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公開番号2024027778
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-01
出願番号2022130870
出願日2022-08-19
発明の名称感光性樹脂組成物、硬化物、積層体、表示装置、および表示装置の製造方法
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G03F 7/023 20060101AFI20240222BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】
隔壁上面の撥液性に優れ、開口部のスカムが少ない隔壁を得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
(A)成分、(B)成分および(C)成分を含み、
前記(B)成分が、(B1)成分を含有し、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーチャートにおける前記(B1)成分のピークの総面積100%中に占める、前記(B1)成分のポリスチレン換算の分子量1,000以下の部分の面積の割合が0.1～25%である、感光性樹脂組成物。
(A)成分:撥液材
(B)成分:アルカリ可溶性樹脂
(C)成分:キノンジアジド化合物
(B1)成分:ノボラック型フェノール樹脂
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
（Ａ）成分、（Ｂ）成分および（Ｃ）成分を含み、
前記（Ｂ）成分が、（Ｂ１）成分を含有し、
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーチャートにおける前記（Ｂ１）成分のピークの総面積１００％中に占める、前記（Ｂ１）成分のポリスチレン換算の分子量１，０００以下の部分の面積の割合が０．１～２５％である、感光性樹脂組成物。
（Ａ）成分：撥液材
（Ｂ）成分：アルカリ可溶性樹脂
（Ｃ）成分：キノンジアジド化合物
（Ｂ１）成分：ノボラック型フェノール樹脂
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記（Ｂ１）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）が、２，０００以上２０，０００以下であり、かつ、
重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）との分散比（Ｍｗ）／（Ｍｎ）が、１．１～３．５である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ｂ１）成分がフェノール類とアルデヒド類の重合体であって、前記（Ｂ１）成分中のフェノール類の総量１００モル％中にｍ－クレゾールを７０～１００モル％含む、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ｂ）成分が、さらに（Ｂ２）成分を含む、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
（Ｂ２）成分：ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリアミドイミドおよびこれらいずれかの前駆体ならびにそれらの共重合体からなる群より選択される１種類以上
【請求項５】
前記（Ａ）成分が、（Ａ１）成分および／または（Ａ２）成分を含む、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
（Ａ１）成分：パーフルオロアルキル基および／またはパーフルオロアルキレンエーテル基含有ポリシロキサン
（Ａ２）成分：パーフルオロアルキル基および／またはパーフルオロアルキレンエーテル基含有アクリルポリマー
【請求項６】
前記（Ａ１）成分が、（Ａ１－１）成分を含む、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
（Ａ１－１）成分：繰り返し構造単位（ｉ）、繰り返し構造単位（ｉｉ）および繰り返し構造単位（ｉｉｉ）を有するポリシロキサン
（ｉ）式（１）で示される繰り返し構造単位および／または式（２）で示される繰り返し構造単位
（ｉｉ）式（３）で示される繰り返し構造単位および／または式（４）で示される繰り返し構造単位
（ｉｉｉ）式（５）で示される繰り返し構造単位および／または式（６）で示される繰り返し構造単位
TIFF
2024027778000034.tif
176
170
（Ｒ
ｆ
は、炭素数３～１０のパーフルオロアルキル基および／または炭素数３～３０のパーフルオロアルキレンエーテル基であり、Ｒ
１
は水素原子、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアシル基又は炭素数６～１５のアリール基である。Ｒ
２
は炭素数６～１５のアリール基であり、Ｒ
３
は単結合または炭素数１～４のアルキレン基であり、ｚは１または２である。Ｒ
４
は酸性基を含む炭素数２～２０の１価の有機基である。＊は共有結合を示す。）
【請求項７】
前記Ｒ
４
の少なくとも１つが、カルボキシル基を含む炭素数２～２０の１価の有機基である請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記（Ｃ）成分のエステル化率が、６５％以上９５％以下である請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化物。
【請求項１０】
基板上に、パターンニングされた第１電極および請求項９に記載の硬化物が、この順に積層された積層体であって、
前記パターンニングされた第１電極上にある前記硬化物の少なくとも一部が開口している積層体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化物、積層体、表示装置、および表示装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
スマートフォン、タブレットＰＣ、テレビなど、薄型ディスプレイを有する表示装置において、インクジェット法に代表される印刷法により機能層の形成をする製品が多く開発されている。例えば、有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」）表示装置の場合、基板上に隔壁パターンを形成した後に、隔壁間の開口部に、インクジェット法を用いて、発光材料、正孔輸送材料、電子輸送材料等の機能材料溶液を滴下し、機能層を有する有機ＥＬ表示装置を形成する方法が知られている。
【０００３】
一般に、有機ＥＬ表示装置は、基板上に、駆動回路、平坦化層、第１電極、絶縁層、発光層および第２電極を有し、対向する第１電極と第２電極との間に、電圧を印加することで発光することができる。これらのうち、平坦化層用材料および絶縁層用材料としては、紫外線照射によるパターニング可能な感光性樹脂組成物が一般に用いられている。（特許文献１）。
【０００４】
インクジェット法によって機能層を形成する場合、隣接する開口部に注入されるインクの混色を防ぐ目的等で、隔壁上面に撥液性を付与する必要がある。また、表示装置の白抜けを防ぐために、隔壁間の開口部は、インクに対する良好な濡れ性を有する必要がある。
【０００５】
これを実現するために、基板上の隔壁パターンの上層面に、プラズマ照射によるフッ素化処理を施して撥液性を発現させる方法が検討されている（特許文献２）。
【０００６】
また、他にはアルカリ可溶性樹脂、感光剤および、撥液性を有する化合物を含む感光性樹脂組成物により隔壁を形成する方法が検討されている。例えば、アルカリ可溶性樹脂としてノボラック型フェノール樹脂、感光剤としてキノンジアジド基を有する化合物、撥液性を有する化合物としてフッ化アルキル基を有するポリシロキサンを含むポジ型感光性樹脂組成物（特許文献３）が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００２－９１３４３号公報
特開２００２－２０７１１４号公報
特開２０１３－１３３３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１の技術は形成した隔壁上面に撥液性を有さないため、インクジェット法により滴下された機能材料溶液が隔壁を越えて近傍の画素内に混入し、発光不良を生じるという問題がある。
【０００９】
特許文献２の技術はフッ素化処理により隔壁間の開口部にも撥液成分が付着し、開口部のインク濡れ性が不十分になるという問題がある。
【００１０】
特許文献３の技術は、ノボラック型フェノール樹脂とキノンジアジド基を有する化合物との過度な相互作用により開口部にスカムが生じるという問題がある。開口部にスカムが生じた隔壁で有機ＥＬ表示装置を作製すると、スカムにより発光不良が生じて発光面積が減少する。
（【００１１】以降は省略されています）

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