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公開番号2025093586
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-24
出願番号2023209330
出願日2023-12-12
発明の名称プローブ
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/06 20060101AFI20250617BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査対象物とランドとの電気的な接続を安定させるプローブを提供する。
【解決手段】プローブ10は、軸方向に延伸する柱形状の本体部11と、本体部11の一方の端部に接続し、検査において検査対象物と接触する先端部12と、本体部11の他方の端部に接続する基端部13を備える。基端部13は、弾性を有して本体部11と接続する連結部131、および連結部131に第1端が接続する接触部132をそれぞれ有する複数の接続部130を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
軸方向に延伸する柱形状の本体部と、
前記本体部の一方の端部に接続し、前記検査において前記検査対象物と接触する先端部と、
前記本体部の他方の端部に接続する基端部と
を備え、
前記基端部が、弾性を有して前記本体部と接続する連結部、および前記連結部に第１端が接続する接触部をそれぞれ有する複数の接続部を含む、プローブ。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記接触部の第２端が、前記本体部の前記他方の端部の位置から前記軸方向に延長した位置の、前記軸方向に垂直な平面レベルに含まれる、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記連結部に、前記軸方向と平行な方向に前記連結部を貫通するスリットが形成されている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記連結部に、前記軸方向と垂直な方向に前記連結部を貫通するスリットが形成されている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項５】
複数の前記連結部の前記スリットが、前記連結部が前記本体部と接続する部分において連通している、請求項４に記載のプローブ。
【請求項６】
前記連結部が、前記軸方向に垂直な方向に延伸する部分を有し、
前記接触部が、前記軸方向と平行に延伸する、
請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項７】
前記連結部が、弾性を有して湾曲する部分を含む、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項８】
前記連結部が、第１アームおよび前記第１アームと並列に配置された第２アームを含む、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項９】
前記第１アームが、前記本体部から離れる方向に前記軸方向と斜めに交差する角度で直線的に延伸し、
前記第２アームが弾性を有して湾曲する部分を含む、
請求項８に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記軸方向から見て、隣接する前記連結部の相互間のなす角が、いずれの前記連結部の間においても同じである、請求項１又は２に記載のプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部が検査対象物の電極に接触し、プローブの他方の端部が電気的接続装置に含まれる基板に配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触する。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－４２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、検査対象物とランドとをプローブを介して安定して電気的に接続する必要がある。本発明は、検査対象物とランドとを安定して電気的に接続できるプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係るプローブは、軸方向に延伸する柱形状の本体部と、本体部の一方の端部に接続し、検査において検査対象物と接触する先端部と、本体部の他方の端部に接続する基端部を備える。基端部は、弾性を有して本体部と接続する連結部、および連結部に第１端が接続する接触部をそれぞれ有する複数の接続部を含む。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、検査対象物とランドとの電気的な接続を安定させるプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図２は、第１の実施形態に係るプローブの基端部の構成を示す模式図である。
図３は、第１の実施形態に係るプローブを含む電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図４は、第１の実施形態に係るプローブの連結部の配置の例を示す模式図である。
図５は、比較例のプローブを含む電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図６は、第１の実施形態の変形例に係るプローブの連結部の構造を示す模式図である。
図７は、第１の実施形態の変形例に係るプローブの連結部の他の構造を示す模式図である。
図８は、第１の実施形態の変形例に係るプローブの連結部の他の構造を示す模式図である。
図９は、第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図１０は、第２の実施形態の変形例に係るプローブの基端部の構成を示す模式図である。
図１１は、その他の実施形態の電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造および配置などを下記のものに特定するものでない。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係るプローブ１０は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１０は、軸方向に延伸する柱形状の本体部１１と、本体部１１の一方の端部に接続し、検査において検査対象物と接触する先端部１２と、本体部１１の他方の端部に接続する基端部１３を備える。以下では、本体部１１の軸方向を、単に「軸方向」とも表記する。図１に示すように、本体部１１と先端部１２が一体的に構成されてもよい。基端部１３は、複数の接続部１３０を含む。接続部１３０のそれぞれは、弾性を有して本体部１１と接続する連結部１３１、および連結部１３１に接続する接触部１３２を有する。
【００１０】
以下において、軸方向に沿って先端部１２から見て基端部１３の位置する方向を上方、基端部１３から見て先端部１２の位置する方向を下方とする。例えば、接触部１３２は連結部１３１の上方に位置する。また、プローブ１０の各部の上方を向いた面を上面、下方を向いた面を下面、上面と下面を接続する面を側面とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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