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公開番号2024135041
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023045535
出願日2023-03-22
発明の名称駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバ
出願人株式会社東京精密
代理人スプリング弁理士法人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハとプローブとがコンタクトする状態におけるウェーハ等の破損が抑制される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバを提供する。
【解決手段】駆動制御装置(40)は、ウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部(52)、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部(62)、位置偏差情報を解析する解析部(64)、及び位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部(66)を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、
前記位置偏差情報を解析する解析部と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、
を備えた駆動制御装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記判定部は、前記移動機構の停止中であり、前記半導体チップに対して試験信号を供給するプローブと前記ウェーハとがコンタクトする状態において、前記位置偏差が規定の第１しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項３】
前記情報収集部は、前記移動機構の停止中であり、前記半導体チップに対して試験信号を供給するプローブと前記ウェーハとがコンタクトする状態において、時系列の順に複数の前記位置偏差を取得し、
前記解析部は、時系列の順の複数の前記位置偏差を周波数解析し、
前記判定部は、前記位置偏差の周波数が変動する場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項４】
前記情報収集部は、前記動作指令に基づく前記移動機構の動作中において、前記モータの発生トルクの大きさを含むトルク情報を取得し、
前記解析部は、前記トルク情報を解析し、
前記判定部は、前記トルク情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記モータの発生トルクが規定の第２しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項４に記載の駆動制御装置。
【請求項６】
前記情報収集部は、前記動作指令に基づく前記移動機構の動作中において、前記モータへ供給される駆動電流の大きさを含む駆動電流情報を取得し、
前記解析部は、前記駆動電流情報を解析し、
前記判定部は、前記駆動電流情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項７】
前記判定部は、前記駆動電流の大きさが規定の第３しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項６に記載の駆動制御装置。
【請求項８】
前記動作指令送信部は、前記移動機構の異常動作が発生している場合に、前記プローブと前記ウェーハとを離間させる前記動作指令を前記駆動装置へ送信する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項９】
前記判定部の判定結果を表す表示信号を表示器へ送信する表示制御部を備えた請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項１０】
コンピュータが、
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信工程と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集工程と、
前記位置偏差情報を解析する解析工程と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定工程と、
を実行する駆動制御方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハに形成された半導体チップの電気的特性の検査に適用される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
プローバは、ウェーハへ形成される複数の半導体チップそれぞれの電極パッドに対してプローブを接続させ、プローブから電極パッドへテスト信号を供給し、テストヘッドを用いて電極パッドから出力される信号を測定する。
【０００３】
特許文献１は、ウェーハへ形成される半導体チップの電気的特性を測定するプローバが記載される。同文献に記載のプローバは、ウェーハが保持されるウェーハチャックを、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に対して移動自在に支持するアライメント装置が具備される。アライメント装置は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向のそれぞれに対して、適宜、ウェーハチャックを移動させて、ウェーハとプローブとの相対的な位置合わせを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１７３２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術に係るプローバでは、ウェーハ、又は、プローブが具備されるプローブカードの破損が発見された際に、ウェーハとプローブとを相対移動させる移動機構における異常動作の対策が実施される。すなわち、従来はウェーハがプローブとコンタクトする状態において、駆動軸の発振等の異常動作の把握は困難である。
【０００６】
特許文献１には、ウェーハチャックとプローブを相対移動させる移動機構の異常動作に起因するウェーハ等の破損に関する記載はなく、上記した課題を解決する構成要素の開示もない。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ウェーハとプローブとがコンタクトする状態におけるウェーハ等の破損が抑制される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の第１態様に係る駆動制御装置は、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、位置偏差情報を解析する解析部と、位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、を備えた駆動制御装置である。
【０００９】
本開示の第１態様に係る駆動制御装置によれば、ウェーハチャックの位置偏差を含む位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の有無が判定される。これにより、プローブからウェーハを退避させるなどの破損対策を実施し得る。
【００１０】
ウェーハチャックの位置偏差は、モータの回転軸に取り付けられたエンコーダの出力信号、及びウェーハチャックの駆動機構に具備されるエンコーダの出力信号から算出されるウェーハチャックの現実の位置を含む位置情報に基づき算出され得る。ウェーハチャックの現実の位置は、リニアスケール等の位置検出器を用いて測定されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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