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公開番号2024134836
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023045237
出願日2023-03-22
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持面における温度分布を均一化することができる保持装置を提供すること。
【解決手段】保持面11と、Z軸方向にて保持面11とは反対側に設けられる下面12と、高周波電力が給電される高周波電極50とを備える板状部材10と、下面12に対向して配置される上面21と、Z軸方向にて上面21とは反対側に設けられる下面22と、冷媒が流れる冷媒流路25とを備えるベース部材20と、を有し、板状部材10の保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、高周波電極50に電気的に接続されてZ軸方向に延びるビア60と、ビア60に電気的に接続されてZ軸方向に直交するX軸(Y軸)方向に延びて配置されるドライバー電極62と、ドライバー電極62の端部62aに電気的に接続され、板状部材10の側面13側に配置された外部配線64と、を有し、ビア60は、Z軸方向視で、冷媒流路25と重なり合う位置に配置されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、第１の方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、高周波電力が給電される高周波電極とを備える板状部材と、
前記第２の面に対向して配置される第３の面と、前記第１の方向にて前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、冷媒が流れる冷却水路とを備えるベース部材と、を有し、
前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記高周波電極に電気的に接続されて前記第１の方向に延びる導通部材と、
前記導通部材に電気的に接続されて前記第１の方向に直交する第２の方向に延びて配置されるドライバー電極と、
前記ドライバー電極の端部に電気的に接続され、前記板状部材の側面側に配置された外部配線と、を有し、
前記導通部材は、前記第１の方向視で、前記冷却水路と重なり合う位置に配置されている
ことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記外部配線は、前記ベース部材まで延設され、前記ベース部材の側面に接触するように配置されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項２に記載する保持装置において、
前記外部配線の端部は、前記ベース部材の前記第４の面に配置されている
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３に記載するいずれか１つの保持装置において、
前記外部配線は、絶縁膜で被覆されている
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエハを保持する保持装置として、プラズマ制御用の高周波が給電される高周波電極を備える基板（板状部材）と、ベース部材と、基板とベース部材とを接合する接合層とを有する保持装置が知られている（特許文献１参照）。このような保持装置において、高周波電力を外部に設置されている高周波電源から高周波電極に対して給電するために、高周波電極には、直接又はビアを介して給電用の端子が接続されている。そして、高周波電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させ、その発生させたプラズマによって保持装置に保持した半導体ウエハに対してエッチング処理を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－１１９６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の保持装置では、高周波電極に端子やビアが接続する部分は抵抗が高くなるため、周辺より発熱量が大きくなる。そのため、この接続部分において、周辺との温度差が大きくなるので温度特異点が発生するおそれがある。このような温度特異点が発生すると、保持面において温度分布を均一にすることができなくなる。
【０００５】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持面における温度分布を均一化することができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、第１の方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、高周波電力が給電される高周波電極とを備える板状部材と、
前記第２の面に対向して配置される第３の面と、前記第１の方向にて前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面と、冷媒が流れる冷却水路とを備えるベース部材と、を有し、
前記板状部材の前記第１の面上に対象物を保持する保持装置において、
前記高周波電極に電気的に接続されて前記第１の方向に延びる導通部材と、
前記導通部材に電気的に接続されて前記第１の方向に直交する第２の方向に延びて配置されるドライバー電極と、
前記ドライバー電極の端部に電気的に接続され、前記板状部材の側面側に配置された外部配線と、を有し、
前記導通部材は、前記第１の方向視で、前記冷却水路と重なり合う位置に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
高周波電極に接続される導通部材の部分は、周辺より発熱量が大きくなるため、局所的に温度差が大きくなって温度特異点になりやすい。そのため、板状部材の第１の面における温度分布が均一にならないおそれがある。
【０００８】
そこで、このように高周波電極に接続される導通部材に対し、板状部材の側面側に配置した外部配線からドライバー電極を介して高周波電力を給電する構成にすることにより、導通部材を第１の方向視で冷却水路と重なり合う位置に配置することができる。導電部材をこのような位置に配置することにより、導通部材を効率良く冷却することができる。その結果、板状部材において高周波電極に接続される導通部材の部分における発熱を抑制することができるため、高周波電極に接続される導通部材の部分において、温度特異点が発生することを抑制することができる。これにより、板状部材の第１の面における温度分布を均一化することができる。
【０００９】
上記した保持装置において、
前記外部配線は、前記ベース部材まで延設され、前記ベース部材の側面に接触するように配置されていることが好ましい。
【００１０】
これにより、外部配線を効率良く冷却することができるため、外部配線とドライバー電極との接続部分での発熱をより抑制することができる。従って、板状部材の第１の面における温度分布をより均一化することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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