長さ寸法の１０％以内であることを意味する。また、「距離Ａは距離Ｂと等しい」、または「距離Ａと距離Ｂとは互いに等しい」との記載は、距離Ａと距離Ｂとの差の絶対値が例えば距離Ａの１０％以内であることを意味する。
（【００１１】以降は省略されています）

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