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公開番号2024136162
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023047168
出願日2023-03-23
発明の名称加工装置及び画像処理方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 49/12 20060101AFI20240927BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工対象に合わせて画質を自動調整できる加工装置及び画像処理方法を提供する。
【解決手段】加工装置は、ワークの加工条件の情報を含むデータを取得し、取得したデータに記された加工条件に従ってワークを加工する。加工装置は、ワークを透過可能な電磁波をワークに照射する照射部と、電磁波が照射されたワークを撮像する撮像部と、撮像により得られる第1画像に前処理を施して第2画像を生成する前処理部と、第2画像に画像処理を施す画像処理部と、を備える。加工装置が取得するデータに、前処理の処理条件の情報を含める。前処理部は、データに記された処理条件に従って第1画像に前処理を施し、第2画像を生成する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ワークの加工条件の情報を含むデータを取得し、取得した前記データに記された前記加工条件に従って前記ワークを加工する加工装置であって、
前記ワークを透過可能な電磁波を前記ワークに照射する照射部と、
前記電磁波が照射された前記ワークを撮像する撮像部と、
撮像により得られる第１画像に前処理を施して第２画像を生成する前処理部と、
前記第２画像に画像処理を施す画像処理部と、
を備え、
前記データは、前記前処理の処理条件の情報を含み、
前記前処理部は、前記データに記された前記処理条件に従って前記第１画像に前処理を施して前記第２画像を生成する、
加工装置。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記前処理部は、前記前処理として、輝度を変換する処理を行う、
請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記前処理部は、
前記処理条件に従って、前記第１画像の輝度を変換するテーブルを生成し、
生成した前記テーブルを参照して、前記第１画像の輝度を変換する、
請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
前記前処理部は、ゲイン及び／又はオフセットをパラメータに含む変換式を用いて前記テーブルを生成し、
前記データは、前記処理条件の情報として、前記変換式に設定する前記ゲイン及び／又は前記オフセットの情報を含む、
請求項３に記載の加工装置。
【請求項５】
前記前処理部は、
あらかじめ定められた条件に従って前記ゲイン及び／又は前記オフセットを段階的に変更することにより、複数の前記テーブルを生成し、
生成した複数の前記テーブルを用いて前記第１画像の輝度を変換することにより、複数の前記第２画像を生成し、
生成した複数の前記第２画像の中から前記画像処理部での画像処理に最も適した一つを抽出する、
請求項４に記載の加工装置。
【請求項６】
前記画像処理部は、前記第２画像にアライメントの画像処理を施す、
請求項１から５のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項７】
前記加工条件及び前記処理条件を受け付ける条件受付部を更に備えた、
請求項１から５のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項８】
前記照射部は、前記電磁波として、赤外線を前記ワークに照射する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項９】
前記ワークを分割予定線に沿って加工する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項１０】
回転するブレード又はレーザで前記ワークを前記分割予定線に沿って加工する、
請求項９に記載の加工装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び画像処理方法に係り、特に、板状のワークを加工する加工装置、及び、その加工装置内で撮影されたワークの画像を処理する画像処理方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ワーク（加工対象物）に溝入れ加工する加工装置（たとえば、スライサ、ダイサ等）等において、ワークの加工位置を認識等するために、ワークを撮像することがある。その際、ワークを透過可能な電磁波（たとえば、赤外線、Ｘ線等）を用いて、ワークを撮像することがある（たとえば、特許文献１－４等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－２３２２５５号公報
特開平７－７５９５５号公報
特開２００８－１０９０１５号公報
特開２０１５－１５９２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
撮像は、焦点位置や電磁波の照射量等を調整して、最適な条件で実施される。しかし、得られる画像は、必ずしも画像認識等の処理に適した画質とは限らず、ワークごとに個別に画質を調整する必要があった。たとえば、ワークの厚みや透過する膜厚、膜種等によって、ワークごとに個別に明るさやコントラストを調整する必要があった。調整作業は、オペレータ（ユーザ）が手動で行う必要があり、ワークが複数ある場合、多大な手間を要していた。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、加工対象に合わせて画質を自動調整できる加工装置及び画像処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る加工装置の第１態様は、ワークの加工条件の情報を含むデータを取得し、取得したデータに記された加工条件に従ってワークを加工する加工装置であって、ワークを透過可能な電磁波をワークに照射する照射部と、電磁波が照射されたワークを撮像する撮像部と、撮像により得られる第１画像に前処理を施して第２画像を生成する前処理部と、第２画像に画像処理を施す画像処理部と、を備え、データは、前処理の処理条件の情報を含み、前処理部は、データに記された処理条件に従って第１画像に前処理を施して第２画像を生成する、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る加工装置の第２態様は、第１態様の加工装置において、前処理部は、前処理として、輝度を変換する処理を行う、ことを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る加工装置の第３態様は、第２態様の加工装置において、前処理部は、処理条件に従って、第１画像の輝度を変換するテーブルを生成し、生成したテーブルを参照して、第１画像の輝度を変換する、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る加工装置の第４態様は、第３態様の加工装置において、前処理部は、ゲイン及び／又はオフセットをパラメータに含む変換式を用いてテーブルを生成し、データは、処理条件の情報として、変換式に設定するゲイン及び／又はオフセットの情報を含む、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る加工装置の第５態様は、第４態様の加工装置において、前処理部は、あらかじめ定められた条件に従ってゲイン及び／又はオフセットを段階的に変更することにより、複数のテーブルを生成し、生成した複数のテーブルを用いて第１画像の輝度を変換することにより、複数の第２画像を生成し、生成した複数の第２画像の中から画像処理部での画像処理に最も適した一つを抽出する、ことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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