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公開番号
2024122295
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-09-09
出願番号
2023029759
出願日
2023-02-28
発明の名称
センサ
出願人
株式会社東芝
代理人
弁理士法人iX
主分類
G01C
19/5684 20120101AFI20240902BHJP(測定;試験)
要約
【課題】精度の向上が可能なセンサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、固定部材、可動部材、第1、第2対向電極、第1、第2抵抗素子、及び、制御装置を含む。可動部材は、固定部材に支持される。可動部材は、第1、第2電極を含む。第1電極から固定部材への第1方向は、第2電極から固定部材への第2方向と交差する。第1対向電極は、第1電極と対向する。第2対向電極は、第2電極と対向する。制御装置は、可動部材が外力を受けないときの補正動作を実施することが可能である。補正動作において、制御部は、可動部材を振動させる。可動部材の振動は、第1方向の第1成分と、第2方向の第2成分と、を含む。補正動作において、制御部は、第1成分の第1検出結果、及び、第2成分の第2検出結果に基づいて、第1補正値及び第2補正値の少なくともいずれかを導出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
固定部材と、
前記固定部材に支持された可動部材であって、前記可動部材は、第1電極及び第2電極を含み、前記固定部材から前記第1電極への第1方向は、前記固定部材から前記第2電極への第2方向と交差する、前記可動部材と、
前記第1電極と対向する第1対向電極であって、前記固定部材に対する前記第1対向電極の位置は固定され、前記第1対向電極及び前記第1電極は、第1櫛歯電極対となる、前記第1対向電極と、
前記第2電極と対向する第2対向電極であって、前記固定部材に対する前記第2対向電極の位置は固定され、前記第2対向電極及び前記第2電極は、第2櫛歯電極対となる、前記第2対向電極と、
第1端部及び第1他端部を含む第1抵抗素子であって、前記第1他端部は前記第1対向電極と電気的に接続され、前記第1抵抗素子は、第1抵抗値を有し、前記第1抵抗素子と、
第2端部及び第2他端部を含む第2抵抗素子であって、前記第2他端部は前記第2対向電極と電気的に接続され、前記第2抵抗素子は、第2抵抗値を有し、前記第2抵抗素子と、
制御部を含む制御装置と、
を備え、
前記制御部は、前記第1端部に第1電圧を印加可能であり、前記第2端部に第2電圧を印加可能であり、
前記制御部は、前記可動部材が外力を受けないときの第1補正動作を実施することが可能であり、
前記第1補正動作において、前記制御部は、前記可動部材に第1振動を生じさせ、前記第1振動は、前記第1方向の第1成分と、前記第2方向の第2成分と、を含み、
前記第1補正動作において、前記制御部は、前記第1成分の第1検出結果、及び、前記第2成分の第2検出結果に基づいて第1補正値を導出可能であり、
前記第1補正値は、前記可動部材が前記第1方向に沿って振動するような、前記第1抵抗値の第1抵抗補正値、前記第2抵抗値の第2抵抗補正値、前記第1電圧の第1電圧補正値、及び、前記第2電圧の第2電圧補正値の少なくともいずれかを含む、センサ。
続きを表示(約 2,400 文字)
【請求項2】
前記第1補正値は、前記第1振動の方向と前記第1方向との間の第1角度を含む、請求項1記載のセンサ。
【請求項3】
前記第1抵抗補正値、前記第2抵抗補正値、前記第1電圧補正値、及び、前記第2抵抗補正値の前記少なくともいずれかによる振動の方向と、前記第1方向と、の間の角度の第1絶対値は、第1しきい値以下である、請求項2に記載のセンサ。
【請求項4】
第1対向導電部と、
第2対向導電部と、
をさらに備え、
前記可動部材は、第1導電部及び第2導電部をさらに含み、
前記第1対向導電部は、前記第1導電部と対向し、
前記固定部材に対する前記第1対向導電部の位置は固定され、
前記第2対向導電部は、前記第2導電部と対向し、
前記固定部材に対する前記第2対向導電部の位置は固定され、
