特許ウォッチ

公開番号2024134566
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023044817
出願日2023-03-21
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】内部電極に接続される端子とベース部材との間における絶縁性能を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、静電チャック1において、絶縁スリーブ60は、厚み方向視で内部に電圧印加端子50が配置されるように貫通孔23に配置される筒状部61と、ベース部材20の下面22側にて筒状部61から径方向外側へ拡がるように設けられる鍔部62と、を備えており、ベース部材20の下面22と鍔部62の上面62aとの間に絶縁部90が設けられている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置された内部電極とを備える板状部材と、
前記内部電極に接続される端子と、
第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、前記第３の面と前記第４の面を貫通して、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置される貫通孔とを備え、前記板状部材の前記第２の面側に配置されるベース部材と、
前記貫通孔に配置される環状の絶縁部材と、を有し、
前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記絶縁部材は、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置されるように前記貫通孔に配置される筒状部と、前記第４の面側にて前記筒状部から径方向外側へ拡がるように設けられる鍔部と、を備えており、
前記第４の面と前記鍔部との間に絶縁部が設けられていること、
を特徴とする保持装置。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
請求項１の保持装置において、
前記絶縁部は、絶縁性接着剤により形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１または２の保持装置において、
前記鍔部における前記第４の面側とは反対側の面および／または外周面に、凸部または凹部が形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１または２の保持装置において、
前記端子に取り付けられ、かつ、前記鍔部における前記第４の面側とは反対側の面に固定されることにより、前記端子を前記ベース部材に固定する固定用リングと、
前記固定用リングを前記鍔部とは反対側から覆う絶縁カバーと、を有し、
前記第４の面と前記絶縁カバーの間に前記絶縁部が設けられていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項４の保持装置において、
前記鍔部の外径を、前記固定用リングの外径よりも大きくすること、
を特徴とする保持装置。
【請求項６】
請求項１または２の保持装置において、
前記第４の面には、前記第３の面側に凹むザグリ部が設けられ、
前記鍔部は、前記ザグリ部内に配置され、
前記絶縁部は、前記ザグリ部における凹み方向の端面と前記鍔部との間に設けられていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項７】
請求項６の保持装置において、
前記ザグリ部における凹み方向と直交する方向の側面に前記絶縁部が設けられていること、
を特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、静電電極に接続するチャック側端子が、ベース部材の貫通孔に固着される絶縁スリーブに固定用リングを介して固定されている半導体製造装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
登録実用新案第３１８１６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
チャック側端子から電気が絶縁スリーブの鍔部を介してベース部材まで通るようにしてアーキングが起こることにより、チャック側端子とベース部材との間における絶縁性能が十分に得られないおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、内部電極に接続される端子とベース部材との間における絶縁性能を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置された内部電極とを備える板状部材と、前記内部電極に接続される端子と、第３の面と、前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、前記第３の面と前記第４の面を貫通して、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置される貫通孔とを備え、前記板状部材の前記第２の面側に配置されるベース部材と、前記貫通孔に配置される環状の絶縁部材と、を有し、前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、前記絶縁部材は、前記厚み方向視で内部に前記端子が配置されるように前記貫通孔に配置される筒状部と、前記第４の面側にて前記筒状部から径方向外側へ拡がるように設けられる鍔部と、を備えており、前記第４の面と前記鍔部との間に絶縁部が設けられていること、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、ベース部材の第４の面と絶縁部材の鍔部との間に絶縁部が設けられている。そのため、内部電極に接続される端子からの電気が、絶縁部材の鍔部を介して、ベース部材の第４の面まで通り難くなる。したがって、内部電極に接続される端子とベース部材との間における絶縁性能を向上させることができる。
【０００８】
上記の態様においては、前記絶縁部は、絶縁性接着剤により形成されていること、が好ましい。
【０００９】
この態様によれば、絶縁性接着剤により、絶縁部材をベース部材に固定させながら、端子とベース部材の間における絶縁性能を向上させることができる。
【００１０】
上記の態様においては、前記鍔部における前記第４の面側とは反対側の面および／または外周面に、凸部または凹部が形成されていること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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