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公開番号2025066175
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-22
出願番号2025016558,2020105257
出願日2025-02-04,2020-06-18
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250415BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】絶縁性を向上させるとともに、吸着力の低下を防止することができる保持装置を
提供すること。
【解決手段】吸着面51と、Z軸方向にて吸着面51とは反対側に設けられる下面52と
を備えるセラミックス部材41と、セラミックス部材41の内部に設けられた電極のうち
最も吸着面51側に位置するチャック電極53と、Z軸方向に延びるチャック電極53と
接続されたビア81とを備え、セラミックス部材41の吸着面51上にウエハWを保持す
る静電チャック10において、吸着面51に、複数の凸部72が形成されており、ビア8
1は、Z軸方向視で、凸部72と重なるように配置されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、第１の方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える
板状部材と、前記板状部材の内部に設けられた電極のうち最も前記第１の面側に位置する
内部電極と、前記第１の方向に延びる前記内部電極と接続された導通部材とを備え、前記
板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記第１の面に、複数の凸部が形成されており、
前記導通部材は、前記第１の方向から見たときに、前記凸部と重なるように配置されて
いる
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記導通部材は、前記内部電極に接続された複数のビアである
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項２に記載する保持装置において、
前記導通部材は、前記内部電極に接続された全てのビアである
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載する保持装置において、
前記内部電極は、前記第１の面側に盛り上がった突出部を備え、
前記突出部は、前記第１の方向から見たときに、前記複数のビアと重なる
ことを特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項３に記載する保持装置において、
前記全てのビアの各々が、前記凸部と１対１で重なるように配置されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項６】
請求項２から請求項４に記載するいずれか１つの保持装置において、
前記複数のビアと、
前記複数のビアに接続される接続パッドと、
前記接続パッドに接続され、前記第２の面側に配置される複数の第２ビアとを備え、
前記複数のビアと前記複数の第２ビアとは、前記第１の方向から見たときに、重ならな
いように前記第１の方向と直交する第２の方向にずらされて配置される
ことを特徴とする保持装置。
【請求項７】
請求項６に記載する保持装置において、
前記複数の第２ビアは、前記第１の方向から見たときに、前記凸部に重なるように配置
されている
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
保持装置として、例えば特許文献１に、吸着面に複数の凸部が形成され、吸着用電極や
ヒータ電極などの内部電極を備える静電チャックが開示されている。そして、この静電チ
ャックでは、給電端子を介して外部から電力が供給される端子パッドが、ビアや中間導体
層を介して内部電極に接続されている。これにより、給電端子、端子パッド、ビア及び中
間導体層を介して、外部電源から内部電極に電力が供給されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－２２８３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の静電チャックでは、吸着面に複数の凸部を形成するために、研磨
やブラスト等の表面加工が行われるので、内部電極と吸着面との間の絶縁層の厚さが部分
的に小さくなり、その厚さが小さくなった部分において、絶縁破壊が生じるおそれがある
。特に、内部電極にビアが接続される部位では、ビアが内部電極を突き上げ、内部電極が
吸着面側に盛り上がるため、絶縁層の厚さが更に小さくなるので、絶縁破壊がより生じや
すくなる。
【０００５】
ここで、吸着面側の絶縁層の厚さを大きくすれば、絶縁性が向上するため絶縁破壊の発
生を防止することができる。ところが、吸着面側の絶縁層の厚さを大きくすると、内部電
極がチャック電極である場合には、チャック電極と対象物との間の距離が長くなるため、
対象物を保持するための吸着力が低下してしまう。
【０００６】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、絶縁性を向上
させるとともに、吸着力の低下を防止することができる保持装置を提供することを目的と
する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、第１の方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える
板状部材と、前記板状部材の内部に設けられた電極のうち最も前記第１の面側に位置する
内部電極と、前記第１の方向に延びる前記内部電極と接続された導通部材とを備え、前記
板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記第１の面に、複数の凸部が形成されており、
前記導通部材は、前記第１の方向から見たときに、前記凸部と重なるように配置されて
いることを特徴とする。
【０００８】
この保持装置では、第１の方向から見たときに（上面視で）、導通部材が凸部と重なる
ように配置されている。ここで、「凸部と重なる」には、上面視で、導通部材が凸部内に
完全に含まれる場合の他に、導通部材の一部が凸部に重なっている場合も含まれる。これ
により、絶縁破壊が最も生じやすい、内部電極に接続する導通部材の配置部が、第１の面
に形成された凸部にオーバーラップするように配置される。そのため、凸部を形成するた
めに行われる第１の面に対する表面加工によって、導通部材の配置部における絶縁層の厚
みが低下しない。従って、絶縁性を向上させることができ、絶縁破壊の発生を防止するこ
とができる。また、第１の面側の絶縁層の厚みが増加することもないため、内部電極がチ
ャック電極である場合でも保持装置の吸着力が低下することもない。
【０００９】
上記した保持装置において、
前記導通部材は、前記内部電極に接続された複数のビアであることが好ましい。
【００１０】
ビアの形成方法としては、例えば、グリーンシートに貫通孔を形成し、その貫通孔にビ
アとなるメタライズインクをマスクを介して充填する。ビアは一般的にメタライズインク
を貫通孔に充填するときに、グリーンシートの厚みに対して、マスクの厚み分だけは盛り
上がるように形成するため、ビア配置部に突き上げが生じる（第１の面において局所的に
盛り上がる）。そのため、凸部を形成するために第１の面に対して表面加工を行うと、ビ
ア配置部における絶縁層の厚みが低下するおそれがある。
（【００１１】以降は省略されています）

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