前記固定部材から前記第1導電部への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向と交差し、
前記固定部材から前記第2導電部への第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向と交差し、前記第3方向と交差し、
前記第3方向及び前記第4方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面に沿う、請求項3に記載のセンサ。
【請求項5】
前記制御部は、前記第1対向導電部に第1対向導電部電圧を印加可能であり、前記第2対向導電部に第2対向導電部電圧を印加可能であり、
前記制御部は、前記可動部材が前記外力を受けないときの第2補正動作をさらに実施することが可能であり、
前記第2補正動作において、前記制御部は、前記可動部材に第2振動を生じさせ、前記第2振動は、前記第3方向の第3成分と、前記第4方向の第4成分と、を含み、
前記第2補正動作において、前記制御部は、前記第3成分の第3方向検出結果、及び、前記第4成分の第4方向検出結果に基づいて第2補正値を導出可能であり、
前記第2補正値は、前記可動部材が前記第3方向に沿って振動するような、前記第1対向導電部電圧の第1対向導電部電圧補正値、及び、前記第2対向導電部電圧の第2対向導電部電圧補正値の少なくともいずれかを含む、請求項4に記載のセンサ。
【請求項6】
前記制御部は、共振周波数補正動作を実施可能であり、
前記共振周波数補正動作において、前記制御部は、前記第3成分の第3共振周波数と、前記第4成分の第4共振周波数と、の差の第2絶対値が小さくなるように、前記第1対向導電部電圧、及び、前記第2対向導電部電圧の少なくともいずれかを調整可能である、請求項5に記載のセンサ。
【請求項7】
前記制御部は、前記第1対向導電部に第1対向導電部電圧を印加可能であり、及び、前記第2対向導電部に第2対向導電部電圧を印加可能であり、
前記第1補正値は、前記可動部材が前記第1方向に沿って振動するような、前記第1対向導電部電圧の第1対向導電部電圧補正値、及び、前記第2対向導電部電圧の第2対向導電部電圧補正値の少なくともいずれかをさらに含む、請求項4に記載のセンサ。
【請求項8】
第1対向導電部電圧補正値、及び、前記第2対向導電部電圧の前記少なくともいずれかによる振動の方向と、前記第1方向と、の間の前記角度の絶対値は、前記第1しきい値よりも小さい、請求項7に記載のセンサ。
【請求項9】
前記制御部は、検出動作をさらに実施可能であり、
前記検出動作において、前記制御部は、前記第1電極と前記第1対向電極との間に第1交流電圧を印加し、前記第2電極と前記第2対向電極との間に第2交流電圧を印加して、前記可動部材を振動させ、
前記制御部は、前記検出動作において、前記可動部材が前記外力を受けたときの前記第1成分及び前記第2成分の変化に基づいて、前記外力を検出する、請求項1~8のいずれか1つに記載のセンサ。
【請求項10】
固定部材と、
前記固定部材に支持された可動部材であって、前記可動部材は、第1導電部及び第2導電部を含み、前記固定部材から前記第1導電部への第3方向は、前記固定部材から前記第2導電部への第4方向と交差する、前記可動部材と、
前記第1導電部と対向する第1対向導電部であって、前記固定部材に対する前記第1対向導電部の位置は固定され、前記第1対向導電部及び前記第1導電部は、第1平行平板電極対となる、前記第1対向導電部と、
前記第2導電部と対向する第2対向導電部であって、前記固定部材に対する前記第2対向導電部の位置は固定され、前記第2対向導電部及び前記第2導電部は、第2平行平板電極対となる、前記第2対向導電部と、
制御部を含む制御装置と、
を備え、
前記制御部は、前記第1対向導電部に第1対向導電部電圧を印加可能であり、前記第2対向導電部に第2対向導電部電圧を印加可能であり、
前記制御部は、前記可動部材が外力を受けないときの第2補正動作を実施することが可能であり、
前記第2補正動作において、前記制御部は、前記可動部材に第2振動を生じさせ、前記第2振動は、前記第3方向の第3方向成分と、前記第4方向の第4方向成分と、を含み、
前記第2補正動作において、前記制御部は、前記第3方向成分の第3方向検出結果、及び、前記第4方向成分の第4方向検出結果に基づいて第2補正値を導出可能であり、
