特許ウォッチ

公開番号2024135911
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023046816
出願日2023-03-23
発明の名称ワーク外観検査装置及び方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20240927BHJP(測定;試験)
要約【課題】正確に且つ効率良くワークの外観検査を実施可能なワーク外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】ワーク外観検査装置1は、ワークWを載置するチャックテーブル2と、ワークWの被加工面Waを撮像するカメラ4A、4B、4Cと、チャックテーブル2及びカメラ4A、4B、4Cの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、カメラ4A、4B、4Cの撮像位置4a、4b、4cを平面から視て矩形状に走査する第1のスライド機構23及び第2のスライド機構44と、カメラ4A、4B、4Cが撮像した複数の撮像画像に基づいて、ワークWの良否を判定する判定部52と、を備えている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置であって、
前記ワークを載置するチャックテーブルと、
前記ワークの被加工面を撮像する撮像部と、
前記チャックテーブル及び前記撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部の撮像位置を平面から視て矩形状に走査する駆動機構と、
前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、
を備えていることを特徴とするワーク外観検査装置。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記駆動機構は、前記撮像部の撮像位置が前記被加工面全面を含むように前記撮像部を走査することを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
【請求項３】
前記駆動機構は、
前記チャックテーブルを第１の方向に移動させる第１の駆動機構と、
前記撮像部を前記第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の駆動機構と、
であることを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
【請求項４】
前記ワークは、前記ワークに形成された格子状のダイシングストリートが前記第１の方向及び前記第２の方向に対して平行又は傾斜して前記チャックテーブル上に載置されていることを特徴とする請求項３に記載のワーク外観検査装置。
【請求項５】
前記ワークは、前記ダイシングストリートに沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のワーク外観検査装置。
【請求項６】
前記撮像部は、複数設けられて、
複数の前記撮像部は、前記被加工面内の異なる範囲を同時に撮像することを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
【請求項７】
裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査方法であって、
前記ワークをチャックテーブルに載置する工程と、
前記チャックテーブル及び撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部の撮像位置を平面から視て矩形状に走査し、前記撮像部が前記ワークの被加工面を撮像する工程と、
前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する工程と、
を含むことを特徴とするワーク外観検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削又は研磨後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置及び方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体シリコンウェハ等（以下、「ワーク」という）の裏面を研削又は研磨した後に行うワークの外観検査は、ワークの被加工面にスクラッチ、クラック、微細なパーティクル、面焼け又は異常な条痕等の有無を確認する。
【０００３】
特許文献１には、視野（撮像範囲）や倍率が異なるマクロカメラ、ミクロカメラを備え、マクロカメラが撮像した撮像画像からウェーハの外周の少なくとも３点の座標を認識し、これら３点の座標からウェーハの中心座標を算出し、保持テーブルの中心座標とウェーハの中心座標との距離を考慮して、ミクロカメラの撮像範囲がウェーハの外周位置に追従するようにミクロカメラをＸ軸方向に走査させるウェーハ検査装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、ラインセンサの撮像部を保持テーブルの中心及びウェーハの直上に位置づけた後に、保持テーブルを回転させながらラインセンサを保持テーブルの中心側から外側に向けて一定の速度で移動させることにより、ウェーハの被研削面全体が渦巻状に撮像される検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－１５８５０号公報
特開２０１９－３２２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１記載のウェーハ検査装置では、ミクロカメラによるウェーハの外周の撮像に先行して、マクロカメラが撮像したウェーハ表面の撮像画像からウェーハの中心座標を算出する必要があるところ、マクロカメラをＸ軸方向に走査しながらウェーハ表面を撮像する都合上、ウェーハの外周以外の不必要な範囲も撮像するため、スループットが悪化するという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２記載の検査装置では、ウェーハの中心側から外側に向かって周速が早く露光時間が短くなるため、撮像部が撮像した撮像画像は、ウェーハの中心側から外側に向かって徐々に暗くなりがちで、特に暗い撮像画像を用いた外観検査では面焼けや研削痕等の検出に支障をきたす虞があった。また、ウェーハを渦巻状に撮像した場合、複数の画像を１枚の検査画像に合成する際に極座標変換等の煩雑な画像処理を行う必要があり、スループットが悪化する虞があった。さらに、ウェーハに割断予定ラインに沿って格子状の溝が形成されている、いわゆる先ダイシングウェーハの外観検査では、溝をクラックやスクラッチ等と誤検出しないように溝に対してマスク処理するのが一般的である。しかしながら、渦巻状に撮像した複数の撮像画像を合成して成る検査画像に映る格子状の溝に対して正確にマスク処理するのは現実的には困難であるという問題があった。
【０００８】
そこで、正確に且つ効率良くワークの外観検査を行うために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係るワーク外観検査装置は、裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置であって、前記ワークを載置するチャックテーブルと、前記ワークの被加工面を撮像する撮像部と、前記チャックテーブル及び前記撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部を平面から視て矩形状に走査する駆動機構と、前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、を備えている。
【００１０】
また、本発明に係るワーク外観検査方法は、裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査方法であって、前記ワークをチャックテーブルに載置する工程と、前記チャックテーブル及び撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部を平面から視て矩形状に走査し、前記撮像部が前記ワークの被加工面を撮像する工程と、前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する工程と、を含む。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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