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公開番号2024066813
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-16
出願番号2022176530
出願日2022-11-02
発明の名称基板処理装置、基板処理装置の制御方法、物品製造方法、および、プログラム
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240509BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送エラーの発生を低減するために有利な技術を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置は、前記基板のアライメント誤差の計測および前記計測に基づく前記基板のアライメントを行うアライメント部と、前記基板を搬送する搬送システムと、前記アライメント部で前記アライメントが行われた前記基板を前記搬送システムによって所定経路を通して搬送した後に前記アライメント部によって前記基板のアライメント誤差の再計測を行う評価処理を実行する制御部と、を備え、前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差に基づいて前記搬送システムによる前記基板の搬送を制御する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項1】
基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板のアライメント誤差の計測および前記計測に基づく前記基板のアライメントを行うアライメント部と、
前記基板を搬送する搬送システムと、
前記アライメント部で前記アライメントが行われた前記基板を前記搬送システムによって所定経路を通して搬送した後に前記アライメント部によって前記基板のアライメント誤差の再計測を行う評価処理を実行する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差に基づいて前記搬送システムによる前記基板の搬送を制御する、
ことを特徴とする基板処理装置。
続きを表示(約 1,200 文字)【請求項2】
前記搬送システムによる前記基板の保持力を検出するセンサを更に備え、
前記制御部は、前記基板の保持力が規定値より小さいことを前記センサの出力が示している場合に、前記評価処理を実行する、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差に基づいて、所定の搬送先への前記基板の搬送の可否を判定する、
ことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
【請求項4】
前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差の大きさに基づいて、所定の搬送先への前記基板の搬送の可否を判定する、
ことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
【請求項5】
前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差に基づいて、複数の搬送先のうちいずれの搬送先に前記基板を搬送するかを決定する、
ことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
【請求項6】
前記複数の搬送先は、前記基板にパターンを形成するパターン形成部を含む、
ことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
【請求項7】
前記複数の搬送先は、オープンカセット、基板搬入部、および、基板搬出部を更に含む、
ことを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
【請求項8】
前記制御部は、前記複数の搬送先のいずれにも前記基板を搬送できないと判定した場合に、エラーの発生を報知する、
ことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
【請求項9】
前記複数の搬送先は、優先順位を有し、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差の許容量は、前記優先順位が高い方ほど小さい、
ことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
【請求項10】
前記制御部は、前記基板の保持力が前記規定値より小さいことを前記センサの出力が示している場合に、前記優先順位が第1位の第1搬送先に割り当てられた第1経路を前記所定経路として前記評価処理を実行し、
前記制御部は、前記第1経路を使った前記評価処理によって得られたアライメント誤差が第1基準を満たす場合には、前記第1搬送先に前記基板を搬送するように前記搬送システムを制御し、
前記制御部は、前記第1経路を使った前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差が前記第1基準を満たさない場合には、前記優先順位が第2位の第2搬送先に割り当てられた第2経路を前記所定経路として前記評価処理を実行し、
前記制御部は、前記第2経路を使った前記評価処理によって得られたアライメント誤差が第2基準を満たす場合には、前記第2搬送先に前記基板を搬送するように前記搬送システムを制御する、
ことを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、物品製造方法、および、プログラムに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
半導体デバイスまたは液晶表示デバイス等の物品を製造するための装置において、基板が搬送機構によって搬送されうる。搬送機構が保持部によって基板を保持して搬送する際の保持力が不十分であると、基板の搬送が停止され、オペレータに回収が促されうる。基板の保持力が不十分になる原因としては、例えば、基板の裏面の汚れ、基板の反り、搬送機構の劣化、真空吸引用の圧力の異常等を挙げることができる。
【0003】
特許文献1には、被搬送物を保持する保持部による保持力を検出し、その保持力に対応した搬送特性を選択することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2001-219390号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
搬送機構が保持部によって基板を保持し搬送している間に基板が保持部に対して移動してしまうことがある。そのような場合、基板を目標位置に正確に搬送することができないので、基板が他の部材に衝突するなどの搬送エラーが発生しうる。
【0006】
本発明は、搬送エラーの発生を低減するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の1つの側面は、基板を処理する基板処理装置に係り、前記基板処理装置は、前記基板のアライメント誤差の計測および前記計測に基づく前記基板のアライメントを行うアライメント部と、前記基板を搬送する搬送システムと、前記アライメント部で前記アライメントが行われた前記基板を前記搬送システムによって所定経路を通して搬送した後に前記アライメント部によって前記基板のアライメント誤差の再計測を行う評価処理を実行する制御部と、を備え、前記制御部は、前記評価処理によって得られた前記アライメント誤差に基づいて前記搬送システムによる前記基板の搬送を制御する。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、搬送エラーの発生を低減するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
一実施形態の基板処理装置の構成を模式的に示す平面図。
露光部の構成例を模式的に示す図。
搬送機構の構成を模式的に示す図。
アライメント部の模式的な平面図。
アライメント部の模式的な側面図。
アライメント部の模式的な平面図。
オープンカセットを例示する斜視図。
第1実施形態の基板処理装置の動作(制御方法)を例示的に示す図。
第2実施形態の基板処理装置の動作(制御方法)を例示的に示す図。
第3実施形態の基板処理装置の動作(制御方法)を例示的に示す図。
第4実施形態の基板処理装置の動作(制御方法)を例示的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本発明の実施形態を添付の図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
(【0011】以降は省略されています)

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