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公開番号2024131204
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023041321
出願日2023-03-15
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240920BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持面における均熱性と絶縁性能の両方を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】保持面11と、下面12と、保持面11と下面12の間に配置されたチャック電極50とを備える板状部材10と、チャック電極50に接続され、下面12からZ軸方向に延びる給電端子62と、上面21と、下面22と、上面21と下面22を貫通し、Z軸方向で内部に給電端子62が配置される貫通孔25とを備え、板状部材10の下面側12に配置されるベース部材20と、貫通孔25に配置される環状の絶縁部材30と、を有し、板状部材10の保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、絶縁部材30は、Z軸方向視で内部に給電端子62が配置されるように貫通孔25に配置される筒状部31と、下面12側にて筒状部31から径方向外側へ拡がるように設けられた鍔部32とを備えており、ベース部材20に一体化されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置された内部電極とを備える板状部材と、
前記内部電極に接続され、前記第２の面から前記厚み方向に延びる端子と、
第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、前記第３の面と前記第４の面を貫通し、前記厚み方向で内部に前記端子が配置される貫通孔とを備え、前記板状部材の前記第２の面側に配置されるベース部材と、
前記貫通孔に配置される環状の絶縁部材と、を有し、
前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記絶縁部材は、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置されるように前記貫通孔に配置される筒状部と、前記第２の面側にて前記筒状部から径方向外側へ拡がるように設けられた鍔部とを備えており、前記ベース部材に一体化されている
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記筒状部は、前記貫通孔の内周面全域に配置されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１に記載する保持装置において、
前記第４の面側から延びて、前記筒状部と重なり合うように前記絶縁部材の内側に配置される別の絶縁部材をさらに備える
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つの保持装置において、
前記絶縁部材は、炭化ケイ素又は窒化アルミニウムにより形成されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つの保持装置において、
前記鍔部と前記ベース部材とが接触する領域には、接着剤が充填されている
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
保持装置として、例えば、特許文献１に記載された静電チャックが知られている。この静電チャックは、載置面（保持面）に対象物を保持する誘電層（板状部材）と、誘電層に接合された金属製の冷却ベース部（ベース部材）とを備えており、誘電層の内部に、チャック電極などの内部電極が配置されている。そして、内部電極へ給電するために、柱状の給電用端子を備えている。
【０００３】
この給電用端子は、冷却ベース部に形成された貫通孔内に配置されている。そして、給電用端子と冷却ベース部との間の絶縁性を確保するため、冷却ベース部の貫通孔内には、給電用端子と貫通孔の表面との間に介在するように給電用端子を連続的に取り囲む碍子（絶縁部材）が配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－１２４３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の静電チャックでは、給電用端子が配置される貫通孔の直上付近の載置面（保持面）において、誘電体から冷却ベース部への熱移動が制限される（熱伝導が悪くなる）ので他の部分と比べて温度差が生じやすいため、温度特異点が発生しやすい。そのため、載置面（保持面）における均熱性が悪化するおそれがある。
【０００６】
そして、温度特異点の発生を抑制するために、冷却ベース部に形成する貫通孔が小径化される傾向にあるとともに、近年、静電チャックに対して高電圧が印加されることが増えている。そのため、絶縁距離が不十分となって絶縁性が低下して、絶縁破壊が生じるおそれがあり、より高い絶縁性能が要求されている。
【０００７】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持面における均熱性と絶縁性能の両方を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置された内部電極とを備える板状部材と、
前記内部電極に接続され、前記第２の面から前記厚み方向に延びる端子と、
第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、前記第３の面と前記第４の面を貫通し、前記厚み方向で内部に前記端子が配置される貫通孔とを備え、前記板状部材の前記第２の面側に配置されるベース部材と、
前記貫通孔に配置される環状の絶縁部材と、を有し、
前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記絶縁部材は、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置されるように前記貫通孔に配置される筒状部と、前記第２の面側にて前記筒状部から径方向外側へ拡がるように設けられた鍔部とを備えており、前記ベース部材に一体化されていることを特徴とする。
【０００９】
この保持装置では、厚み方向視で内部に端子が配置される絶縁部材を、ベース部材に一体化しているため、貫通孔の大きさ（直径）を小さくすることができる。そのため、第１の面にて温度特異点になりやすい、端子が配置される貫通孔の直上付近において、温度特異点になりやすい領域を減少させることができるので、第１の面における均熱性を向上させることができる。
【００１０】
また、この保持装置では、絶縁部材に鍔部を設けているため、ベース部材の第３の面において、端子とベース部材の間における沿面距離が長くなる。これにより、貫通孔の大きさ（直径）をさらに小さくするとともに、筒状部の厚みを薄くしても、端子とベース部材の間における絶縁を確保することができる。その結果、貫通孔を形成するために必要となるベース部材の体積減少を最小限に抑えることができるため、貫通孔の直上付近における第１の面において、温度特異点になりやすい領域をさらに減少させることができ、第１の面における均熱性をより向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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