前記第2補正値は、前記可動部材が前記第3方向に沿って振動するような、前記第1対向導電部電圧の第1対向導電部電圧補正値、及び、前記第2対向導電部電圧の第2対向導電部電圧補正値の少なくともいずれかを含む、センサ。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、センサに関する。
続きを表示(約 1,700 文字)
【背景技術】
【0002】
例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)構造のセンサがある。センサにおいて、精度の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2020-187018号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、精度の向上が可能なセンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態によれば、センサは、固定部材、可動部材、第1対向電極、第2対向電極、第1抵抗素子、第2抵抗素子、及び、制御装置を含む。前記可動部材は、前記固定部材に支持される。前記可動部材は、第1電極及び第2電極を含む。前記固定部材から前記第1電極への第1方向は、前記固定部材から前記第2電極への第2方向と交差する。前記第1対向電極は、前記第1電極と対向する。前記固定部材に対する前記第1対向電極の位置は固定される。前記第1対向電極及び前記第1電極は、第1櫛歯電極対となる。前記第2対向電極は、前記第2電極と対向する。前記固定部材に対する前記第2対向電極の位置は固定される。前記第2対向電極及び前記第2電極は、第2櫛歯電極対となる。前記第1対向素子は、第1端部及び第1他端部を含む。前記第1他端部は前記第1対向電極と電気的に接続される。前記第1抵抗素子は、第1抵抗値を有する。前記第2抵抗素子は、第2端部及び第2他端部を含む。前記第2他端部は前記第2対向電極と電気的に接続される。前記第2抵抗素子は、第2抵抗値を有する。前記制御装置は、制御部を含む。前記制御部は、前記第1端部に第1電圧を印加可能であり、前記第2端部に第2電圧を印加可能である。前記制御部は、前記可動部材が外力を受けないときの第1補正動作を実施することが可能である。前記第1補正動作において、前記制御部は、前記可動部材に第1振動を生じさせる。前記第1振動は、前記第1方向の第1成分と、前記第2方向の第2成分と、を含む。前記第1補正動作において、前記制御部は、前記第1成分の第1検出結果、及び、前記第2成分の第2検出結果に基づいて第1補正値を導出可能である。前記第1補正値は、前記可動部材が前記第1方向に沿って振動するような、前記第1抵抗値の第1抵抗補正値、前記第2抵抗値の第2抵抗補正値、前記第1電圧の第1電圧補正値、及び、前記第2電圧の第2電圧補正値の少なくともいずれかを含む。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
(第1実施形態)
図1は、実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図2は、実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図1に示すように、実施形態に係るセンサ110は、固定部材10F、可動部材10、第1対向電極21E、第2対向電極22E、第1抵抗素子R1、第2抵抗素子R2及び制御装置70を含む。
【0008】
図2に示すように、固定部材10Fは、例えば、基体10sに固定される。可動部材10は、固定部材10Fに支持される。この例では、センサ110は、支持部材10Sを含む。支持部材10Sは、変形可能である。支持部材10Sの一部(例えば端)は、固定部材10Fに支持される。支持部材10Sの別の一部(例えば別の端)は、可動部材10を支持する。支持部材10Sは、例えば、ばね機構である。
【0009】
図2に示すように、基体10sから固定部材10Fへの方向をZ軸方向とする。基体10sと可動部材10との間に空隙G1が設けられる。
【0010】
Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
(【0011】以降は省略されています)
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